Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа

 

Изобретение относится к системам формирования электронного зойда в растровых электронных микроскопах. Цель изобретения - уменьшение времени анализа и упрощение конструкции. .При флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на провод5пцнй магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондов относительно эквипотенциальной области , ограниченной фокусирующей линзой и объгктодержателем 4. Таким образом , постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмисс S сионного сигнала и уровень тока зонда , что сокращает время анализа. (Л I ил.

СОНИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (1 (11) (50 4 Н 01 J 37 28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 Г

4ч /

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3657435/24-21 (22) 27.10.83 (46) 07.12.86. Бюл. В 45 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.В. Панкратов, В.В Рыбалко и А.Н. Тихонов (53) 621.385.833 (088.8) (56) Патент ФРГ 9 2640260, кл. Н 01 3 37/28, опублик. 1978.

Авторское свидетельство СССР

У 983822, кл. Н Ol Х 37/28, 1981. (54) ЗОНДОФОРМИРУЮЩАЯ СИСТЕМА РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах.

Цель изобретения — уменьшение времени анализа и упрощение конструкции.

При флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на проводящий магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондов относительно эквипотенциальной области, ограниченной фокусирующей линзой и объектодержателем 4. Таким образом, постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмиссионного сигнала и уровень тока зонда, что сокращает время анализа.

1 ил.

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель В. Гаврюшин

Техред М.Ходанич

Корректор В. Синицкая

Редактор Л. Гратнлло

Тираж 643 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6572/48

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 12755

Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах (РЭМ). 5

Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации, флуктуаций энергетических параметров зонда.

На чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.

Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, выход переменной составляющей напряжения которого электрически сбединен с магнитопроводом 3 фокуснрующей магнитной линзы и объектодержателем 4.

Объект 5 установлен на объектодержателе 4 через изолирующую прокладку 20

6, а магнитопровод 3 фокусирующей линзы размещен на изоляторе 7.

Сущность изобретения заключается в том, что при флуктуациях высокого напряжения-его переменная составляющая .подается на проводящий магнитопровод 3 фокусирующей Линзы и объектодержатель 4 ° При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зонда относительно эквипотенциальной области, ограниченной фокусирующей линзой и объектодержателем, и, следовательно, постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмиссионного сигнала и уровень тока зонда, что позволяет сократить время анализа. Введение предложенных обратных связей достаточно просто может быть реализовано для серийно выпускаемых РЭМ.

Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа, содержащая источник электронов, соединенный с высоковольтным блоком питания, фокусирующую магнитную линзу с магнитопроводом и объектодержатель, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью уменьшения времени анализа при упрощении конструкции системы, выход переменной составляющей напряженйя высоковольтного блока питания электрически соединен с магнитопроводом и объектодержателем.