Датчик квадрупольного масс-спектрометра

 

1. Датчик квадрупольного масс-спектрометра, содержащий подключенную к источникам высокочастотного и постоянного напряжения электродную систему из четырех электродов, служащих для образования электрического поля, имеющего две плоскости симметрии и две плоскости антисимметрии, при этом три электрода выполнены цилиндрическими, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности и повышения надежности за счет снижения требований, предъявляемых к стабильности отношения амплитуды высокочастотного напряжения к постоянному напряжению, один из четырех электродов выполнен в виде выпуклого уголкового электрода, рабочая поверхность которого образована двумя пересекающимися под прямым углом плоскостям, совпадающими с плоскостями антисимметрии поля.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит три выпуклых уголковых электрода и два цилиндрических электрода, при этом центры четырех цилиндрических электродов расположены по вершинам квадрата, а центр пятого - в центре квадрата, а четырех уголковых электрода выполнены как единый электростатический экран, охватывающий электродную систему из пяти цилиндрических электродов.