Термопарный вакуумметр

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ тп) 544882

Саюа Советских

Социалистических

Республик

Ю (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.01.75 (21) 2097132 10 с присоединением заявки № (51) М. Кл.а G 011 21,114

Совета Миииатроо СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 531.781(088.8) Опубликовано 30.01.77. Бюллетень X 4

Дата опубликования описания 28.02.77 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

В. M. Глейзер и С. Е. Сас

Экспериментально-конструкторский и технологический институт автомобильной промышленности (54) ТЕРМОПАРНЫЙ ВАКУУММЕТР

Ф ор м ул а изобретения

ГосУдаРствоииыЙ КВМНТ8Т (23) Приор„тет

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано при контроле остаточного давления в процессе нанесения пленок в вакууме методом испарения или катодного напыления.

Известный термопарный вакуумметр, содержащий термопару и нагреватель термопары, выполненные конструктивно в виде лампового преобразователя, стабилизованный источник питания нагревателя и стрелочный измеритель электродвижущей силы, не обеспечивает требуе гой точности измерения (1).

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является термопарный вакуумметр, содержащий термопару, измеритель тока, нагреватель термопары (2).

Такой термопарный вакуумметр характеризуется низкой точностью.

В предлагаемый термопарный вакуумметр введен источник опорного напряжения, подключенный к входу балансного усилителя встречно-последовательно с термопарой, а нагреватель термопары подключен к выходу балансного усилителя последовательно с измерителем тока.

Благодаря этому повышается точность измерения.

На чертеже показан термопарный вакуумметр.

Термопара 1 связана с источником 2 опорного напряжения, подключенным к балансному усилителю 3. Нагреватель 4 термопары соединен с термопарой, 0çìåðèòåëü 5 тока

cвязан с балаícíûм уcèëèтелем.

Электродвижущая cHlа термопары 1 направлена встречно напряжению источника 2 опорного напряжения. В момент включения электродвижущая сила термопары равна Ну10 лю, и опорное напряжение, приложенное к входу балансного усилителя, вызывает максимальное значение тока на выходе усилителя. По мере прогрева нагревателя тсрмопары, электродвижущая сила термопары возраста15 ет и практически достигает величины опорного напряжения.

Величина тока на выходе балансного усилителя измеряется измерителем тока и является мерой измеряемой величины остаточно20 го давления.

Термопарный вакуумметр. содержащий тер25 мопару, соединенную с нагревателем термопары, связанным с балансным усилителем, и измеритель тока, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введен источник опорного напряжения, под30 ключенный к входу балансного усилителя

544882

Составитель А, Новиков

Редактор T. Рыбалова Техред Л. Гладкова Корректор Л. Денискина

Заказ 206/5 Изд. ¹ 188 Тираж 1054 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открьггпй

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2 встречно-последовательно с термопарой, а нагреватель термопары подключен к выходу балаисиого усилителя последовательно с измерителем тока.

Источники информации, принятые во внимание ири экспертизе:

1. Лгейкин Д. И. и др. Датчики контролЯ и регулирования. М., «Машиностроение», 1965, с. 254, фиг. 233.

2. Яковлев Л. Г. Г1риборы контроля работы

5 силовых установок. «Машиностроение», 19б9 с. 205, рис. 154 (прототип).