Способ определения параметров диэлектрической пленки

 

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ДЮЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ, заключающийся в том, что пленку освещают излучением,поляризьванным в плоскости , перпендикулярной плоскости падения , последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера, по которому вычисляют показатель преломления пленки, и определяют толщину пленки, Отличающийся тем, что, с целью повьппения точности и производительности измерений, периодически изменяют длину волны излучения, осве щающего пленку, угол Брюстера фиксируют по достижении минимальной амплитуды изменений потока, отраженного излучения, вызванных 1зменениями длины волны излучения, определяют углы падения, соответствукщие двум соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны излучения, а толщи (Л ну пленки рассчитывают по известной с зависимости.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„, 193459

Ц11 4 G 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3728190/25-28 (22) 17.04 ° 84 (46) 23.11.85. Бюл. У 43 (71) Ленинградский институт ави- ационного приборостроения (72) 10.Ñ. Кулешов, Н.В. Юрин и С.Ю. Софронова (53) 531.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1024703, кл. G Ol В 11/06, 1983 °

F.À. Abeles Advanced Optical

Techmgue Wiley N.I. 1967, р. 143. (54)(57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ, заключающийся в том, что пленку освещают излучением, поляризованным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол

Брюстера, по которому вычисляют показатель преломления пленки, и определяют толщину пленки, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, периодически изменяют длину волны излучения, осве. щающего пленку, угол Брюстера фиксируют по достижении минимальной амплитуды изменений потока, отраженного излучения, вызванных Изменениями длины волны излучения, определяют углы падения, соответствующие двум соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны излучения, а толщину пленки рассчитывают по известной .зависимости.

1193459 л,р

16 d-- — —— p (Составитель M. Семчуков

Редактор М. Бланар Техред Ж.Кастелевич Корректор E. CHpo aH

Заказ 7304/41 Тираж 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения показателя нрелокпения и толщины пленочных покрытий на диэлектрических подложках.

Цель изобретения — повышение точности и производительности измерений.

Способ определения параметров диэлектрической пленки, заключается в том, что освещают пленку излучением, поляризованным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, с периодически изменяющейся во времени длиной волны, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера М, фиксируя его по достижению минимальной амплитуды изменений потока отраженного излучения, вызванных изменениями длины волны излучения, и углы,, падения, соответствующие двум

1+ соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны 3 „излучения и вычисляют показатель h преломления пленки по формуле n=tg g<, а толщину

d пленки — по формуле

Фиксация угла Брюстера по минимальной амплитуде изменений потока отраженного излучения позволяет

15 уменыпить влияние неоднородностей пленки на результат измерений и тем самым повысить точность измерения.

Определение толщины пленки по значениям углов, соответствующих миниму20 мам коэффициента отражения, также позволяет повысить точность измерений, одновременно при этом сокращает" ся время контроля.