Устройство для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях

 

Устройство относится к области электрографии, а именно к устройствам измерения электростатического контраста путем считывания периодического потенциального рельефа, сформированного на электрографическом барабане в процессе копирования. Целью изобретения является повьшение точности измерений. Устройство для измерения электростатического контраста содержит чувствительные электроды , расположенные на диэлектрической подложке 2 и заключенные в экранирующую оболочку 3, дифференциальный усилитель 4 и измерительный преобразователь 5. Цель достигается благодаря тому, что полезньш сигнал, наводимьш на чувствительные электроды , в предлагаемом устройстве изменяется в противофазе, а сигнал помехи на этих электродах изменяется синфазно , что приводит к подавлению сигнала помехи и улучшению соотношения с 9 сигнал/шум на выходе данного устройства . Таким образом, за счет,компенW сации помех, наводимьпс на чувствительные электроды, повышается точность устройств, предназначенных для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1 (51) 4 G 01 R 29/12, 29/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР пО делАм изОБРетений и ОткРытий

Н АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3859985/24-21 (22) 27.02.85 (46) 23.11.86. Бюл. У 43 (72) В.П.Ворвуль, К.А.Ковалелис, В.Н.Матвеев и Г.Ф.Росов (53) 621.3!7.32(088.8) ,(56) Авторское свидетельство СССР

В 964553, кл. G 01 R 29/!2, 1979.

Тазенков Б.А. и др. Процессы и аппараты электрографии. — Л., 1972,,с. 174-178.

:(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО КОНТРАСТА НА ДВИЖУЩИХСЯ ПЕРИОДИЧЕСКИ ЗАРЯЖЕННЫХ ДИ—

ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

СЛОЯХ (57) Устройство относится к области электрографии, а именно к устройствам измерения электростатического контраста путем считывания периодического потенциального рельефа, сформированного на электрографическом барабане в процессе копирования.

Целью изобретения является повышение точности измерений. Устройство для измерения электростатического контраста содержит чувствительные электроды, расположенные на диэлектрической подложке 2 и заключенные в экранирующую оболочку 3, дифференциальный усилитель 4 и измерительный преобразователь 5. Цель достигается благодаря тому, что полезный сигнал, наводимый на чувствительные электроды, в предлагаемом устройстве изменяется в противофазе, а сигнал помехи на этих электродах изменяется синфазно, что приводит к подавлению сигнала помехи и улучшению соотношения сигнал/шум на выходе данного устройства. Таким образом, за счет компенсации помех, наводимых на чувствительные электроды, повышается точность устройств, предназначенных для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях. 2 ил.

1 272283

Изобретение относится к электрографии, а именно к устройствам измерения электростатического контраста путем считывания периодического потенциального рельефа, сформированно- 5 го на электрографическом барабане в процессе копирования.

Целью изобретения является повышение точности устройства для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях.

На фиг.1 показано предлагаемое устройство; на фиг.2 — конструкция !5 электродов.

Устройство содержит одинаковые чувствительные электроды 1, расположенные на диэлектрической подложке

2, заключенные в экранную оболочку _#_

3 и соединенные с входами дифференциального усилителя 4, и измерительный преобразователь 5. Выход дифференциального усилителя 4 соединен с входом измерительного преобразовате25 ля 5, выполненного в виде последовательно соединенных фильтра 6 верхних частот, оконечного усилителя 7 и регистрирующего прибора 8.

Неподвижные чувствительные элек- З0 троды 1 располагаются на расстоянии, например, 0,5-2 мм от контролируемой поверхности по направлению перемещения периодического потенциального рельефа на расстоянии, равном нечетному числу пространственных полупериодов периодического потенциального рельефа.

Чувствительные электроды могут иметь любую форму и быть выполнены 40 различным образом, например из фольгированного стеклотекстолита (фиг.2), Могут быть предусмотрены конструктивные меры, позволяющие плавно либо ступенчато изменять расстояние между 45 чувствительными электродами. Входное сопротивление дифференциального усилителя 4 равно, например, 10-30 MOM.

Принцип действия устройства заключается в следующем. 50

Периодически заряженный рельеф, состоящий из одинаковых по размерам заряженных и разряженных участков, перемещают под чувствительными элек— тродами. В каждом чувствительном электроде индуцируется периодический сигнал. Из-за того, что чувствительные электроды расположены по направлению перемещения заряженной поверхности на расстоянии нечетного числа пространственных полупериодов потенциального рельефа, сигналы, наводимые на чувствительные электроды, смещаются по фазе на нечетное число полупериодов, т.е. изменяются в противофазе. При расстоянии между чувствительными электродами 1-5 мм и диаметре электрографического цилиндра более 100 мм сигналы, наводимые поме-. хами на чувствительные электроды, изменяются синфазно, а так как габариты чувствительных электродов одинаковы, то и сигналы помехи на каждом электроде одинаковые по величине. Таким образом, в дифференциальном усилителе усиливается полезный сигнал и компенсируется сигнал помехи.

В устройстве предусмотрен фильтр верхних частот для подавления несинфазных помех, вызванных наличием дефектов на контролируемой поверхности.

Формула и з о б р е т е н и я

Устройство для измерения электростатического контраста на движущихся периодически заряженных диэлектрических и полупроводниковых слоях, содержащее неподвижный чувствительный электрод, расположенный над контролируемой поверхностью и .заключенный в экранную оболочку, открытую со стороны контролируемого потенциального рельефа, и усилитель,.выход которого соединен с входом измерительного преобразоватсля., о т л и ч а ю щ е е— с я тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введен второй чувствительный электрод, идентичный первому, при этом чувствительные электроды расположены друг от друга на расстоянии, равном нечетному числу пространственных полупериодов контролируемого потенциального рельефа вдоль направления движения, и соединены с входами усилителя, который выполнен дифференциальным.

1272283

Составитель Е.Плужникова

Редактор О.Юрковецкая Техред А.Кравчук Корректор Е.Сирохман

Заказ 6335/45

Тираж 728 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

П роизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная 4