Рефлектометр

 

РЕФЛЕКТОМЕТР, содержащий гониометр с предметным и поворотны столиками, электродвигатель, фотоприемник , соединенный с синхронным Фi/t.f детектором, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона рабочих частот модуляции угла падения и упрощения конструкции, в него введен дисковый обтюратор с двумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями, размещенный на валу электродвигателя перпендикулярно оси вращения вала, при этом электродвигатель размещен на поворотном столике, а предметный столик установлен перпендикулярно плоскости,проходящей через линию соединения центров прорезей обтюратора и ось вращения вала, причем угол л Ч между предметным столиком и дисковым обтюратором выбирается из условия Л ( где РИГ- соответственно радиусы окна фотоприемника и светового пучка , поступающего на его вход; расстояние между осью вращения гониометра и окном фотоприемника.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)4 G 01 N 21/55

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,,I

Н ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

@us. f

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3645971/24-25 (22) 08.07.83 (46) 30.08.85. Бюл. У 32 (72) П.И. Дрозд, Л.В. Поперенко и И.А. Шайкевич (7i) Киевский ордена Ленина государственный университет им. Т.Г. Шевченко (53) 535.24 (088.8) (56) Горбань Н.Я., Дрозд П.И. и др.

Гониометрическая приставка к эллипсометру: Известия вузов СССР, Физика. 1979, Ф 9, с. 92.

Victor М. Bermudez AIDER (AngIe-of-incidence derivative elIipsometry and refIectometry

implementation and application.

1980, ч. 94, Ф 1, р. 29-40. (54) (57) РЕФЛЕКТОМЕТР, содержащий гониометр с предметным и поворотным столиками, электродвигатель, фотоприемник, соединенный с синхронным

ÄÄSUÄÄ 1176219 А детектором, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона рабочих частот модуляции угла падения и упрощения конструкции, в него введен дисковый обтюратор с двумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями, размещенный на валу электродвигателя перпендикулярно оси вращения вала, при этом электродвигатель размещен на поворотном столике, а предметный столик установлен перпендикулярно плоскости, проходящей через линию соединения центров прорезей обтюратора и ось вращения вала, причем угол а У между предметным столиком и дисковым обтюратором выбирается из условия и (ЛЧ4 (Ruj2E где

Р и r — соответственно радиусы окна фотоприемника и светового пучка, поступающего на его вход; расстояние между осью вращения гонио метра и окном фотоприемника °

11762

Изобретение относится к модуляционной спектроскопии и может быть использовано s рефлектометрии и эллипсометрии для контроля качества обработки плоских зеркальных по- S верхностей.

Цель изобретения — расширение диапазона рабочих частот модуляции угла падения и упрощение конструкции устройства.

На фиг.1 изображена схема рефлектометра; на фиг.2 — то же, вид сбоку.

На предметном столике 1 гониометра 2 закреплен электродвигатель

3. На валу электродвигателя закреплены испытуемый образец 4 и дисковый обтюратор 5 с двумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями. Устройство содержит 20 фотодиод 6 .и лампочку 7 накаливания в канале формирования опорного сигнала синхронного детектора 8. Фотоприемником 9 регистрируют полезный сигнал. 25

Ось Е вала электродвигателя перпендикулярна оси поворота гониометра 2, пересекает ее и направлена по биссектрисе 1 аоЬ,образованного направлением щ падающего 30 пучка и направлением ь соответствующим направлению отклоненного образцом 4 пучка света при dV= О.

Прерыванием светового пучка дисковым обтюратором 5 формируют опорные сигналы в синхронном детекторе. За счет выбора угла 39 обеспечивают амплитуду угловой модуляции падаю19 г щего на образец 4 света при повороте вала на 360 вокруг оси Z, Дисковый обтюратор с двумя диаметрально противоположными прорезями ориентирован перпендикулярно оси вращения вала, а плоская поверхность образца 4 перпендикулярна плоскости, . проходящей через линию соединения центров отверстий обтюратора и ось вращения вала.

Устройство работает следующим образом.

Падающий на испытуемый образец

4 в направлении ot пучок света отклоняется плоской поверхностью образца при повороте вала электродвигателя 3 вокруг оси Е. При полном повороте вала значения углов падения и отражения изменяются при угле падения в пределах от М+ 2д V до

9 -2д Чвблизи направления Ь. Причем центр отклоненного светового пучка движется вокруг направления Ь по окружности в плоскости зрачка фотоприемника 9. При этом полезный сигнал с фотоприемника 9 поступает на вход синхронного детектора 8 только в те моменты времени, когда через прорези обтюратора 5 проходит световой пучок, формирующий управляющие импульсы в опорном канале синхронного детектора, а образец 4 направляет измеряемый пучок света вблизи направления Ъ на фотоприемник либо под углом Ч-2a9 либо 9-2д когда плоская поверхность образца совпадает с осью поворота гониометра.