Способ подгонки частоты пьезоелектрических резонаторов
Класс 21а4 10
¹ 122780
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
П. Г. Поздняков
СПОСОБ ПОДГОН КИ ЧАСТОТЫ П ЬЕЗОЭЛ ЕКТР И Ч ЕС КИХ
РЕЗОНАТОРОВ
Заявлено 18 ноября 1958 г. за Ка 611993/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» М 19 за 1959 г.
Известен способ подгонки частоты пьезоэлектрических резонаторов, основанный на химическом взаимодействии покрытия резонатора, выполняющего роль электрода, с газообразными или парообразными веществами, с непрерывным контролем частоты резонатора в процессе подгонки.
Недостаток способа заключается в том, что в процессе подгонки частоты при воздействии газообразного вещества на материал покрытия омическое сопротивление электродов резонатора не остается постоянным, а увеличивается, в результате чего прн длительном воздействии ухудшаются электрические параметры резонатора.
В описываемом способе этот недостаток устранен тем, что на поверхность кристаллического элемента наносят двухслойное покрытие, после чего на верхний слой покрытия воздействуют струей газа или пара какого-либо вещества, хим11чески взаимодействующего только с верхним слоем покрытия.
Нижний слой покрытия выполняет роль проводящего электрода и не вступает в химическое ьзаимодействие с газообразгн1м реагентом при подгонке частоты.
Для повышения частоты резонатора при воздействии на его покрытие газообразного реагента в качестве материала верхнего покрытия применяют слой такого вещества, которое под влиянием этого химического реагента переходит в газообразную форму, вследствие чего толщина слоя покрытия уменьшается.
Для понижения частоты резонатора верхний слой покрытия выполняют из материала, который, взаимодействуя с газообразным реагентом, образует твердые устойчивые химические соединения.
Так, например, при основном серебряном покрытии 1r алюминиевом верхнем слое, воздействуя на верхний слой газообразным x,1îðîì, получают на его поверхности пленку хлористого алюминия, B рсзуль№ 122780 тате чего толщина покрытия увеличивается и резонансная частота пьезоэлектрического резонатора уменьшается.
Для повышения эффективности способа дополнительное:,окрытие можно наносить не па всю поверхность основного слоя, а лишь на участки, где находятся пучнасти смещений.
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Редактор P. Гальцева Гр. 89
Подп. к печ. 8ЛХ-59 г.
Тираж 7б0 Цена 25 коп.
Информационно-издательский отдел.
Объем 0,17 и. л. Зак. 7264
Типографии Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Петровка, 14.
П р е,д и 6" т и в .d á р е т е.ц и я
Способ подгонки частоты пьезоэлектрических резонаторов, основанный на химическом взаимодействии покрытия резонатора с га;ообразными или парообразными веществами, отличающийся тем, что, с целью сохранения постоянства величины омического сопротивления электродов резонатора в процессе подгонки частоты, на кварцевую пластину наносят двухслойное покрытие и применяют для изменения толщины нанесенного слоя такое вещество, которое химически взаимодействует только с наружным слоем (например, газообразнь1й хлор при серебряно-алюминиевом покрытии) .
