Интерференционный фильтр

 

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ФИЛЬТР, состоящий из подложки с многослойным покрытием, выполненным из чередующихся слоев материалов с высоким и низким показателями преломления, причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий, отличающийся тем, что, с целью увеличения влагостойкости и механической прочности, слой с низким показателем преломления вьтоЛнен из фтористого иттрия, а слои с высоким и низким показателями преломления разделены прослойкой из трехсернистой сурьмы с оптической толщиной

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

Э,,51,, С, 02 В 5/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3588395/18-10 (22) 17.03.83 (46) 23.05.84. Бюл. -19 (72) Б.В. Кириенко, Н.В, Назарова, и Т.M. Рожнова (53) 535.345.67(088.8) (56) 1. Оптико-механическая промышленность". 1980, Фб, с.33-34.

2. Фильтры оптические интерференционные вакуумного напыления. Классификация, основные параметры и технические требования. Отраслевой стандарт ОСТ 3-854-81 (прототип). (54)(57) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫИ ФИЛЬТР, состоящий из подложки с многослой,SU„„1094008 А ным покрытием, выполненным иэ чередующихся слоев материалов с высоким и низким показателями преломпения1 причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий, отличающийся тем, что, с целью увеличения влагостойкости и механической прочности, слой с низким показателем преломления выполнен иэ фтористого иттрия, а слои с высоким и низким показателями преломления разделены прослойкой иэ трехсернистой сурьмы с оптической толщиной (0,02-0, 1) 7 /4, где Й вЂ” расчетная длина волны.

1094008

45 Таким образом, фильтр сохраняет оптические характеристики без герметизации в широком диапазоне эксплуатационных условий при воздействии повышенной влажности, температуры, времени и термоударов. тель П. Яковлев

Л.Коцюбняк Корректор О.Билак

Заказ 3422/38 Тираж 497

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к интерференционным фильтрам инфракрасной области спектра.

Известен многослойный интерференционный фильтр, состоящий из подлож" ки с многослойным интерференционным покрытием, выполненным из материалов с чередующимся высоким и низким показателями преломления, В качестве слоев использованы пленки 55 5 и < В В 3.

Недостатками этого фильтра являются гигроскопичность слоев КВг, вследствие чего необходима герметизация фильтра, с помощью второй подложки, что приводит к увеличению массы фильтра, уменьшению его надежности, а также уменьшению коэффициента пропускания.

Наиболее близким к изобретению является интерференционный фильтр, состоящий из подложки с многослойным покрытием, выполненным из чередующихся слоев материалов с высоким и низким показателями преломления1 причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий (21.

Недостатком известного фильтра является то, что используемые в качестве слоев с низким показателем преломления пленки.С53 гигроскопичны и поэтому необходима герметизация фильтра.

Целью изобретения является увеличение влагостойкости и механической прочности фильтра.

Цель достигается тем, что интерференционный фильтр, состоящий иэ подложки с многослойным покрытием, выполненным из чередующихся слоев материалов с высоким и низким показатепями преломления, причем в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий,. слой с низким показателем преломления выполнен из фтористого иттрия, а слои с высоким и низким показателями преломления разделены прослойкой из трехсернистой сурьмы с оптиСостави . Редактор Ar.Шандор. Техред ческой толщиной (0,02-0, 1)Л/4 где il — расчетная длина волны фильтра.

На чертеже изображена структура предлагаемого фильтра.

Фильтр содержит подложку 1 и многослойное интерференционное покрытие, состоящее из чередующихся слоен с высоким 2 и низким 3 показателями преломления, между которыми поме-!

О щены прослойки 4 (5Ь 5э ).- Слой с высоким показателем преломления выполнен из германия, а слой с низким по казателем преломления — иэ фтористого иттрия.

Оптические характеристики фильтра определяются показателями преломления и толщиной слоев основной пары материалов — германия и фтористого иттрия.. Слои германия напыляются методом электроннолучевого испарения, а слои фтористого иттрия — пуI тем резистивного испарения. Однако

25 использование в качестве слоев с низким показателем преломления пленок фтористого иттрия не позволяет получить механически прочные фильтры из-за возникновения больших внутренних напряжений. Введение прослоек трехсернистой сурьмы между слоями германия и фтористого иттрия компенсирует внутренние напряжения и позволяет получить фильтр с высокой механической прочностью. Оптическая

35 толщина прослоек составляет (0,020,1) Л/4, где l — расчетная длина волны фильтра. Увеличение толщины прослоек принодит к искажениям оптических характеристик фильтра, а ис40 пользование прослоек с оптической толщиной менее 0,02il/4 не обеспечивает необходимую механическую прочность и влагостойкость фильтра.