Тензорезистор

 

ТЕНЗОРЕЗЙСТОР, содержащий подложку, основную и термокомпенсирующуто решетки, выполненные из маjViaiji jSZijEiaSmagg t ; териалов с различныз-Ш температурными коэсгэфициентами сопротивления к соединенные последовательно, и пере1-{ьгчки, шунтирующие петли термокомпенсирующей решетки, о т л и ч а loщ и и с я тем, что, с целью повышения точности измерения в широком диапазоне тe шepaтyp, петлк термекомпенсируняцей решетки выполнены различной длины, убывающей по закону геометрической прогрессии со знаменателем , равным 2р и размещеныПГ:раллельно петлям основной решетки так, что наиболее длинная петля термoкo ffleнcиpyкщeй решетки расположена Р рядом с крайней петлей основной ре- tg тетки. fteivri. b i -sss

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ыя) С 01 В 7/18 ЕХ ФЮ7 - - . 33:35ИЮ:3 р

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЬ т Ей 1Я шетки, (3

1 г

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

re ДЕЛЛА ИЗОЬ1 ЕТЕНИЙ И ОТИРЬТЖ

IH АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕХ)ЬСТВУ (21) 3460453/25-28 (22) 07,05.82

{46) 30.11,84.Бюл,Ф 44 (72) И.И.Зактрегер, В.К.Феррони, В,В.Феррони и А,Г.Кобзарь (71) Государственньй всесоюзный дорожный научно-исследовательский институт "СоюздорНИИ"

{53) 531,781,2 (088.8)

{56) l,Авторское свидетельство СССР

Р 691682, кл,C 01 В 7/18, 1978.

2, Патент ФРГ Ф 2916390, кл, С 01 В 7/20, 1980 (прототип), (54) (57) ТЕНЗОРЕЗИСТОР, содержаший подложку, основную и термокомпенсирующую решетки, выполненные из материалов с различили температурными козц4ициентами сопротивления и соединенные последовательно, и перемычки, шунтируккцие петли термокомпенсирукшей решетки, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения в широком диапазоне температур, петли термокомпенсируннцей решетки выполнены различной длины, убывающей по закону геометрической прогрессии со знаменателем, равным 2, и размещенн .п=:— раллельно петляй основной решетки ! так, что наиболее длинная петля термокомпенсирующей решетки расположена рядом с крайней петлей основной ре- ф т т Д, (. -т v l

Д;Ъй РЕШЕТ К" 1, ((Эоо(Э ="! -!.((!Е 0:Т -:! т- (ч - =(- т.т ., т= тель(!0(1(I Bit!!I: p. е -„«!(BITH:т

ЭИСТИВНЬ(М гтзЕЬбааSOJJÅÃ! ЕЛЕ!! . !! !(С1::(Е!

ОЬ(ТЬ !(С((ОЛЬЗО гт!!О ТС!"- КЭМЕ !3= — !!((Е тгЮОМ щИИ г . =Е г ттЕМЕг е,(т

Поpai Je! ротг r, .гч-г(:; оy(1,;;*,:,-

TO -,.— ..! (тгт,г(,г;. т,, т. -, IJ,, I —;QI(;-I .*,,". -т !ЕТЕЛЬ ТЕ;:"г!ОКО!!.! !Е1- СЯ 0 ГтИБЕ,1:Э!" Е

МЕРЕН-г(:; Б (1!!-.РС:; Ос! --;::: г-„8ЭС т!E Е. тЦЕ -.

М IOJСТЕ; —; г 1;-,>rJyir — т(! гЕ(ттЕ.! К! -, гтт тт 1- то Е .-JО. О ::;: Е!1: C". .Эт "i ", Jttr= ..

Гг гт

ОгтЕ;!Т=-„(гги -", . — ЭЫ; г;т!r! 1" г! гггт„Bi., 1 O "- . = ЕЭО i! ЕЭ -IC TOP;- .

НЕМ ХХОт(:!г!чу ..1! ;г,, ОС. .-1;;Э;-Гу7(т Т гЕ r!,.: .:!

МЯ OP(iÄ." (Г „,, !",,. !JiirTiтГТДГ!,.: ", - т .т и 3trЭ!"!. iP : О(Е(- 02TJ Е ТКг (1:-члтг -ЕРУОi

"г..:10 БС Р .: тгЮгТЕг! P!!ãã(ÅÒÊ(! !те(П(Л E Jil»! r (тг ! О,, ((К! !! Ы,, .« 6 T: ". 2!é C é . C Э В KG - ОМЕ т -::-.: =. С г(О и (! Р О r 0." С C !:; "О

" Э- 1 !Е !!Е! " г- ., Е,, P Я Бг!Ы i, !! Э МЕ(!JЕ НЫ

;i г: К, "! С !JRH60 (ЕЕ ДЛ1 .!1!ч(Р!! !c-:ТЛЯ . -P (С J(C ; !HC!!i" тгтчт(тт!ЕЙ РЕГ!eÒÊÈ Рте СГ ОЛС =

