Способ изготовления фотошаблонов для неплоских объектов

 

Изобретение относится к микроэлектронике и позволяет улучшить качество изготовлен ш фотошаблонов. По предварительно рассчитанным форме и размерам изготовляют оригинал, формой фотографируемой поверхности повторяющий в масштабе форму экспонируемой поверхности фотошаблона. Фотографируют оригинал с нанесенной на его по- .верхность топологией рисунка на фотошаблон , который затем подвергают химической обработке. Предложенный способ дает возможность нан.есения рисунка насферические, гиперболические, параболические, конусообразные, трапецеидальные поверхности, поверхности с уступом, перегибом, а также нанесения рисунков одновременно на несколько поверхностей. 1 ил. W С

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (д1) 4 G 03 Р 7/24

ГОСУДАРСТВЕННЬЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ „, К АВТОРСИОМУ СЕ ИДЕ П=ЛЬСТВУ

,, а ««r

Г21) 3839503/24-10 (22) 07.01 85 (46) 30.08.86. Бюл. В 32 (72) В.Г.Иалухин (53) 655.22(088.8)

:(56) Ханке Х.И. и др. Технология производства радиоэлектронной аппаратуры, - И.: Энергия, 1980 с. 193.

Курносов А.И. и др. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.- И.:

"Высшая школа", 1979, с. 66. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ

ДЛЯ НЕПЛОСКИХ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к микроэлектронике и позволяет улучшить качестно изготовления фотошаблонов. По предварительно рассчитанным форме и размерам изготовляют оригинал, формой фотографируемой поверхности повторяющий s масштабе форму экспонируемой поверхности Фотошаблона. Фотографируют оригинал с нанесенной на его по.верхность топологией рисунка на фотошаблон, который затем подвергают химической обработке. Предложенный способ дает возможность нанесения рисунка на- сферические, гиперболические, параболические, конусообразные, трайецеидальные поверхности, поверхности с уступом, перегибом, а также нанесения рисунков одновременно на несколько поверхностей. 1 ил.

1254417

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления неплоских фотошаблонов.

Пель изобретения — улучшение качества .изготовляемых ненлоских фотошаб- 5 лонов

Сущность способа заключается в том, что оригинал изготавливают повторяющим в масштабе объемную форму фотошаблона. Для этого форму и разме- 10 ры оригинала предварительно рассчитывают исходя из формы экспонируемой поверхности фотошаблона и масштаба съемки. После этого по полученным, расчетам изготовляют оригинал, форма 15 фотографируемой поверхности которого повторяет в масштабе форму экспонируемой поверхности фотошаблона. На фотографируемую поверхность оригинала наносят топологию в масштабе съемки, 20 которую хотят получить на фотошаблоне, фотографируют оригинал на фотошаблон с нанесенным светочувствительным слоем. Экспонируемый фотошаблон подвергают химической обработке., в 25 результате чего на нем получается четкое изображение схемы, т, е. хорошая фокусировка изображения на неплоском фотошаблоне достигается фотогра,фированием неплоского оригинала. При g0 фотографировании такого объемного оригинала изображение его фототографируемой поверхности фокусируется в виде уменьшенного объемного.изображе- ния этой поверхности. Сфокусированное изображение совмещают с поверхностью фотошаблона так, чтобы иэображение топологии на фотографируемой поверхности оригинала фокусировалось на эк= спонируемой поверхности фотошаблона.

Следовательно, для точной фокусировки иэображения на экспонируемой поверхности фотошаблона необходимо, чтобы фотографируемая поверхность оригинала имела форму, повторяющую форму экспонируемой поверхности фотошаблона.45

На чертеже изображена схема реализации предложенного способа.

На схеме изображены сферический оригинал f с нанесенной топологией 2 в масштабе съемки, объектив 3, с по- 0 мощью которого ее изображение 4 фокусируется на сферическом фотошаблоне, установленном в фотокамере 6.

Сначала рассчитывают форму и размеры оригинала, 55

Допустим, требуется получить рисунок схемы на сферическом фотошаблоне

c радиусом сферической поверхности г, масштаб съемки равен и, Следователь-. но, форма фотографируемой поверхности оригинала также должна быть сферическойe

Определяют радиус этой сферы:

R r ° ï, где R — радиус сферической поверхности оригинала, Изготовляют сферический оригинал с радиусом фотографируемой поверхности равным R. На эту фотографируемую поверхность наносят топологию рисунка, увеличенную в масштабе съемки.

Топология может наноситься рисованием тушью, наклеиванием фигур топологии по координатной сетке, предварительно нанесенной на оригинал или любым другим способом. Оригинал с тоцологией схемы, нанесенной на сферическую поверхность, устанавливают перед фотокамерой. Проводят настройку на резкость изображения по сферическому матовому стеклу, установленному внутри фотокамеры. После настройки на резкость матовое стекло убирают, объектив закрывают затвором и вместо матового стекла устанавливают сферический фотошаблон с нанесенным светочувствительным слоем. Открывают зат« вор и экспонируют фотошаблон. Экспонированный фотошаблон проявляют и фиксируют, в результате чего на ием получается четкое иэображение схемы.

Время экспонирования подбирают многократным экспонированием и химической обработкой исходя из качества получаемого изображения, увеличивая или уменьшая это время до получения хорошей контрастности изображения. Состав растворов для обработки эмульсии выбирается в соответствии с типом применяемой светочувствительной эмульсий.

Для осуществления этого процесса можно применять любую фотокамеру, которая по своим размерам позволяет поместить в нее и проэкспонировать изготовленный фотошаблон в требуемом масштабе.

Использование предложенного способа изготовления фотошаблона обеспечивает возможность изготовления фотошаблонов для нанесения рисунка на сферические, гиперболические, параболические и другие неплоские поверхности и цилиндрических сферических шкал повышенной точности, а также возможность нанесения рисунка на конусообразные, трапецеидальные поверхности, поверхности с уступом, перегибом и

3 1254417 4 .на другие рельефные поверхности и од- в фотографировании оригинала изготоновременно на две и более поверхнос- вленного в масштабе относительно фотошаблона, на фотошаблон с его последующей химической обработкой, о т.л иФ о р м у л а и з о б р е т е и и я g ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения качества изготовления, ориСпособ изготовления фотошаблонов гинал изготовляют повторякяцим в масшдля неплоских объектов, заключающийся табе объемную форму фотошаблона.

Составитель В.Добрыднев

Техред И.Ходэнич Корректор С.Шекмар

Редактор Л.Пчелинская

Тираж 436

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4716/49

Подписное

Производственно-полиграфическое. предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4