Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек

 

Изобретение относится к области радиотехнических измерений. Цель изобретения - поньшение точности и упрощение контроля. Устр-во, реали// зующее способ, содержит диэлектрический волновод (ДБ) 1, возбуждающий подложку (П) 2 и ДБ 3, соединенный с индикатором резонансных частот. В П 2 с помощью ДВ 1 возбуждают колебания бегущей волны типа Н;,- , где S н ( - порядки резонанса по смежным сторонам П 2. С помощью ДВ 3 отводят эл. магн. энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами л f и вычисляют коэф. замедления групповой скорости Vtf поверхностной волны Н, образующей колебания в П2, по фор-ле Га + Ь , где С - скорость света в свободном пространстве, а и b - длина и ширина П2. Значение диэлектрич. проницаемости П вычисляется по известной зависимости. 1 ил. / 2 § (Л ГС 00 со 4 со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (594 G 01 R 27 26

Г„ -., -, к

\

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ я ь

Ме еяь ме

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3717547/24-09 (22) 22.03.84 (46) 15.03.86. Бюл. Ф 10 (72) В.М.Газаров, В.Ф.Дергачев и С.И.Подковырин (53) 621.317.335(088.8) (56) ТУ 11-81 "Подложка" ОСТ 11027.

045-80.

Доброьйслов В.С., Варибрус С.В.

Повьппение эффективности контроля параметров поликоровых подложек для интегральных схем. — Тр./Моск. энерг. ин-та 1981, вып. 516, с.83 ° (54) СПОСОБ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПОД ЛОЖЕК (57) Изобретение относится к области радиотехнических измерений. Цель изобретения — повьппение точности и упрощение контроля. Устр-во, реали„„SU„„1218343 А зующее способ, содержит диэлектрический волновод (ДВ) 1, возбуждающий подложку (П) 2 и ДВ 3, соединенный с индикатором резонансных частот. В

П 2 с помощью ДВ 1 возбуждают колебания бегущей волны типа Н „ @ где 6 и с — порядки резонанса ло смежным сторонам П 2. С помощью ДВ 3 отводят эл. маги. энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и измерения резонансных частот.

Измеряют разность частот между соседними резонансами 4 f и вычисляют коэф. замедления групповой скорости

Vzp поверхностной волны Н1, образующей колебания н П2 ло фор-ле ряг

= С/аf.2 а + Ья, где С вЂ” скорость света в свободном пространстве, а и

Ъ вЂ” длина и ширина П2. Значение диэлектрич. проницаемости П вычисляется по известной зависимости. 1 ил.

Составитель P.Êóýíåöoâà

Техред О.Неце Корректор С.Черни.

Редактор Н. Горват (Заказ 1129/54 Тираж 730 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

4 1

Изобретение относится к радиотехническим измерениям, а именно к неразрушающему .контролю диэлектрической проницаемости подложек в миллиметровом диапазоне длин волн, Цель изобретения — повышение точ-. ности и упрощение контроля.

На чертеже приведена конструкция устройства, реализующего способ неразрушающего контроля диэлектричес- . кой проницаемости подложек.

Устройство содержит диэлектрический волновод 1, возбуждающий подложку 2, и диэлектрический волновод 3, соединенный с индикатором резонансных частот °

Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек осуществляют следующим образом.

В подложке 2 с помощью диэлектри-. ческого волновода 1, который образует с одним из торцов подложки 2 участок распределенной связи, возбуждают колебания бегущей волны типа Н р, где 8 и ч, — порядки резонанса по смежным сторонам подложки

2. По толщине подложки 2 колебание имеет одну вариацию поля, и вектор поляризации электрического поля параллелен плоскостям подложки 2.

Колебание типа Н„ р образуется за, счет последовательйого полного отраженйя поверхностного волнового пучка от всех торцов подложки 2.

Направление распространения электромагнитной энергии поверхностного волнового пучка показано на чертеже стрелками. С помощью диэлектрического волновода 3 отводят электромагнитную энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и

218343 2 измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами а f и вычисляют коэффициент замедления групповой ско5 рости Ч р поверхностной BQJIHbI Н образующей колебания в подложке 2, по формуле

C д1 2 а + Ъ

10 где С вЂ” скорость света в свободном пространстве, а и Ь вЂ” длина и ширина подложки 2.

Значение диэлектрической проницаемости подложки вычисляется по известной зависимости по величине Vqp и известному значению толщины Й подложки 2.

Формула изобретения

Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек, заключающийся в возбуждении в подложке электромагнитных колебаний, измерении резонансных частот и вычислении диэлектрической проницаемости подложек, о т л и ч а юшийся тем, что. с целью повышения точности и упрощения контроля, в подложке возбуждают электромагнитные колебания бегущей волны типа H ф, где S и 9, — порядки резонанса по смежным сторонам подложки, посредством диэлектрического

35 волновода, установленного параллельно одному из торцов подложки, и по разности резонансных частот соседних колебаний вычисляют значение

40 диэлектрической проницаемости подложки по известной зависимости.