Устройство для измерения потенциала заряженных слоев

 

УСТРОЙСТВО ДНЯ ИЗМЕРЕНИЯ nOTEfflWAJlA ЗАРЯЖЕННЫХ СЛОЕВ, содержащее короянруюций электрод измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором, а также соединенный с электроприводом цилиндрический каркас, вдоль оси которого закреплен коронируюций электрод, а боковая поверхность снабжена экранизирующими по- . лосками,несущими зонда,о тли ч аю щ е е с я тем,что,с целью повышения его быстродействия и рас1вирения функциональных возможностей, экра- . нирующие полоски размещены вдоль винтовой линии.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

РЕСПУБЛИК

4(5!) С R

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1

Н АВТОРСНОМУ СНИОВТВЛЬСТВМ "

? (21) 3670866/24-21 . (22) 05.12.83 (46) 07.07.85. Бюл. р 25 (53) 621.317.32(088.8) ГОСУДМ СТВЕННЫЙ НОМИТЕт СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (72) В.И.Фулга, П.А.Коваленко и

Л.M.Ïàíàñþê (56) Патент ФРГ В 2502311, кл. 9 01 и 29/12, 1977.

Авторское свидетельство СССР

Ф 1100583, кл. Q 01 R 29/12, 1982.

„„SU„,! 166020 A, (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ПОТЕНЦИАЛА ЭАРЯЖЕННЬК СЛОЕВ, содераащее коронирующий электрод, измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединеннвм с электроприводом и регистрирующим прибором, а такие соединенный с электроприводом пилиндрнческий каркас, вдоль осн которого закреплен коронирующий электрод, а боковая nosepzность снабнена экранизирующими полоскамн,несущими зонды,о т л н ч а-e g e e с я тем,что,с целью повыаения его быстродействия н расщирения

4ункциональнык возмовиостей, экранирующие полоски размещены вдоль винтовой линии.

1166020

Составитель Е.Плужникова

Редактор Н.Данкулич Техред О.Неце Корректор Е.Сирохман

Заказ 4305/39 Тираж 748 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

4»

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при определении потенциала заряжаемых коронным разрядом тонких диэлектрических пленок, фото- S полупроводниковых слоев.

Цель изобретения -.повышение быстродействия и расширение функциональных возможностей устройства. . На чертеже изображено предлагае- 10 мое устройство,. общий вид.

Устройство включает в себя коронирующий электрод 1, окруженный цилиндрическим каркасом 2, опоясан.ным винтовой экранирующей полоской 3 с зондом 4, контакты 5, служащие для снятия сигналов с зонда 4, и контакты 6 - для заземления экранирующей полоски З.Цилиндрический каркас 2 приводится во враще- 20 . ние приводом 7. Исследуемый слой 8 помещается под каркас 2. (Источники питания коронирующего электрода 1 и привода 7 не показаны ). Регистрирующий прибор 9 подключен к контактам 5 измерительного зонда 4, параллельно прибору подключен резистор 10.

Измерения потенциала заряженных слоев проводятся следующим образом. 30

На коронирующий электрод 1 подается высокое напряжение .и иселедуемый слой заряжается в поле корон. ного разряда. Одновременно приводится во вращение каркас 2 с зондом 4 °

Поверхностный заряд на слое 8 вызывает в проходящем над ним зонде

ЭДС электростатической индукции, Ток, проходящий через резистор 10, фиксируется прибором 9, например осциллографом. При вращении цилиндрического каркаса 2 относительно неподвижного исследуемого слоя 8 в первый момент зонд 4 своей крайней частью приближается к слою 8, Затем, по

I, мере вращения, нижняя и ближайшая часть к слою 8 зонда 4 будет перемещаться вдоль слоя, т,е. вращающийся винтообразный зонд 4 по отношению к слою 8 будет перемещаться линейно вдоль него. Следовательно, на приближающемся к слою зонде 4 в силу электростатической индукции возникает сигнал, пропорциональный величине заряда s данном месте поверхности слоя. При перемещении зонда вдоль слоя 8 сигнал с зонда 4 зависит от колебаний заряда вдоль слоя 8.

Связанный с зондом 4 прибор 9, например осциллограф, фиксирует кривую, соответствующую распределению заряда вдоль слоя 8.