Способ контроля герметичности полых изделий

 

Изобретение позволяет повысить достоверность контроля полых изделий, разгерметизация которых в процессе эксплуатации не допускается, путем обеспечй 1ия непрерывной проверки работоспособности датчика утечки, размещенного в полости изделия . В качестве датчика утечки используют датчик давления, выполненный в виде емкости .с упругим участком, которую заполняют газом под давлением, превышающим давление газа в самой полости изделия , при этом газ в полость изделия подают под давлением, превышающим давление окружающей его среды. Измеряют величину выходного сигнала, полученного от деформации упругого участка до контроля изделия, определяя градуировочную характеристику датчика. Выдерживают изделия заданное время. Определяют изменение выходного сигнала упругого участка, по которому судят о степени герметичности изделия. 2 ил. го IsD 4 05 4 О

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„. SU„„1224640

1511 4 G Ol М 3/04 "р p: г,, р c<

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3767767/25-28 (22) 09.07.84 (46) 15.04.86. Бюл. № 14 (72) А. В. Саблин (53) 620.165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 905684, кл. G Ol М 3/40, 1980. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение позволяет повысить достоверность контроля полых изделий, разгерметизация которых в процессе эксплуатации не допускается, путем обеспечения непрерывной проверки работоспособности датчика утечки, размещенного в полости изделия. В качестве датчика утечки используют датчик давления, выполненный в виде емкости с ynPyrHM участком, которую заполняют газом под давлением, превышающим давление газа в самой полости изделия, при этом газ в полость изделия подают под давлением, превышающим давление окружающей его среды. Измеряют величину выходного сигнала, полученного от деформации упругого участка до контроля изделия, определяя градуировочную характеристику датчика. Выдерживают изделия заданное время. Определяют изменение выходного сигнала упругого участка, по которому судят о степени герметичности изделия. 2 ил.

1224640

Формула изобретения

1

1!

1 t

1

Составитель Б. Мактин

Текред И. Верес Корректор Л. Зимокосов

Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал Г1ПП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Товтин

Заказ 1914, 40

Изобретение относится к способам контроля герметичности и может быть использовано для контроля герметичности полых изделий, в частности герметизированных микросхем и микросборок.

Цель изобретения — повышение достоверности контроля.

На фиг. 1 изображена схема устройства, реализующего способ контроля герметичности полых изделий; на фиг. 2 — диаграмма показаний датчика давления в зависимости от состояния изделия.

Устройство содержит установленный в полости изделия 1 датчик давления, выполненный в виде емкости 2 с упругим участком 3, на котором размещают преобразователь, например, тензосхему (не показана).

Емкость 2 имеет полость 4, заполняемую газом, и крепится основанием 5 к внутренней поверхности изделия 1. Выводы 6 соединяют тензосхему с герметичными выводами 7, которые обеспечивают передачу сигнала с датчика на аппаратуру измерения (не показана) выходного сигнала.

Способ контроля герметичности осуществляют следующим образом.

Предварительно производят градуировку и настройку тензосхемы датчика давления. При этом заполняют полость 4 емкости 2 газом под давлением Pi, устанавливают выходйой сигнал датчика примерно на 10 — 20% ниже номинального значения при равенстве давления Р2 в полости изделия 1 и Р в полости 4 емкостй 2. Затем определяют выходные напряжений датчика при номинальном давлении в полости изделия 1, при равенстве давления P в полости изделия 1 давлению окружающей среды Рз, и при давлении окружающей среды Рз примерно равном нулю. При градуировке датчика получают диаграмму показаний датчика давления. Область А соответствует герметичности изделия, область Б — разгеметизации полости изделия до нормального атмосферного давления, область  — разгерметизации полости изделия до вакуума и область à — выходу из строя датчика давления, т. е. разгерметизации его внутренней

/ полости вне зависимости от состояния изделия 1.

После градуировки датчика давления его устанавливают в полость изделия 1, заполняют ее газом под давлением Р, 10 превышающим давление Рз окружающей среды, но меньшим, чем давление Р1 в полости датчика. Герметизируют изделие 1.

После этого подают питание на тензосхему и контролируют выходной сигнал датчика, 15 сравнивая его с градиуровочной характеристикой и диаграммой показаний.

Изобретение позволяет повысить достоверность контроля путем непрерывного слежения за работоспособностью датчика давления внутри изделия, так как опрессовка полости датч14ка давлением, превышающим давление газа в изделии, обеспечивает наличие постоянного контролирующего сигнала при любом давлении окружающей среды.

Способ контроля герметичности полых изделий, заключающийся в том, что в полости изделия размещают датчик давления, заполняют полость изделия газом под давлением, превышающим давление окружающей среды, и измеряют величину выходного сигнала датчика давления, по изменению которого судя i o герметичности изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности, в качестве датчика давления используют емкость, имеющую упругий участок поверхности, которую заполняют газом, под давлением, превышающим давление в полости изделия. иы I.