Способ контроля просветляющих покрытий

Авторы патента:

Изобретение касается измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. Целью изобретения является повышение производительности и упрощение процесса контроля благодаря сокращению числа спектральных диапазонов, S которых исследуется контролируемое покрытие. Контролируемое просветляющее пок рытие, напыленное на подложку 4, облучают излучением от источника 1 света, отраженный от него световой поток оптической системой 3 направляется на измеритель или фотоприемник 5, электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, одновременно часть светового потока попадает и на контрольный фотоприемник 7,. в блоке 6 регистрации однозначно определяется совокупность искомых величин . 1 ил. а о (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3993760/24-28 (22) 10. 11.85 (46) 23.03.87. Бюл. Р 11 (75) Ю.M.Беляев и Д.А.Дубров (53) 681.2:531.7 (088.8) (56) Патент Великобритании У 1193696, кл. G 01 В 11/06, 1967.

Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Иашиностроение, 1973, с. 174-176, 186, 190-194. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ

ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение касается измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. Целью изоб„„SU 1298532 А 1 ретения является повышение производительности и упрощение процесса контроля благодаря сокращению числа спектральных диапазонов, в которых исследуется контролируемое покрытие. Контролируемое просветляющее покрытие, напыленное на подложку 4, облучают излучением от источника 1 света, отраженный от него световой поток оптической системой 3 направляется на измеритель или фотоприемник 5, электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, одновременно часть светового потока попадает и на контрольный фотоприемник 7,. в блоке 6 регистрации однозначно определяется совокупность искомых вели- 2 чин, 1 нл, ! 12985

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. 5

Цель изобретения вЂ” повышение производительности и упрощения процесса контроля, достигаемые за счет сокращения количества различных спектральвЂ” ных диапазонов, при которых произ- 10 водится регистрация потока излучения, провзаимодействовавшего с контролируемым покрытием.

На чертеже схематично представлен один из возможных вариантов устройства для реализации способа °

Схема содержит источник 1 света, сменный светофильтр 2, оптическую систему 3, подложку 4 с нанесенным на ней контролируемым покрытием, из- 20 мерительный фотоприемник 5, блок 6 регистрации, контрольный фотоприемник 7 и стабилизированный источник

8 питания.

Устройство работает следующим образом.

Световой поток от источника 1 света проходит через светофильтр 2 и оптическую систему 3 и попадает на контролируемое просветляющее покрытие, нанесенное на подложку 4. Отраженный от него световой поток той же оптической системой 3 направляется на измерительный фотоприемник 5,электрический сигнал с которого поступа- 35 ет в блок 6 регистрации, Одновременно часть светового потока от источника l света после прохождения через светофильтр 2 попадает на контрольный фотоприемник 7, электрический 40 сигнал с которого также поступает в блок 6. Питание источника 1 света осуществляется стабилизированным источником 8 питания.

В блоке 6 регистрации при каждом 45 введенном светофильтре производится одновременная регистрация токов обоих фотоприемников 5 и 7, исключение величин токов, вызванных фоновыми засветками, учитываемых при градуи- 50 ровке по эталонной подложке (не показана), коррекция тока измеритель ного фотоприемника 5 в зависимости от отклонения тока контрольного фотоприемника 7 эа счет возможного изме- 55

32 2 нения уровня и спектральных характеристик подающего на него светового потока, после чего вычисляется отношение скорректированных токов и по

его величине и величине одного из скорректированных токов с помощью градуировочных кривых, выраженных математически и заложенных в память блока 6 регистрации, однозначно определяется совокупность искомых величин, например показатель преломления покрытия и его толщина. Полученная информация отражается на выходе блока 6 регистрации или используется для формирования управляющего напряжения, подаваемого непосредственно в органы технологического процесса, обеспечивая нанесение просветляющих покрытий с тревЂ” буемыми параметрами.

Элементы оптической системы 3 подбираются и рассчитываются таким образом, чтобы освещенности контролируемого покрытия и поверхности контрольного фотоприемника 7 менялись при изменении параметров излучения источника 1 света пропорционально по сравнению с освещенностью нри оптимальном излучении, кроме того, необходимо исключить попадание внутрь оптической системы 3 внешнего света.

Формула изобр етения

Способ контроля просветляющих покрытий, заключающийся в том, что облучают контролируемое покрытие подихроматическим излучением, последовательно регистрируют соответствующие различным участкам спектра потоки излучения, провэаимодействовавшего с покрытием, а параметры покрытия определяют по соотношению зарегистрированных потоков, о т л и ч а ю щ и йвЂ” с я тем, что, с целью повышения производительности и упрощения процесса контроля, последовательно выделяют в облучающем излучении коротковолновую и длинноволновую области спектра, регистрируют потоки провэаимодействовавшего излучения для каждой из выделенных областей и определяют параметры покрытия по соотношению двух зарегистрированных потоков.

ВНИИПО Заказ 875 40

Произв.-полигр. пр-тие, r.

Тираж 678 Подписное

Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , в частности, доя непрерьшного контроля измерений оптических параметров полимерных материалов в процессе изготовления из них фоторе гистрирующих сред

Способ измерения толщины тонких пленок,нанесенных на подложку // 1280311

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения толщины пленок, прозрачных в ИК-области спектра и нанесенных на плоские йодложки

Устройство для измерения толщины слоя жидкости на поверхности твердого тела // 1272104

Устройство для измерения толщины пленок // 1272103

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверх ностью

Способ измерения толщины многослойной полимерной пленки // 1233208

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины слоев пленки

Способ измерения толщины пленок на подложках // 1226042

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерению толщины пленок на подложках

Устройство для измерения толщины покрытий // 1218292

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины наружных полимерных покрытий на трубах в технологическом потоке

Способ контроля количества резины на валках каландра // 1206610

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля количества резины ka валках каландра

Способ определения параметров диэлектрической пленки // 1193459

Способ определения толщины пленок,напыляемых в вакууме // 1188526

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости