Способ контроля качества поверхности пьезоэлектрических пластин

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАСТИН/ включающий воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом с частотой, соответствующей возбуждению нечетной моды колебаний, первое измерение информативного параметра, повторное воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом и второе измерение информативного параметра, составление суждения о качестве поверхности 1{онтролируемой пластины по разности значений информативных параметров первого и второго измерений, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля, частоту Переменного 31лектрическрго сигнала при повторном воздействии выбирают i соответствующей возбуждению четной Mofsibi колебаний, а в качестве инфор (Л мативного параметра выбирают амплиС туду колебаний соответствующих мод.

СОЮЗ ООВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

«е ао уя1 Н 03 Н 9/15!

/

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ФиЕ. l

ГОСУаа СТЕЕННЫй НОМИТЕТ СССЕ

re ДЕЛИа ИЗОТ ЯТЕНИй И Отбитий (21) 3395024/18-23 ,(22) 08.02.82 (46) 23.05.84. Бюл. У 19 (72) В.Ф. Литовченко, В.К. Павлов, В.Н. Банков и И.С. Слицан (53) 621.372.54(088.8) (56) 1. Бардин А.N. Технология оптического стекла. И., "Высшая школа", 1963, с. 392.

2. Авторское свидетельство СССР

В 568014, кл. Н 03 Н 3/00, 1972 (прототип). (54)(57) СПОСОБ КОНТРОПЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛАС:ТИН, включающий, воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом с частотой, соотJ ветствующей возбуждению нечетной моды колебаний, первое измерение информативного параметра, повторное воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сиг-налом и второе измерение информативного параметра, составление суждения о качестве поверхности контролируемой пластины по разности значерчй информативных параметров первого и второго измерений, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля, частоту переменного электрического сигнала нри повторном воздействии выбирают соответствующей возбуждению четной моды колебаний, а в качестве информативного параметра выбирают амплитуду колебаний соответствующих мод.

1094133

Изобретение относится к технологии специальной радиоэлектроники

g,может. использоваться при изготовлении,пьезоэлектрических устройств — кварцевых резонаторов, интегральных кварцевых генераторов, монолитных пьезоэлектрических фильтров.

Известен способ контроля качества поверхности пьезоэлектрических пластин, включающий освещение.исследуемых пьезоэлектрических пластин ультрафиолетовым светом, в качестве информативного параметра выбирают число интер@еренционных колец Я .

Недостатком этого способа является низкая достоверность контроля, обусловленная неоднозначным соответствием между числом интерференционных колец и электрическими параметрами исследуемых пьезоэлектрических пластин.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является

:способ контроля качества поверхнос" 25 ! ти пьезоэлектрических пластин, включающий воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом с частотой, соответствующей возбуждению нечетной моды колебаний, З0 первое измерение информативного параметра, повторное воздействие на . контролируемую пластину перемейным электрическим сигналом и второе измерение информативного параметра. составление суждения о качестве поверхности контролируемой пластины по разности информативных параметров первого и второго измерений, причем в качестве информативного па- 0 раметра выбирают резонансную часто- ту колебаний соответствующих мод (2) .

Недостатком известного способа является низкая достоверность контроля, обусловленная невозможностью 45 контроля несовершенств поверхности пьезоэлектрической пластины в виде микротрещин, микроцарапин и т.д.

Цель изобретения — повышение достоверности контроля. 50

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу контроля качества поверхности пьезоэлектрических пластин,. включающему воздействие иа контролируемую пластину. перемен 55 ным электрическим сигналом с частотой, соответствующей возбуждению нечетной моды колебаний, первое измерение.информативного параметра, 2 повторное воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом и второе измерение информативного параметра, составление суждения о качестве поверхности контролируемой пластины по разности значений информативных параметров первого и второго измерения, частоту переменного электрического сигнала при повторном воздействии выбирают соответствующей возбуждению четной моды колебаний, а в качестве информативного параметра выбирают амплитуду колебаний соответствующих мод.

На фиг. 1 представлена блок-схема устройства для реализации способа, на фиг. 2 †.амплитудно-частотная характеристика контролируемых пластин., Устройство содержит электроды 1 и 2, между кОторыми размещаются Конт-. ролируемая пластина 3, измерительный мост 4, генератор 5 переменного напряжения, вольтметр б и частотомер 7.

Способ осуществляется следующим образом.

Пьезоэлектрическую пластину 3 помещают между накладными электродами — нижним электродом 2, диаметр которого соответствует диаметру пьезоэлектрической пластины, и верхним электродом 1, диаметр которого соответствует диаметру рабочего электрода.

Через накладные электроды 1 и 2 на контролируемую пластину воздействуют переменным напряжением, которое поступает с генератора 5 также и на измерительный мост 4. Величину переменного напряжения с измерительного моста 4 измеряют вольтметром 6, а частоту переменного напряжения генератора 5 — частотоМером 7.

Пьезоэлектрическую пластину возбуждают последовательно на частотах » и 1, соответствующих нечетной (4, — рабочая часть пластины) и четной (т — например, вторая гармоника) моде колебаний. О качестве поверхности пластины судят по разности амплитуд колебаний мод на частотах 1» и1,.

Данный способ обеспечивает высокую достоверность контроля за счет vîãî, что идеальная плоская пьезоэлектрическая пластина с колебаниями сдвига по толщине ие возбуждается на четных гармониках, а получающаяся при изготовлении неидеальность поверхностей пьезоэлектрической пластины (разнотолщинность, наличие рузрушенз 1094133 4 ного слоя, микроцарапины и микротре- - элементы диапазона частот 20-30 мГц, щин) приводит к неполной компенсации по первой механической гармонике, поверхностного заряда при возбужде- с диаметром элемента 6 мм. Ослаблении пьезоэлектрической пластины на ние сигнала на частоте, близкой ко четной моде колебаний, при этом ам- второй гармонике, колебалось от 50 плитуда возбужда .ого сигнала тем -до 60 дБ в зависимости от качества больше, чем больше поверхность пье- поверхности элементов, при этом шизоэлектрической пластины отличается рина частотного спектра также была от идеальной.

I пропорциональна интенсивности

По данному способа контролирова- 10 нарушений . поверхности элеменлись .полированные кристаллические тов.

Составитель Г. Муртазина

Редактор И. Николайчук Техред Л.Микеш Корректор А. Ференц

Заказ 3455/44 Тираж 862 Подптсное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4