Устройство для измерения потенциала поверхности электрета

 

Изобретение может быть использовано для измерения, потенциалов поверхностей тонких диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев . Цель изобретения - повьшение точности измерения достигается путем параллельного соединения нуль-индикатора со входными электродами. Для этого в устройство дополнительно введены второй входной электрод и резистор. Устройство содержит входные электроды 1 и 2, электрометрический нуль-индикатор 3, резистор 4, вольтметр 5, регулируемый источник 6 постоянного напряжения. Нульиндикатор 3 состоит из динамического конденсаторного преобразователя постоянной разности потенциалов в переменное напряжение. Электроды 1 и 2, резистор 4 и источник 6 помещены в экран 7, обеспечивающий повьшение помехоустойчивости. 1 ил. (Л isa 00 L I -J/ LA. L Г

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК..SUÄÄ 1290208 А1 (51) 4 G 01 R 29/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3910244/ 24-21 (22) 03.06.85 (46) 15,02.87. Бюл. Р 6 (71) Киевский институт народного хозяйства им. Д.С.Коротченко (72) В.П.Гончаренко, А.Д.Величко, Г.И.Менкуш, И,Ф.Прядко, Г.В.Рябченко и Н.С.Бром (53) 62 1.317.7 (088.8) . (56) Авторское свидетельство СССР

N - 930162, кл. G 01 R 21/12, 1982, ГОСТ 25209-82. Пластмассы и пленки полимерные. Методы определения поверхностных зарядов электретов.

M. 1982, с. 6-8. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРЕТА (57) Изобретение может быть использовано для измерения, потенциалов поверхностей тонких диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев, Цель изобретения — повышение точности измерения достигается путем параллельного соединения нуль-индикатора со входными электродами. Для этого в устройство дополнительно введены второй входной электрод и резистор. Устройство содержит входные электроды 1 и 2, электрометрический нуль-индикатор 3, резистор

4, вольтметр 5, регулируемый источник 6 постоянного напряжения. Нульиндикатор 3 состоит из динамического конденсаторного преобразователя постоянной разности потенциалов в переменное напряжение. Электроды 1 и 2, резистор 4 и источник 6 помещены в экран 7, обеспечивающий повышение помехоустойчивости. 1 ил.

1290208

Изобретение относится к технике электроизмерений и может быть использовано для измерения потенциалов поверхностей тонких диэлектрических пленок и фотополупроводникоФормула изобретения

Составитель А,Пучковский

Редактор Н,Горват Техред А ° Кравчук Корректор Н. Король

Заказ 7895/41 Тираж 751 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 вых слоев.

Цель изобретения — повышение точности путем параллельного соединения нуль-индикатора с входными электродами.

На чертеже представлена электрическая схема устройства.

Устройство для измерения потенциала поверхности электрета содержит первый 1 и второй 2 входные электроды, первый из которых соединен с общей шиной, электрометрический нуль-индикатор 3, вход которого подключен к второму входному электроду

2 и через резистор 4 — к вольтметру

5 и первому выводу регулируемого источника постоянного напряжения 6, второй вывод которого соединен с общей шиной. Электрометрический нульиндикатор 3 может состоять из динамического конденсаторного преобразователя постоянной разности потенциалов в переменное напряжение, к выходу которого подключен осциллограф.

Электроды 1, 2, резистор 4 и источник 6 помещены в экран 7.

Устройство для измерения потенциала поверхности электрета работает следующим образом, N-.æäó электродами 1, 2 зажимается образец электрета. Разность потенциалов между этими электродами, равная потенциалу поверхности электрета,преобразуется динамическим конденсаторным преобразователем нуль-индикатора

3 в переменное напряжение, которое фиксируется осциллографом нуль-индикатора 3. При помощи регулируемого источника постоянного напряжения 6, напряжение которого измеряется вольтметром 5, разность потенциалов между электродами 1 и ? компенсируется до тех пор, пока суммарная разность потенциалов между указанными электродами не станет равной нулю, т,е. поле заряда электрета, создающее разность потенциалов на электродах 1 и 2, равно и противоположно по знаку пслю, создающему разность потенциалов на электродах 1 и 2 за счет воздействия источника 6. В этом случае напряжение источника 6 равно потенциалу поверхности электрета, а осциллограф нуль-индикатора 3 покаf5 зывает нулевое значение разности потенциалов между электродами 1 и 2.

Предлагаемое устройство обеспечивает повышение точности измерений в три раза, так как функции закрепления образца и преобразования разности потенциалов в переменное напряжение разделены между электродами 1 .и

? и конденсаторным динамическим преобразователем нуль-индикатора. Экран

7 обеспечивает повышение помехоустойчивости.

Устройство для измерения потен30 циала поверхности электрета, содержащее электрометрический нуль-индикатор, входной электрод, соединенный с общей шиной, вольтметр и регулируемый источник постоянного напряжения, 35 подключенный параллельно вольтметру, один из выводов которого соединен с общей шиной, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, в него дополнительно введены второй

40 входнои электрод и резистор, при этом вход электрометрического нуль-индикатора подключен к второму входному электроду и через резистор — к выводу регулируемого источника посто45 янного напряжения.