Вакуумная установка

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (5р 4 В 23 К 20/26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3857379/25-27 (22) 25.02.85 (46) 15.08.86. Бюл. М 30 (72) А.E.Ëÿìèí, Г.В.Шульженко, А.Г.Новозинский, Н.С.Самойлов, В.В.Кузнецов и В.Ф.Деревенских (53) 621.791.66.03(088.8) (5b) Казаков Н.Ф. и др. Оборудование для диффузионной сварки. — Сб. У 7, М.: ПНИИЛДСВ, 1973, с. 172- 174.

Патент США У 4088258, кл. В 23 К 19/ОО, 9.05.78.

„.SU„,, 1250426 А1 (54) (57) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая вакуумную камеру, сильфон, эакренленный на ней, систему откачки и вспомогательное оборудование, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности, она снабжена дополнительным сильфоном и управляемыми ограничителями перемещения сильфо»»ов, последние установлены на внутренней поверхности стенок камеры, а внутренние полости сильфонов соединены с атмосферой.

1250426

Составитель В.Петросян

Редактор Л.Веселовская Техред О.Гортвай Корректор В.В тяга

Заказ 4364/13 Тираж 1001 Подписное

ВНИИПИ Г с гдарственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужг< 1ч1,<,, i>. Проектная, 4

Изобретение относнт.я к оборудованию для вакуумной обработки материалов, в частности к оборудованию для диффузионной сварки, и может быть использовано в различных отраслях 5 промышленности.

Целью изобретения является nonbmeние производительности.

На чертеже показана схема устройства. 1О

Устройство содержит вакуумную камеру 1, сильфоны 2, пружины сильфонов 3, дистанционно управляемые, например электромагнитные, ограничители хода 4 — 7 сильфонов, закреплен- 15 ные на корпусе вакуумной камеры и установленные по несколько штук, например по четыре, в плоскостях ограничения хода сильфонов, жесткие торцовые поверхности 8 сильфонов, высо- 20 ковакуумиый 9 и форвакуумный 10 насосы, трубопроводы 11 и вентили 12 магистрали откачки.

Установка работает следующим образом. 25

Изделие 13 размещают в вакуумной камере 1. В зависимости от габаритов иэделия определяют пояса ограничителей хода 4 — 7 сильфонов 2 из расчета последующего воэдействования 30 тех ограничителей, которые максимально приближены к поверхности изделия 13. Выводят выбранные пояса ограничителей, например пояса 5 и 6, в рабочее положение (при испольэоваяии дистанционно управляемых электромагнитных ограничителей подают на них питание и их подвижные штоки выдвигаются во внутренний объем вакуумной камеры).

Начинают ниэковакуумную откачку камеры 1 насосом 10. При этом эа счет разности давлений во внутренней полости сильфонов (оно равно атмосферному) и в свободном объеме вакуумной камеры 1 (оно уменьшается по мере откачки) сильфоны 2 растягиваются, преодолевая жесткость пружин 3, и упираются торцовыми поверхностями 8 в выдвинутые ограничители 5 и 6. Свободный объем вакуумной камеры уменьшается, в результате чего уменьшается время, необходимое на низковакуумную откачку установки, что позволяет повыс. "ь производительность.

После окончания работы перекрывают вакуумный затвор насоса 9 и сообщают внутреннюю полость камеры с атмосферой. Сильфоны 2 под действием пружин 3 перемещаются н исходное состояние.