Вторично-эмиссионная электронная пушка
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
15,11 4 - йа1
/"..Q/
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ сг glue. 7
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3673934/24-21 (22) 16.12.83 (46) 07.02.86. Бюл. № 5 (72) М. А. Аброян, С. С. Денисов, С. П. Дмитриев, В. П. Федяков и В. И. Финкельштейн (53) 621.385 (088.8) (56) Нечаев А. А., Персианцев И. Г., Полушкин В. М. и др. Газовая электронная пушка с плазменным анодом.— ПТЭ, 1983, ¹ 2, с. 156.
Патент США № 3970892, кл. 315 — 111, 3, 1976. (54) (57) ВТОРИЧНО-ЭМИССИОННАЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ П .ШКА, содержашая .— тод. сетчатый анод, камеру прианодной плазмы с устройством для ее создания, содержащим ненакаливаемые электроды и вывод„„SU„„1210157 A ное устройство, от.г1г гающаяся тем, что, с целью повышения энергии и увеличения апертуры пучка хскорспных электронов при со сранении о. ц1оро ц1остп р11спределенпя плотности тока llo и loi1131II, устройство для создания прианодной плазмы выполнено в виде двух источников заряж "HHblx частиц, установ.!енных встречно вдоль llpoTIIBolloзожных
oohoBblx стенок 1 ам« pbl, каждь! и источник содержит систему из треx параллельных плоских протяженных электродов, перпендикулярных плоскости сетчатого анода, два блпжайп1нх к ocll пучка ускоренных эл hтронов электрода выполнены сетчатыми, а третий — — сплоп1ным, в промежутке между крайними электродами установлены постоянные м агH иты с пер цен 1и ку,1я() и ым и, 1оскости электродов направлением магнитного поля. д
«D
1210!57
Изобретение отш>сится к сильноточной электронике, в частности к электронным II» lllкам с большой апертурой эле!Сгронного пу Iка, и может оыть использовано при элскгроионизационном способе накачки газоны»
„1 cl 3 Е P 0 Б .
Пслью изобретения является понып< HH(. эп(. р гll kf kl » 11 ИЧЕНИЕ clнСРTÓÐЫ ЭЛСКTÐOÍHÎI Î ПУЧKИ ПРП c0»pa JiBili«i одноро,п(ос).и риспр<,!< ления ! <лоти(>стп Ока IIO Ilëî!Hà 111. На фиг.1 пока:>a!!a втори шо-эмиссионная элскTpoail«5! пушка, р;>зрсз; ца (1>иг.2 — сечеП ИЕ Л А II cl ф и Г.! . 1»ато)е 1 с ll(&f0!!lb!0 Высоковольтного изо IH!<>p(I 2»ста1<овл li B вак» умной камере 3, к к<>ГOpOII пристыкована камера 4 для образоВсн ПI и II Ри 1110 l HO !1 ПГIЯЗ. 11>1, 13(. P XH fOIÎ CT(Í КЯ которой образована c(тчитым аноз!ом 5, и нпж flH51 . е>ыводпым УстРОистВОм 6, I IP(. 1CTB B,15пОщ Им СОООИ TOH K» ю >кl Ta)I. i È×(CK» I<> : ) О;1 Ь I », 11 О I, (. р ж И В Я е м» 10 0110 р Н О и р е I и (>Т К 0 й. Уст ро!!ст!30;ег>я (оздя lf èÿ II() Hà Hî,kíой пл с!Зм и B hl I I O, I I I (. H 0 Б В И д(, Е В, Х И С Т 0 Ч Н И и О Е3 7 3 с< р яH ПОХIОПЕЫО Вс!К\>уМ НОГО НБСОСя 1 3 И НБТ(Каг<.1H 4. Устройство работает следующим образом. (. Но!мощью вакуумного насоса 13 и натекатсля 14 Б камера» 3 и 4 электронной пушки задается рабочее давление на уровне 10 10 торр. При подаче положительного напряжения на сетчатый электрод 8 через про: одной изолятор 12 образующиеся в Ilp0межутке между находящимися под земляным потенциалом электродами 9 и 1О электроны совершают колебательныс движения, i!povoдя !