Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния

 

Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечения трихлорсилана в основной конденсируемый продукт и уменьшения энергозатрат, испаренный азот, выходящий из теплообменника-вымораживателя и направляемый последовательно по теплообменникам процесса регенерации навстречу парогазовой смеси, перед вводом его в очередной теплообменник распределяют в зависимости от температуры конденсации компонентов регенерируемой парогазовой смеси на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу, по отношению их расходов корректируют расход исходного хладагента, например жидкого азота, подаваемого на конденсацию хлорсиланов, при этом расход парогазовой смеси, поступающей на регенерацию, регулируют по температуре регенерированного водорода, измеряемой на его выходе из процесса.