Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа

 

ВВДЕОКОНТРОПЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА , содержащее последовательно соеда1ненные детектор излучения, видеоусилитель , блок цветокодирования и цветную электронно-лучевую трубку, включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки, oтличaюв(eecJR тем, что, с целью повышения информативности при упрощении конструкции, блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом инвертора , первьм входо } коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.

СОНИ СОВЕТСКИХ

3 РМ

РЕСПУБЛИК (19 (Ш (ян Н 01 J 37/28 з

ГОСУДАРСТВЕННОЙ КОМИТЕТ СССР

AO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 3644394/24-21 (22) 04.08.83 (46) 30.11.84. Бюл. Ф 44 (72) Г.Л.Абрамов и Б.Н.Васичев (53) 621.385.833(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

У 565337,. кл. Н 01 J 37/28, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

У 634397, кл. Н 01 J 37/28, 1976 (aper отип) . (54) (57) ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО ИИКРОСКО.

ПА, содержащее последовательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветокодирования и цветную электроннолучевую трубку, включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения информативности при упрощении конструкции, блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом инвертора, первьм входоь1 коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.

Ф 11270

Изобретение относится к электрон= но-оптическому приборостроению, в частности к устройствам визуализации изображения в электронных микро скопах со сканирующим лучом.

Известно видеоконтрольное устройство (ВКУ) содержащее детектор иэУ лучения, усилитель, блок разверток, блок цветокодирования и,цветную (однслучевую) электронно-лучевую 10 трубку (ЭЛТ) $1j .

Однако сложность съемного решения и малое быстродействие устройства(вследствие недостаточной скорости переключения цветов) снижают цвето- 15 вую четкость изображения исследуемого объекта.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является ВКУ для растрового электронного микроскопа 20 (РЭМ), содержащее последовательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветокодирования и .цветную ЭЛТ, включающую модуляторы си. него, зеленого и красного лучей, а 25 также блок развертки. Блок цветокодирования содержит сумматор, пороговые элементы и две схемы совпадения j2), Данное устройство обеспечивает бо-З0 ,лее высокое быстродействие коммутации цвета ЭЛТ.

Недостатками указанного устройства являются также сложность схемного решения (наличие большого коли- З чества коммутационных и других устройств) и недостаточное быстродействие (ниже телевизионного стандарта разложения). Кроме того, в нем

КОличество дОполнительных цветОв 40 в иэображени.- на экране ЭЛТ ограничено числом уровней квантования,что снижает информативность цветового иэображения и делает изменение цветовой гаммы дискретным (скачкообраз- 45 ным).

Цель изобретения — повышение информативности при упрощении конструкции.

Указанная цель достигается тем, что в ВКУ для РЭМ, содержащем после- 50 довательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветоко. дирования и цветную ЭЛТ, включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки, 55 блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом ин24 ъ

/ вертора, первым входом коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Схема содержит последовательно соединенные детектор 1 излучения, видеоусилитель 2, блок 3 цветокодирования и цветную ЭЛТ 4. Блок 3 цветокодирования состоит из инвертора 5 и ком-. мутатора 6. С РЭМ и ЭЛТ связан блок

7 развертки. ЭЛТ 4 включает модуляторы красного 8, зеленого 9 и синего

10 лучей.

Устройство работает следующим образом.

Сигнал с исследуемого объекта, преобразованный детектором 1 излучения в электрический сигнал, .поступает на вход видеоусилителя 2, усиливается им до величины, необходимой для модуляции электронногo луча ЭЛТ, и подается на модулятор 10 синего луча ЭЛТ.

Одновременно с выхода видеоусилителя 2 сигнал поступает на вход инвертора 5, который изменяет фазу сигнала на 180 относительно входного сигнала. С выхода инвертора 5 сигнал подается на модулятор 8 красного луча ЭЛТ. Модулятор 9 зеленого луча с помощью коммутатора 6 подключается либо к выходу вндеоусилителя 2, либо к выходу инвертора 5 для модуляции зеленого луча прямым или инвертированным на противоположную полярность сигналом для изменения цветовой окраски изображения на экране ЭЛТ 4. В результате совместной работы электронных прожекторов синего и красного лучей модулированных по яркости прямым и обратным видеосигналами, на экране ЭЛТ происходит смешивание этих основных цветов с плавным переходом от синего к красному через всю гамму полутонов в зависимости от вклада величины прямого и обратного видеосигналов. За счет плавного перехода полутонов удается выделять по цвету наиболее тонкие структурные неоднородности объекта, так как глаз чувствителен к малйшим изменениям цвета и особенно к цветовому. контрасту. Изменение полярности видеосигнала с помощью инвертора 5 и коммутатора 6 позволяет значительно увеличить конСоставитель В.Гаврюшин

Редактор М.Келемеш ТехредМ.Гергель Корректор Н.Король

Заказ 8749/41 Тираж 682 . . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,- Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП"Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 112702 траст выделяемых деталей изображения путем смены цветового контраста. При этом. удается выделять мелкие и неразличимше на черно-белом изображении детали изображения образца, так как цветовой контраст деталей.изображения резко изменяется, и глаз легко обнаруживает этот контраст, даже если полутон исследуемой детали изображения мало отличается от фона. Это происходит потому, что,например, если на синем фоне видна голубая полоска, то после переключения видеосигнала от йнвертора в другой цветовой канал, эта полоска станет темно- 1g желтой на желтом фоне и т.д.

4 4

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет повысить информативность иэображения объекта эа счет повышения контраста его даталей при одновременном упрощении схемы устройства за счет исключения большого. числа коммутирующих устройств в бло" ке цветокодирования.

ВКУ может быть использовано в устройствах визуализации изображения в электронных микроскопах со сканирующим лучом, где оно позволяет sa счет повышения информативности изображения повысить качество и информативность исследования объектов в РЭМ.