Способ изготовления полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т.п..) из полупроводниковых материалов

 

№ 11262-1

Предмет изобретения

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Отв. редактор Л. П, Ситников.

Информационно-издательский отдел Поди. к печ. 5. -58 г.

Объем 0,17 п. л. Зак. 1698. Тир. 800. Ц. 50 к.

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Пегровка, 14 и здел11я, теl к и 13 11епос р едст131 I i 1 i 0 прилегающей к ней зоне расплава.

Соответствующие температурные условия в этих зонах создаются системой холодильников и экраном, погруженным в расплав.

В случае необходимости в зоне формирования изделия и плавления полупроводникового материала могут быть созданы вакуум или атмосфера инертного газа.

Второй вариант спосооа отличается от первого тем, что, с целью придания соответствующего профиля изделию, оно непрерывно вытягивается вверх через отверстие фильеры, плавающей или укрепленной на поверхности расплава. Фильера нижней частью погружается в расплав; она устанавливается над экраном или заменяет его. Держательзатравка погружается в расплав через отверстие («очко») фильеры.

В этом варианте способа протягивание (продавливание) расплава через «очко» осуществляется не только за счет капиллярных сил, но и за счет сил гидростатического давления, создаваемого вследствие погружения нижней части фильеры в расплав, а также и за счет давления, оказываемого на расплав при помощи поршневых, пневматических или механических устройств.

Полученные описываемым способом полупроводниковые полуфабрикаты могут потребовать незначиl c;ii 1ой обработки, например, шлифовки и полировки, с целью доведения их толщины или сечения до строго определенных размеров.

Способ позволяет путем изменения условий вытягивания и кристаллизации получать изделия (полуфабрикаты) любых размеров — от тончайших до крупногабаритных.

1. Способ изготовления полуфабрикатов (труб, прутков, листов, штанг и т. п.) из полупроводниковых материалов путем непосредственного вытягивания или выпрессовывания из расплава с применением держателей-затравок различной формы и фильер с отверстиями различного профиля, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью придания полуфабрикату определенного профиля, применяют погруженный в расплав экран с щелью или расположенную на поверхности расплава или плавающую по ней фильеру.

2. Прием выполнения способа по п. 1, отличающийся тем, что подачу расплава через отверстие фильеры осуществляют под гидростатическим давлением, создаваемым погружением фильеры в расплав или посредством поршневых, пневматических или механических устройств.