Способ измерения угла поворота объекта

 

Изобретение позволяет повысить точность прецизионного измерения угла поворота объекта в машинои приборостроении путем установки интерференционного угломера в эффективное начальное положение. После установки блока триппель-призм интерференционного угломера в геометрическое начальное положение его последовательно поворачивают на одинаковые, возможно большие углы + f, измеряют со ответствую1цие им значения разностей хода пучков А и Д , определяют величину ,.1/2и вводят эту поправку (й в определяемый угол поворота объекта. Изменение начального положения интерференционного угломера из геометрического в эффективное позволяет скомпенсировать погрешности измерения угла поворота, обусловленные неравенствами высот триппельпризм, наличием угла между падающими на них пучками лучей и отступлением углов между гранями триппель-призм от угла, равного 90° . § (Л to tsD оо сд

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1221485 (511 4 С 01 В 9 02 11 26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИЙ Q1 1 1xgr

Ъ 1а > °

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ КУУЗЕ;. д, (21) 3716127j25-28 (22) 30.03.84 (46) 30.03.86. Бюл. У 12 (72) Ю. В. Коломийцов (53) 531.743(088.8) (56) Лазерная измерительная система.

"5526 А". Проспект фирмы, 1979. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА ПОВОРОТА

ОБЬЕКТА (57) Изобретение позволяет повысить точность прецизионного измерения угла поворота объекта в машино- и приборостроении путем установки интерференционного угломера в эффективное начальное положение. После установки блока триппель-призм интерференционного угломера в геометрическое начальное положение его последовательно поворачивают на одинаковые, возможно большие углы + Т, измеряют соответствующие им значения разностей хода пучков Ь„ и Л, определяют величину 8ь=Ы,1-lh4/2è вводят эту zioправку РА в определяемый угол поворота объекта. Изменение начального положения интерференционного угломера из геометрического в эффективное позволяет скомпенсировать погрешности измерения угла поворота, обусловленные неравенствами высот триппельпризм, наличием угла между падающими на них пучками лучей и отступлением углов между гранями триппель-призм от угла, равного 90

1221485!

6+8 g я и

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для прецизионных измерений углов поворота объекта в машино- и приборостроении.

Целью изобретения является повышение точности измерения путем устранения ошибки установки начального положения.

Способ измерения угла поворота осуществляют следующим образом.

Предварительно с контролируемым объектом скрепляют блок триппельпризм, сОстОящий иэ двух призм, входные грани которых лежат в одной плоскости, а расстояние между их вершинами равно L. Величина L является базой интерференционного угломера.

Ориентируют входные грани триппельпризм перпендикулярно направлению падающих на них параллельных пучков лучей, фиксируют это начальное положение блока триппель-призм, например, с помощью вспомогательного автокоррилятора — геометрическое начальное положение.

Совмещают отраженные от блока триппель-призм пучки в интерферометре. При настройке угломера, после установки блока триппель-призм в < геометрическое начальное положение

его последовательно поворачивают на одинаковые, возможно большие углы

+ чр, измеряют соответствующие им значения разностей хода пучков 61 и б и определяют величину

g 16 1- th .!

<э 2

Введение поправки 8 6 эквивалентно отсчету измеряемого угла иоворота из такого эффективного начального положения блока триппель-призм, при поворотах из которого на одинако. вые углы + 1 измеренные значения 61 и а равны по абсолютной величине, что может иметь место только при отсу тс тв ии по грешнос тей измерения, пропорциональных четным степеням .

Угол поворота объекта вычисляют из зависимости где <ъ — разность хода, внесенная поворотом блока призм; р — измеряемый угол поворота

Объекта.

РЛ вЂ” поправка смещения из геометрического начального положения в эффективное начальное положение.

Установку объекта в эффективное начальное положение выполняют, например, с помощью автоколлиматора и стеклянного клина с углом + котот рта рый притерт к пластине и закреплен также на объекте. Установив объект в геометрическое начальное положение, совмещают ось автоколлиматора с нормалью к свободной поверхности пластины, поворачивают объект на угол + до совмещения нормали к поверхности клина с осью автоколлиматора и измеряют разность хода

Затем возвращают объект в начальное положение, поворачивают пластину с о клином на 180 (при неподвижном объекте), проверяют перпендикулярность поверхности пластины к оси автоколлиматора, поворачивают объект на угол — „, и измеряют разность хода Л . Если th ) Ф! А 1, то пово рачивают объект иэ геометрического начального положения на малый угол соответствующий изменению разно6 † оти хода д4=. Поаторяя эти

2 операции, добиваются равенства а „1=

=)6 1. При установке блока триппельпризм в эффективное начальное положение величина б 6 скомпенсирует погрешности измерения, пропорциональные четным степеням Ч, обусловленные неравенством высот триппель-призм, наличием угла между падающими на них пучками лучей и отступлением от 90 углов между гранями триппель-призм, что способствует повышению точности измерения. Полная компенсация происходит только при выбранном угле + = 1„ при 1р(р остаточные погрешности, пропорциональные четырем степеням < ничтожно малы, при этом допуск на равенство высот триппель-призм и на параллельность падающих на призмы пучков лучей может быть расширен.

Формула и э о б р е т е н и я

Способ измерения угла поворота объекта с помощью двухлучевого интерференционного угломера, заключающийся в том, что скрепляют блок триппель-призм с контролируемым объектом, устанавливают блок триппель1221485

Составитель Н. Солоухин

Редактор М. Келемеш Техред В.Кадар Корректор М. Демчик

Заказ 1602/46

Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Pàóøñêàÿ наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 призм перпендикулярно к направлению падающих пучков лучей, фиксируют это начальное положение блока триппельпризм, измеряют разность хода между пучками при повороте объекта .и вычисляют синус угла поворота как отношение разности хода к удвоенной длине базы интерференционного угломера, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, 10 перед измерением разности хода между пучками, последовательно поворачивают блок триппель-призм на равные углы + ч относительно его начального положения, измеряют разности хода пучков 6 „и Д . соответствующие углам поворота + опреде д, - Ih l . ляют величину и вычисляют

1 синус угла поворота объекта с учетом этой величины.