Способ замера толщины покрытий

 

№ )22879

Класс 42Ь, )2оз

СССР

1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю, К. Григулис

СПОСОБ ЗАМЕРА ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ

Заявлено 25 апреля 1958 г. за № 598056 25 в Комитет по делам изобретений н открытий прп Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 19 за 1959 r.

Спо,"обы замера толщины покрытий посредством устройств, содержащих индуктивный датчик и высокочастотный генератор, измеряющий толщину покрытия по изменению напряжения, известны.

Отличительная особенность предлагаемого способа заключается в том, что для одновременного измерения двух параметров, например, толщины покрытия и прослойки или толщины покрытия и его проводимости, дополнительно измеряют частоту и по величинам частоты и напряжения определяют контролируемые параметры; определение последних осуществляется на основании заранее построенных кривых экспериментальных зависимостей напряжения и частоты от изменения этих параметров.

На фиг. 1 изображены кривые изменения частоты и напряжения высокочастотного генератора; на фиг. 2 — принципиальная схема устройства для осуществления описываемого способа; на фиг, 3 — кривые, полученные посредством этого устройства.

Ниже в качестве примера описывается способ, дающий возможность без разрушения изделия измерять толщину никелевых покрытий и медной прослойки. Способ этот основан на том, что изменение частоты и напряжения генератора, в резонансный контур которого включен измерительный датчик (катушка на ферритовом сердечнике), зависит от толщины покрытия и прослойки на контролируемом изделии. Зта зависимость связана с возникновением вихревых токов на поверхности.

Вихревые токи влияют на электрические свойства датчика, а изменение последних вызывает изменение частоты и напряжения генератора.

На фиг. 1 показана кривая 0 изменения частоты F и напряжения V генератора при нулевой толщине прослойки в зависимости от изменения толщины никелевого покрытия от 0 до толщины большей глубины проникновения электромагнитного поля, созданного датчиком, 5, 10, 15 — аналогичные кривые для прослоек толщиной 5 м, 10 и, и № 122879

15 л . Устройство, схема которого изображена на фиг. 2, состоит в основном из генератора, резонансного контура, чувствительного к изменениям частоты генератора, прибора 1, измеряющего напряжение генератора, и регистрирующего изменения частоты последнего прибора 2. Посредством этого устройства сняты кривые, представленные на фиг. 3.

Кривые эти сняты следующим образом. Определялись показания приборов Vi u Vg для прослоек толщиной 0 м, 5 л, 10 м, 20 м, 30 я и

40 м с никелевым покрытием толщиной 0 м, 10 м, 20 м и 30 м. Соответствующие точки соединялись кривыми. При этом жирные кривые показывают расположение точек для случая, когда изменяется толщина покрытия никеля при определенной толщине прослойки меди. Измерение толщины никеля и медной прослойки осуществляют в следующей последовательности. На контролируемое изделие с двуслойным покрытием устанавливают измерительный датчик. Отсчитывают показания приборов 1 и 2 и полученную точку отмечают на координатной сетке.

Расположение этой точки указывает соответствующие толщины никелевого покрытия и прослойки.

Предмет изобретения

Способ замера толщины покрытий посредством индуктивного датчика и высокочастотного генератора, измеряющего толщину покрытия по изменению напряжения, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью одновременного измерения двух параметров, например, толщины покрытия и прослойки или толщины покрытия и его проводимости, дополнительно измеряют частоту и по величинам частоты и напряжения определяют контролируемые параметры на основании заранее построенных экспериментальных зависимостей напряжения и частоты от изменения этих параметров.