Способ изготовления сварных контактов между выводным проводником и поверхностью полупроводникового прибора

Авторы патента:

H01L21/479 - обработка с использованием электрического тока или электрических полей, например для электроформования (H01L 21/36-H01L 21/449 и H01L 21/461- H01L 21/477 имеют преимущество)

№ 133530

Класс 21g: 11о

СССР

Яд е р (,.".", " (1 -. .: 1.:;ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 97

М. А. Королев и В. И. Диковский

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВАРНЫХ КОНТАКТОВ МЕЖДУ

ВЫВОДНЫМ ПРОВОДНИКОМ И ПОВЕРХНОСТЬЮ

ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА

Заявлено 10 марта 1960 r. за № 657706/26 в Комитет по делам изобретений и открытии n;;i Совете Министров ОХ.Р

Опубликовано в «Бкизлетенс изобретений» № 22 за 1960 е.

Известен способ изготовления сварных контактов между выводным проводником и поверхностью полупроводникового прибора, основанный на пропускании импульса тока через переходный контакт между полупроводником и прижатым к нему острием проволочного вывода. Недостаток этого способа заключается в том, что для получения определенных свойств контакта необходимо проволоку легировать соответствующей примесью или наносить ее на поверхность привариваемой проволоки, что сложно и плохо воспроизводимо. Кроме того, в момент сварки возможно испарение нанесенной примеси, что приводит к измененгпо свойств контакта, а легированная проволока, как правило, обладаег худшими механическими свойствами.

Предлагаемый способ позволяет упростить технологию получения сварного контакта требуемого типа. Это достигается тем, что легированию подвергается не вывод, а материал полупроводника, а импульс тока пропускают от полупроводника к выводу для получения омического контакта, и в обратном направлении вЂ” для получения выпрямляющего контакта.

Сущность способа заключается в следующем.

Полупроводниковый материал легируется определенной примеськ, затем импульсом тока производится приварка проволоки, причем в зависимости от свойств примеси и от направления тока сварки происходиг образование или выпрямляющего, или омического контакта. Например, если кремний легировать галлием и производить сварку золотой про волоки таким образом, чтобы минус подключался к проволоке, то вместе сварки образуется омический контакт. Если же полярность изменить, то в месте сварки образуется выпрямляющий контакт. № 133530

Предмет изобретения.

Редактор Н. С. Кутафина Текрсд А. A. Камышникова Корректор О. Филиппова

Формат бум. 70;,108 /ы- Объем 0,17 п. л

Тираж 1050 Цена 25 коп.; с 1.1-б1 г, вЂ” вЂ” 3 к,ш.

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/б

11одп, к пея. 7.Х11-00

Зак. 9914

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.

Способ изготовления сварных контактов между выводным проводником и поверхностью полупроводникового прибора, основанный на пропускании импульса тока через переходный контакт между полупроводником и прижатым к нему острием проволочного вывода, отл ич а ющийся тем, что, с целью упрощения технологии получения сварного контакта требуемого типа, легируют полупроводник, например кремний, галлием и пропускают импульс тока от полупроводника к выводу, например изготовленному из золота, для получения омического контакта, и в обратном направлении вЂ” для получсния выпрямляющего контакта.