Знак для маркировки деталей
Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике, в частности к устройствам для совмещения изображений при литографической обработке пластин. Цель изобретения - повышение достоверности считывания знака. Устройство содержит последовательно расположенные на основании полосы из контрастного материала по отношению к основанию, причем расстояние между началом перввй полосы и концом последней более чем в 20 раз превьппает ширину наименьшей полосы, а ширина полос равна длине поло жительной полуволны частотно-модулированной гармонической функции, параметры которой определяются из выражений: сОр р(Т-Тп)/2+ f, , (0,5T - - CniT , где WQ - несущая частота частотно-модулированной гармонической функции; 3 - коэффициент частотной модуляции; Т - расстояние между началом первой полосы и концом последней; п ширина наименьшей полосы; п - ближайшее целое четное число, превышающее величину л ( ( -Л - 0,5. 1 шт. € (Л ISD ел G5 О О1 со
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (И) (5)) 4 С 06 К 9/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А ВТОРСН0МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3773732/24-24 (22) 06.07.84 (46) 07.09.86. Вюл. ¹ 33 (71) Ордена Ленина институт кибернетики им. В.М.Глушкова (72) И.А.Яворский, В.М.Корсунский>
Л.Я.Згуровец и Г.А.Чечко (53) 68) . 327.! 2 (088. 8) (56) ¹ 56 — 37694, кл. G 06 К 9/00, опублик. 1981.
Holburn D.È. et al. Pattern recognition technique using sequences
of marks for registration in ЕВ
lithography. I.Va1.Sci.Technol, 198), 19 (4), р. 1229-1233. (54) ЗНАК ДЛЯ МАРКИРОВКИ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике, в частности к устройствам для совмещения изображений при литографической обработке пластин. Цель изобретения — повьппение достоверности считывания знака. Устройство содержит последовательно расположенные на основании полосы из контрастного материала по отношению к основанию, причем расстояние между началом первей полосы и концом последней более чем в 20 раз превьппает ширину наименьшей полосы, а ширина полос равна длине положительной полуволны частотно-модулированной гармоничес кой функции, параметры которой определяются из выражений:у, = P(T-Тп)/2+ и / :„; P = 4 н ) 0,5 Т / „— 1 — п1/(0,5T где 43, — несущая частота частотно-модулированной гармонической функции; )) — коэффициент частотной модуляции; Т вЂ” расстояние между началом первой полосы и концом последней; „ — ширина наименьшей полосы; n — ближайшее целое четное число, превьппающее величину r . = («1 /"„) / (4
r(T/т „— )j 1 — 0,5. 1 ил.
1256053 растного материала по отношению к основанию.
Устройство работает следующим об- разом.
Hs теории связи известно, что высокая помехозащищенность и большая крутизна корреляционной функции обеспечиваются частотно-модулированным сигналом вида
s (t) = А cos (ca,t + — — — ), (1)
pt где А, — амплитуда сигнала; несущая частота; — коэффициент частотной модуляции.
Поскольку получить сигнал от знака совмещения в виде (1) физически невозможно из-за наличия в косинусоиде отрицательных частей, то перенесем ее вдоль оси ординат на уровень
А . Тогда получим
S () = А (1+сов (сд t + — — )) (2)
1 о 2
Соответственно, для реплики сигнала можно записать
S(t Г) = А, !+соя u,(t -i) +
Agan-.1|" )) (3) При этом соблюдается условие
Т Т вЂ” cñ с ь где Т вЂ” база знака — расстояние между началом первой полосы и началом последней.
Выбор функции Б(t) и реплики
S(t- ) в виде (2) и (3) соответственно позволяет аналитически вычислить корреляционную функцию, установить взаимосвязь характеристик знака (топологии знака, размера базы Т,. размера наименьшей полосы „ ) с хаИзобретение относится к автоматике и вычислительной технике, а именно к устройсгвам для совмещения изображений.
Целью изобретения является повышение достоверности считывания знака.
На чертеже изображена конструкция знака для маркировки деталей и соответствующая ему частотно-модулированная косинусоида.
Знак для маркировки деталей состоит из основания 1 и полос 2 из конт.Т (- — — 1) — n
0,5
Ь= 47 (О,5Т- ° „,т
20 где и — ближайшее целое четное число, превышающее величину п () Т (— -) "n 1 о 4 (Т п — 1) 2
Пространственную частоту ь), определяют по формуле
Т вЂ” cn
И
На основании этих параметров определяют нулевые точки частотно-модулированной косинусоиды, по которым определяют ширину полос знака как длину положительных полуволн частотно-модулированной гармонической функции.
Крутизна сигнала считывания зави40 . и сит от ширины наименьшей полосы знака. Эта зависимость имеет нелинейный характер, причем резкое нарастание крутизны наблюдается при Т 20 „, 45 Таким образоМ, конструкция знака для маркировки деталей включает основание 1 и расположенные на нем полосы 2, имеющие контраст по отношению к основанию за счет изменения физических свойств материала или наличия поверхностного рельефа. Обнаружение знака осуществляется электрон,ным или световым пучками, например, при равномерном движении координата стола с установленной на нем деталью.
При считывании сигналов от знака применяются корреляционные методы обработки сигналов. рактеристиками корреляционной функции для этого знака (амплитудой, крутизной, величинои бокового лепестка), а затем перенести установленные
5 аналитически закономерности на знак с прямоугольными элементами (полосами) .
Оптимизируя параметры косинусоиды (a,и t1, обеспечивающие необходимую крутизну и амплитуду корреляционной функции (при заданном) расстоянии между началом первой полосы и концом последней Т и ширине наименьшей полосы с„, значение коэффициента пространственной частотной модуляции Р определяют по формуле
1256053
0 5(т /<.,-11-п
Я,5т -r„ т
Составитель А.Морозов
Техред М.Ходанич Корректор Т.Колб
Редактор А.Ворович
Заказ 4826/50 Тираж 671 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Paymc...àÿ наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4
Формула изобретения
Знак для маркировки деталей, содержащий последовательно расположенные на основании полосы из контраст- 5 ного по отношению к основанию материала, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности считывания знака, расстояние между началом первой полосы и концом последней более чем в 20 раз превышает ширину наименьшей полосы, а ширина полос равна длине положительных полуволн частотно-модулированной гармонической функции, параметры которой 5 определяются из выражений где ц, — несущая частота частотно-модулированной гармонической функции, P — коэффициент частотной модуляции;
Т вЂ” расстояние между началом первой полосы и концом последней; „ — ширина наименьшей полосы; и — ближайшее целое четное число, превышающее величину Л вЂ” 0 5. т/ .)
4 (Т/",„„— 1)