Установка ионного легирования

 

Установка ионного легирования, включающая последовательно расположенные в вакуумной камере источник многозарядных ионов, масс-сепаратор, состоящий из магнита с полюсами, выполненными в форме секторов в плоскости, перпендикулярной магнитным силовым линиям, и расположенного между полюсами и повторяющего их форму в той же плоскости ионопровода, ускорительную трубу и подложкодержатель, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности и возможности регулирования профиля концентрации внедренных ионов, каждый из секторов выполнен из n частей в форме полукольца и расположенных внутри него четвертьколец, изготовленных из однородных магнитных материалов, средние радиусы полукольца и четвертьколец выбраны из соотношения

где R_n - средний радиус полукольца, м;

R_i - средний радиус с i-го четвертькольца, м;

B_i - магнитная индукция, созданная i-м четвертькольцом в ионопроводе, Т;

B_n - магнитная индукция, созданная полукольцом в ионопроводе, Т;

n - количество частей полюса магнита, равное числу степеней ионизации ионов;

i - порядковый номер четвертькольца при отсчете в порядке возрастания их средних радиусов (i = 1, 2, 3,..., n-1).