Защитное устройство вакуумной системы

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1276851 (5ц 4 F 04 В 37 00

OllHCAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3861206/25-06 (22) 28.12.84 (46) 15.12.86. Бюл. № 46 (72) В. P. Косматов, В. Г. Еловенко и Л. С. Трифонкин (53) 621.52 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 985413, кл. F 04 В 37/00, 1 981. (54) (57) ЗАЩИТНОЕ УСТРОЙСТВО ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ, содержащее сообщенный с вакуумным насосом и откачиваемым объемом корпус, снабженный со стороны последнего уплотнительным диском, установленный в корпусе цилиндр с расположенным в нем поршнем, шарнирно связанным с диском, и сообщаюгций подпоршневое пространство цилиндра с атмоферой клапан с подпружиненным штоком и приводом, оТличаюи ееся тем, что, с целью повышения надежности, корпус снабжен сообщенным с подпоршневым пространством патрубком с отверстиями, сообщенными с атмосферой, клапан расположен в последнем между подпоршневым пространством и отверстиями, а привод выполнен в виде центробежного механизма, установленного на валу вакуумного насоса и шарнирно связанного со штоком клапана.

1276851

Составитель 3. Могильнинкан

Рсдакгор Н. Горват Техред И. Верее Коррск гор Г Ре нстник

Заказ 6653, 30 Тираж 586 Подписное

ВНИИГ1И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4!5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям защитных устройств для предотвращения прорыва атмосферного воздуха и масла в вакуумную систему при аварийном останове насоса.

Целью изобретения является повышение надежности устройства.

На фиг. 1 схематически представлено предлагаемое устройство; на фиг. 2 — — узел

1 на фиг. !.

Защитное устройство вакуумной системы содержит сообщенный с вакуумным насосом

1 и откачиваемым обьемом 2 корпус 3, снабженный со стороны последнего уплотнительным диском 4, установленный в корпусе 3 цилиндр 5 с расположенным в нем поршнем 6, шарнирно связанным с уплотнительным диском 4, и сообщающий подпоршневое пространство 7 цилиндра с атмосферой клапан 8 с подпружиненным штоком 9 ч приводом. Корпус 3 снабжен сообщенным с подпоршневым пространством 7 20 патрубком 10 с отверстиями !1, сообщающими его с атмосферой. Клапан 8 расположен между подпоршневым пространством 7 и отверстиями 1, а привод выполнен в виде центробежного механизма

12, установленного на валу 13 вакуумного насоса 1 и шарнирно связанного со штоком 9 клапана 8.

Устройство работает следующим образом.

При включении вакуумного насоса 1 подвижный конец центробежного механизма 12 смещается вправо, увлекая за собой клапан 8, перекрывающий доступ атмосферы в подпоршневое пространство 7. Уплотнительный диск 4 с поршнем 6 опускается, сообщая откачиваемый обьем 2 с вакуумным насосом 1.

При возникновении неисправностей в насосе 1 или при откл1очении электроэнергии центробежный механизм 12 останавливается и занимает исходное положение.

Клапан 8 перемешается влево, обеспечивая доступ атмосферы в подпоршневое пространство 7. В результате возникшего перепада давления поршень 6 с диском 4 перемешается вверх, разобщая откачиваемый обьем 2 от корпуса 3.

Использование защитного устройства позволяет предотвратить попадание рабочей жидкости в откачиваемый объем при неисправностях системы или аварийных ситуациях.

Защитное устройство вакуумной системы Защитное устройство вакуумной системы 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в системах с форвакуумной откачкой

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные х-ки насоса и повысить его надежность

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к адсорбционным насосам

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Наверх