Вакуумметр

 

Изобретение относится к технике измерения вакуума и позволяет уменьшить погрешность измерения и расширить диапазон измерения. Сигнал термопары термочувствительного элемента 2 поступает на регулируюший элемент стабилизатора 7 тока таким образом, чтобы изменение питающего тока, обш.его для термопар 5 и 6,- приводило к восстановлению термоЭДС измерительной термопары 9. Вследствие одинакового характера нелинейности температурной зависимости термочувствительных элементов 2 и 3 сигнал измерительной термопары 10 зависит только от давления. Сравнивая абсолютные значения тока питания при одном и том же значении абсолютной температуры корпуса в разное время, можно судить о степени старения элементов. 1 ил. (Л to О5 оо 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (59 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3831173/24-10 (22) 25.12.84 (46) 07.11.86. Бюл. № 41 (71) Институт космофизических исследований и аэрономии (72) М. Ю. Бобков (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 605136, кл. G 01 1 21/14, 1976.

Авторское свидетельство СССР № 869446, кл. G 01 1 21/14, 1979. (54) ВАКУУММЕТР (57) Изобретение относится к технике измерения вакуума и позволяет уменьшить погрешность измерения и расширить диапазон

„„SU„„1268980 А1 измерения. Сигнал термопары термочувствительного элемента 2 поступает на регулирующий элемент стабилизатора 7 тока таким образом, чтобы изменение питающего тока, общего для термопар 5 и 6; приводило к восстановлению термоЭДС измерительной термопары 9. Вследствие одинакового характера нелинейности температурной зависимости термочувствительных элементов 2 и 3 сигнал измерительной термопары 0 зависит только от давления. Сравнивая абсолютные значения тока питания при одном и том же значении абсолютной температуры корпуса в разное время, можно судить о степени старения элементов. 1 ил.

1268980

Формула изобретения

Составитель В, Казаков

Текред И. Верес Корректор М. немчик

Тираж 77% Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор А. Ворович

Заказ 6026/44

Изобретение относится к технике измерения вакуума, а более конкретно к устройствам измерения вакуума тепловым способом.

Целью изобретения является уменьшение погрешности измерения и расширение дипазона измерения.

На чертеже изображен предлагаемый вакуум метр.

Вакуумметр содержит корпус 1, объединяющий два идентичных термочувствительных элемента, один из которых 2 находится в герметизированном объеме, а другой

3 связан вакуумпроводом с исследуемым объемом. Ветви питающих термопар 5 и 6 включены последовательно и соединены с регулируемым стабилизатором 7 тока. Проводниками 8 измерительная термопара 9 термочувствительного элемента 2 подключается к входу стабилизатора 7. Измерительная термопара 10 соединена с регистрирующим устройством 11. Токоподводы 4, общее количество которых — восемь, обеспечивают электрическое соединение соответствующих ветвей термопар с внешними устройствами и обеспечивают их тепловой контакт с корпусом 1.

Вакуумметр работает следующим образом.

Сигнал термопары термочувствительного элемента 2 зависит только от температуры корпуса 1 и тока питания, так как давление в этом объеме фиксировано путем откачки и герметизации. Этот сигнал по проводникам 8 поступает на регулирующий элемент стабилизатора 7 тока таким образом, чтобы изменение питающего тока, общего для последовательно включенных термопар 5 и 6 приводило бы к восстановлению термоЭДС измерительной термопары 9, т. е. действовало по принципу обратной связи. Вследствие одинакового характера нелинейности температурной зависимости обоих термочувствительных элементов, сигнал измерительной термопары 10 оказывается зависящим только от давления. Это обусловливает расширение диапазона измерений, а также устраняет необходимость контролировать абсолютное значение температуры корпуса.

Сравнивая абсолютное значение тока питания при одном и том же значении абсолютной температуры корпуса в разное время, можно сделать заключение и о степени ста1р рения элементов, что повысит точность измерения.

Вакуумметр, содержащий корпус, внутри которого установлен первый термочувствительный элемент в виде нагревательной и измерительной термопар из полупроводникового микропровода с токоподводами, подключенных соответственно к стабилизированному источнику тока с управляющим входом и регистрирующему устройству, отличаюи ийея тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения и расширения диапазона измерения, в него введен второй термочувствительный элемент, идентичный первому, при этом корпус вакуумметра разделен герметичной перегородкой на две полости, в одной из которых, связанной с исследуемым объемом, установлен первый термочувствительный элемент, а в другой, выполненной герметичной вакуумированной, — второй термочувствительный элемент, причем разнесенные концы термопары через токоподводы имеют общий тепловой контакт с корпусом, нагревательные термопары соединены последовательно между собой и подключены к выходу источника тока, управляющий вход которого подключен к измерительной термопаре дополнительного термочувствительного элемента.