P т, " P Д;- т !(Ет! i;Е Т.-.-: 1-! ОC! 05-- 01 О =" TJ.": — К Ьг (Е ..:"жЕ -1-" : = ° "("-:-;ЗС -ет-IC "Op Г - !Щ"-г(«Vl Ji г тт!тт ".."P т. %((тЛC 7Е Л г ч Г 0 Яо-- .: - - 1(1г;!;! :...Ь Гг!. д, .; акжЕ

Э:1тг -.". О;1! ...; -Ы!ТЬ .1=-Н(!я 1;Е" à ;0;;-Ы(--. —;=.г!ЭООС.=.(!С: OPOI! r . 1Р((ЭтаМ е. - тэ е 2 (-! Теомохэмпе!(01(,-г . ттг -;:, I .,у-..: г(т —.г-.,:;г»„гг(гтТ,Е т тгpтгъ!гт( г т=г-(1т-,т,г(о цЕ(,(— гf IJ!Е ! -! ., ., т IT! От 1тт.!ггтт !гете

-т((—.. .. л т г ч(-. (-:,. 1- . г!Еч"т-г,г тг .; ОО!i j5, : -:,С»тг . (- ТО,:> О;:т.;0 "т BP. . ЛЕ;т;г(0!т(т(1" гт ". 1 =; .", : рЕЦ "г« . г !..t-. С т!г(-ч Э СТОН(!Е! !)г(!

:. ". -:. Е "СР=.-. ЛРОт(Э1:!ЭДЯт:-! — ОДГОИ:" т!С Р(!Т Р(т О!ч(тт«т БСТ тЬ! ТЕ-- ЛЬ!Э!ОСТР. ! ..«Т гт(1= (1(г (I,,PßJJPJ! ° . ;" "! !I! . .,1 it;" (:,тат . 0J!, ./М . тт- - О!Т(!г(! 11 -" i 3 3 С а "гЪ !г СТ = -- H0C з: ) J!PL-ЦЕЛ! Я Е Cт((тт(Ь Кот !!ЯРЯ * - (Е!1: ..-" г ..:МЬ:-(1-2 (г! -,! г 1 НЕ Л(!Я

::.. "-: T-IРЛ .. 01::;.ЗOPЕЗ((СТOPЯ, — -. ОЕ. —. ."-." !В::О ТОЕ(: :=МО: —. =JJÿ e !

„.; —,=,т гт,!(ГЕTT . г:. --.;..-. Ц;,УРГ!т(Ь!

-!Я э> тгт! т!ч1! --,т ° гг =г .-"г (г 9 г-:

1(. :, .-! .(! - (ССКОЛЬКтт "0 :"т от(гБЛЕ

1! 2681

Составитель Н.Тимошенко

Редактор А.долинич Техред М.Надь Корректор О е Билак

Заказ 8679/30 Тираж 586

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва,Ж-35,Раушская наб.,д.4j5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

3 ния петель решетки 3 пропорциональны нх длинам, то задача сводится к подбору суммы сопротивлений, уменьшающихся по закону геометрической прогрессии со знаменателем, равным 2.

Число ступеней регулировки при этом будет равно 2, где М вЂ” число технологических перемычек 4, Это позволяет при малом числе перемычек 4 получить большое число ступеней 10 регулировки, и следовательно, повысить точность подгонки термокомпенсирующей решетки 3 за счет снижения погрешности дискретности регулировки.

При установке тензорезистора на объекте в условиях изменения температур в широком диапазоне возможно появление градиента температур по площади тензорезистора. При этом разность температур на петлях основной и термокомпенсирующей решеток 2 и 3 будет тем больше, чем дальше отстоят друг от друга эти петли, В то же время вклад каждой петли в формирование выходного сиг- 25 нгла пропорционален ее сопротивлению или ее длине. Поэтому расположение наиболее длинной петли термокомпенснрующей решетки 3 рядом с крайней . петлей основной решетки 2 позволяет уменьшить разность температ- p ..ежду этими петлями, г следоват=-пьно, и уменьшить погрешность, вноси.;-ую наиболее длинной петлей решетки 3.

Что касается более удаленных петель решетки 3, то они вносят меньшую дОлю в ВыхОднОЙ сигнал1 чтО снижает влияние несовпадения температур петель решеток 2 и 3 на погрешность термокомпенсации, Использование предлагаемого тензорезистора позволяет повысить точность измерения деформаций в широком диапазоне температур, что позволит улучшить метрологические характеристики датчиков механических величин,, в которых деформация упругого элемента преобразуется тензорезисторамн в электрический сигнал. Описанное конструктивное решение применимо для тензорезисторов любых типовпроволочных, фольговых, металлопле= ночных и полупроводниковых.