срез сетчатый электрод 8. На своем пути электро fhl иоппзируют молекулы раоочего Г и 3 И, с! О О Р с> 3 О В d В и! И (. С H В 11 Р 0 XI Е> Ж > Т К (.">1 Е Ж k» э.1CKTpOäñl м и 9 ll 10 ион ь! скВОзь се1 чс11 ьп! электрод 8 вылетают в камеру 4, приобретая энергпк>, обусловленнук> потенции10»1 электрода 8. В сл3 <ае подачи отрицательного напр5!ж< HkfH на э. 1(>к> ро 8 Б KB»10(>v 4 Bbl>>ета!От электроны. Величина потенциала >лектрода 8 выбирается Б зависимости от явления газа таким образом, что длина 5 свободного пробега, 1снсрирусмого источниКОХ1 Г<ЕНТОЧ НОГO I» Ч Ка "Я PЯЖ(ННЫХ Ч ЯС1 и Ц, :!рсвып ает поперечный размер ка;1еры 4. И< !н>льзование дву» источников заряжен! IhlX 1ЯСТИЦ, СОЗДЯЮIЦИХ ВСТРЕсlНЫЕ lf» ЧКИ, IIOBbIlJfci(T ЭффЕKTIIBIIOCTB ИОНИЗЯЦИИ OCTdTO×10 цог(j газа, II03Boляег увеличить оо facTI>, за!Еятук> прианодпой плаз !ой. При выборе режим;; работы с длиной пробега заря>кеHпых частиц больп(е поперечного размера камеры 4 частицы, дос1!(гение противоположНОГÎ ис- Оч и и кя Отр и жя Отс я 0Т эг!е<<тро 1Я 8 15 и возвращаются в камеру. Таким образом, даже llри ни:<ком давлении рабочего газа кон ц нтрация приа(н>дной пле!змы достаточНO»åëèêa. c>Q с. IIO »IOIUbl0 ПОСТОИННЫХ М я! П ИТОБ 1 1 элсктроцов 9 и 10, которые ис:!Ользуются в КаЧЕСтВЕ Магпит<П>РОВО.ЕОВ, В ПРОМЕжУтКЕ межз!у ними создается постоянное !магнитное пол(. В, !!B !!pa Bëåííî< перпендикулярно ! <лоскости электродов (0003HBчепо стрелкой!. Наличие магнитного поля Обе<и!ечивает »стойчпвос горение разряJB Б широкO»l диапаЗОН(> пзм(>ll(. н Ия . !ЯВЛ "JI115i, Bil.10ÒÜ:10 ВЫСОКОI О ВЯК» "Ма, НОСКО..1ЪК3 Э,<СКТРОПЫ В Э10М (;1 > Чс! Е ДВИЖМТСЯ !10 ВИ1ITOБОй .<ИН НИ ВДО, I Ü силовы.(линий магнитног0 поля, набирая большие эффективные .,1«i ы свободного пробеги. (I<>ë действием образованных источников 7 Bàpÿæåííû» частиц в камере 4 образуется слой прианодной плазмы. Через отверстия в с(тчатом аноде 5 в камеру 3 из приано,!ной плазмы вытягиваются ионы, которые, ройдя ускор5!ющук> разность потен-! Еиялов, оомбардируют катод 1, Вызывая эмиссию вторичных электронов. Вторичные э,!ектроны ускоря(отея в направлении сетчатого allo ia 5, приобретают энергию, опреде40 ляемую потенциалом к!103!a !, через 0ТВерстия B сетчатом аноде 5 проходят через камеру 4 и затем через устройство 6 вывоl 51 l Ñ H И 3 э. 1 B K T;) O 13 J!011 и Н1 К И . П.1 ОТ Н 0 СТ Ь ТОКИ ! У-IKcl 3СКОРЕННЫ» ЭЛЕКТРОНОВ ОПРЕ.!ЕЛЯЕтСЯ 45 концентрацией прианодной плазмы, за13исяЕцсй от дан 1(I!IIH рабочего газа и параметров источника 7, расстоянием между катодом 1 И СЕТ-I с>ТЫ М я Нодо М 5 И kl a li p51 >К ("и И ЕМ Н я К cl Т! > 1(> . Редактор О.Юрковецкая Заказ 524/56 Составитель С. Доценко Техред И. Верее Корректор.А. Зимокосов Тираж 644 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4
