Аппарат для сжигания и очистки газов

 

АППАРАТ ДЛЯ СЖИГАНИЯ И ОЧИСТКИ ГАЗОВ, содержащий верти76 ГЗ кальный корпус, размещенные в нем камеру сжигания, форсунку с щелью, патрубок для слива жидкости, трубку для ввода газов, регулятор давления и фильтр, отличающийся тем, что, с целью повышения степени очистки отходяпщх газов от токсичных, коррозионных и горючих примесей, камера сжигания снабжена коллектором с отводной трубкой, выходное отверстие.которой расположено напротив распылительной щели форсунки, и нагревателем воздуха, установленным перед камерой . S (Л /у

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1Г .

17

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3584367/23-26 (22) 18.04.83 (46) 07.08.85. Бюл. 9 29 (72) М.С. Ламонйн и В.Н.. Костин (53) 66.047.3.(088.8) (56) Специальное технологическое оборудование для микроэлектроники:

Сб. МИЭТ. — М.: 1968, с. 75-119.

Удыма П.Г. Аппараты с погружными горелками. — N.: 1973, с. 230-233.

Авторское свидетельство СССР

740267, кл. В 01 D 50/00, 1976. (54) (57) АППАРАТ ДЛЯ СЖИГАНИЯ И

ОЧИСТКИ ГАЗОВ, содержащий верти„„80„„1171072 А кальный корпус, размещенные в нем камеру сжигания, форсуйку с щелью, патрубок для слива жидкости, трубку для ввода газов, регулятор давления и фильтр, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения степени очистки отходящих гаэов оТ токсичных KopposHoHHbIx u горючих примесей, камера сжигания снабжена коллектором с отводной трубкой, выходное отверстие которой расположено напротив распылительной щели форсунки, и нагревателем воздуха, установленным перед камерой.

1171О72

Составитель E. Сотникова

Редактор N. Бланар Техред С.Мигунова Корректор В. Синицкая

Заказ 4767/5 Тираж 659 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

I по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к конструкциям устройств для очистки газов от примесей и может быть использовано в полупроводниковых производствах для очистки отходящих газов от фосфина, моносилана, тетрахлорида кремния, аммиака, хлористого водорода и подобных им по химическим свойствам газов и паров.

Цель изобретения — повышение

10 степени очистки отходящих газов от токсичных, коррозионных и горючих примесей.

На чертеже изображен аппарат, продольный разрез. l5

Аппарат для сжигания и очистки газов содержит вертикальный корпус 1, расположенные в нем форсунки 2 со шелью 3, патрубок 4 для слива жидкости, камеру 5 сжигания, трубку 6 для ввода газа, регулятор

7 давления, фильтр 8. Камера 5 сжигания снабжена коллектором 9 с отводной трубкой 10, выходное отверстие

11 которой расположено против распы- 25 лительной щели форсунки 2. Форсунка 2 соединена через регуляторы расхода 13 и 14 со штуцерами подвода газа 15 и жидкости 16 соответственно. Нагреватель 12 возду- 30 ха соединен посредством патрубка 17 с регулятором 18 расхода, снабженными штуцерами 19 и 20 подвода газа. К нижней части корпуса присоединен съемный поддон 21, над которым установлен коллектор 9.

Аппарат работает следующим образом.

Горючие газы (нацример, фосфин) подают через штуцер 20 в камеру 5, куда через штуцер 19, регулятор

18 расхода, патрубок 17 и нагреватель 12 поступает воздух, нагре. тый до такой температуры, что температура смеси газов в камере 5 45 . оказывается выше температуры воспламенения, в результате чего газы сгОрают. Затем продукты сгорания поступают в воду, барботируют и поступают в коллектор 9.

Хорошо растворимые в воде газы (НС1, МНз) подают в воду через трубку 6, барботируют и поступают н коллектор 9. Собранные в последнем газы по отводной трубке 10 поступают в струю аэрозоля через выходное отверстие 11. Продукты взаимодействия смываются водой и IIO стенкам стекают в поддон 21, который для облегчения очистки выполнен съемным; Далее газы через фильтр 8 выводят из аппарата.

Регулятор 7 давления предотвращает возникновение в скруббере (не показан) повышенного давления (при кратковременной перегрузке по газовым потокам), приводящего к попаданию содержимого скруббера в подводящие газовые магистрали, что недопустимо из-за требований к чистоте технологических газов.

Сливной патрубок 4 выполнен таким образом, что вода не позволяет газам, находящимся внутри корпуса, выйти через. него наружу. Таким образом, в рабочем режиме корпус аппарата является герметичным.

Создаваемый форсункой аэрозоль состоит из мелких капель воды, насыщенной растворенным в ней при распылении кислородом воздуха, поэтому общая поверхность взаимодействия газовой и жидкой фаз очень велика, в такой системе весьма эффективно идут реакции в водном растворе — гидролиз и окисление моносилана, растворение аммиака, хлористого водорода и продуктов окисления фосфина.

Таким образом, наличие коллектора с, отводной трубкой позволяет повысить эффективность очистки отходящих газов, а применение для очистки газов высокоинтенсивных процессов — сократить габариты аппарата, снизить материалоемкость.