Способ изготовления многослойного интерференционного фильтра
Изобретение относится к оптическому приборостроению и позврляет расширить рабочий диапазон температур фильтров. Способ включает фррмиррвание и последукидее сваривание стопы из чередующихся заготовок и слоев материала с высоким показателем преломления . Для расширения диапазона температур фильтров заготовки получают осаждением на обе стороны подложки из фторопласта методом термического испарения пленки германия. Использование полиэтилена между заготовками позволяет значительно снизить температуру сваривания стопы. Толщины слоев обусловлены конструкцией фильтра, I реалиЗующей определенную спектральную характеристику. (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (19) (И) (5D 4 G 02 В 5/28
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР .
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ /", Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21.) 3822983/24-10 (22) 10.12.84 (46) 07.12.86. Бюл. М- 45 (71) Ордена Трудового Красного Знамени институт физики АН БССР и Минский радиотехнический институт (72) В.Г.Верещагин и А.Д.Замковец (53) 621.384.3 (088.8) (56) Заявка Великобритании
У 1290521, кл. G 2 J, опублик.
27.09.72.
Авторское свидетельство СССР
В 1122751, кл. G 02 В 5/28, 11.04.80. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ФИЛЬТРА (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет расширить рабочий диапазон температур фильтров. Способ включает фррмирование и последующее сваривание стопы из чередующихся заготовок и слоев материала с высоким показателем преломления. Для расширения диапазона температур фильтров заготовки получают осаждением на обе стороны подложки из фторопласта методом термического испарения пленки германия. Использо" ванне полиэтилена между заготовками позволяет значительно снизить температуру сваривания стопы. Толщины слоев обусловлены конструкцией фильтра, реализующей определенную спектрапь- Ж ную характеристику.
Составитель. П.Яковлев
Техред Н.Глущенко Корректор О.Луговая
Редактор В.Данко
Заказ 6556/36 Тираж 501 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при создании интерференционных .фильтров, работающих в инфракрасной области спектра.
Целью изобретения является расширение рабочего диапазона температур фильтров.
Сущность способа заключается в следующем.
На обе стороны подложки, изготовленной иэ фторопласта, методом термического испарения последовательно наносят слои германия. Затем иэ полученных трехслойных (германий-фторопласт-германий) заготовок формируют стопу. Для этого между заготовками помещают слои полиэтилена, после чего стопу сваривают. При таком формировании оказывается, что стопа состоит из материалов с чередующимися высоким и низким показателями преломления.
Толщины слоев выбирают, исходя из конструкции фильтра, реализующего конкретную спектральную характеристику. Увеличение термостойкости фильтра связано с уменьшением общего числа слоев, изготовленных из полиэтилена и, кроме того, исключением необходимости использования внешних полиэтиленовых слоев.
Пример. При изготовлении полосового пропускающего интерференционного фильтра для длины волны h
120 мкм на подложки иэ фторопласта оптической толщины 60 мкм (LL и
30 мкм (L) осаждается в вакууме ix х10 тор со скоростью - 110 А/с слой -4 германия (Н) оптической толщины
75346 2
30 мкм. Затем подложки переворачиваются и на вторую сторону фторопласта опять осаждается слой германия такой же толщины. Контроль толщины германия ведется оптическим методом. Берутся три трехслойные заготовки германийфторопласт-германий два интерференю ( ционных слоя полиэтилена (L ) оптической толщины 30 мкм и формируется
10 стопа вида HLHL HLLHL HLH, где Н, L, Ь вЂ” четвертьволновые слои для % =
120 мкм из германия, фторопласта, полиэтилена, а LL " полуволновый слой фторопласта. Сформированная стопа сваривается в вакууме 1 ° 10 тор под давлением 10 кг/см при 130 С.
Испытания показали, что фильтры допускают нагрев без разрушения до о темпер атуры t=-1 1 0 С .
Формула изобретения
Способ изготовления многослойного интерференционного фильтра, включающий формирование заготовок, выполненных на основе материала с низким показателем преломления, на который путем термического напыления осаждена пленка с высоким показателем пре30 ломления, и последующее их сваривание, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона температур, изготавливают трехслойные заготовки на основе фторопласта, на обе стороны которого последова-. тельно осаждают пленки германия, и между полученными заготовками помещают интерференционные слои из полиэтилена.
