Мера толщины пленки для поверки и градуировки толщиномеров

 

Изобретение относится к метрологии и может быть использовано для поверки различных видов толщиномеров . Цель изобретения - расширение технологических возможностей за счет имитации многослойных пленок различной толщины. Для этого в оптически прозрачной пластине 1 выполнены угдубления 2,7 и 8 и дозаторы 5 и 6, причем углубления 7 и 8 сообщаются с дозаторами 5 и 6 через каналы 9 и 10. Углубление 2 заполнено несмешивающимися между собой жидкостями 3 и 4. Перемещением поршней дозаторов 5 и 6 образуют различные толщины слоев жидкостей 3 и 4. 1 ил. со к ю сд

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1307225 (51) 4 G 01 В 7/06

А1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3987784/25-28 (22) 06. 12. 85 (46) 30. 04. 87. Бюл. Р 16 (71) Таллинский политехнический институт (72) Р.А.Лаанеотс (53) 620.179.14 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 754200, кл. G 01 В 7/06, 1978. (54) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ ДЛЯ ПОВЕРКИ

И ГРАДУИРОВКИ ТОЛЩИНОМЕРОВ (57) Изобретение относится к метрологии и может быть использовано для поверки различных видов толщиномеров. Цель изобретения — расширение технологических возможностей за счет имитации многослойных пленок различной толщины. Для этого в оптически прозрачной пластине 1 выполнены углубления 2,7 и 8 и дозаторы 5 и 6, причем углубления 7 и 8 сообщаются с дозаторами 5 и 6 через каналы 9 и

10. Углубление 2 заполнено несмешивающимися между собой жидкостями 3 и 4. Перемещением поршней дозаторов

5 и 6 образуют различные толщины слоев жидкостей 3 и 4. 1 ил.

1 13072

Изобретение относится к метрологии и может быть использовано в качестве образцовой меры для поверки и градуировки толщиномеров пленок и жидкостных слоев„ у которых показания зависят от свойств (плотности, электропроводности, коэффициента отражения и т.д.) пленки и жидкостного слоя, на котором находится жидкостная пленка. К таким толщиномерам 10 относятся токовихревые, радиоизотопные, емкостные, оптические, акустические и другие толщиномеры для измерения толщины жидкостных пленок.

Цель изобретения — расширение 15 технологических возможностей за счет имитации многослойных пленок различной толщины.

На чертеже представлена мера толщины пленки, вид спереди, сечение. 2р

Мера толщины пленки содержит пластину 1 из оптически прозрачного материала с углублением 2, заполненным .имитирующей пленку средой, в качестве которой использованы не менее 25 двух несмешивающихся между собой жидкостей 3 и 4, расположенных слоями. Мера содержит также не менее двух проградуированных в единицах длины и размещенных в пластине доза- 30 торов 5 и 6, в пластине выполнено не менее двух дополнительных углублений

7,и 8 и нормально закрытых каналов

9 и 10, связывающих дополнительные углубления 7 и 8 с дозаторами 5 и 6.

Каждое углубление (7 и 8) заполнено одной нз жидкостей 3 или 4 и сообщается через соответствующий дозатор

5 и 6 с соответствующим слоем жидкостей 3 и 4. 40

Предлагаемую меру готовят к градунровке и поверке толщиномеров следующим образом.

B углубление 8 заливают жидкость

4, например воду. Клапаны )1 и 12 закрыты, и жидкость 4 не проникает ни в углубление 2, ни в дозатор 6.

Передвижением поршня дозатора 6 направо (фиг.l) клапан 12 открывается и дозатор 6 через канал 10 заполня- 5 } ется жидкостью 4. Далее движением поршня дозатора 6 налево клапан 12 закрывается, открывается клапан ll, и жидкость 4 попадает в углубление 2.

Движение поршня дозатора 6, проградуированного и единицах длины на основе соотношения у /Я, где У объем жидкости 4, выталкиваемой дозатором 6 в углублеиие 3; S< — пло25 2 щадь для углубления 2, позволяет получить соответствующий толщине Н слой жидкости 4. Этот с изменяемой толщиной слой может быть уже применен для поверки толщиномеров жидкостных пленок на твердых подложках. Но обычно дозатором 6 готовится слой жидкости 4 с соответствующей толщиной Н для нанесения на него другого слоя. Для этого в дополнительное углубление 7 заливают жидкость, например нефть, масло и т.д., которая не смешивается с жидкостью первого слоя и имеет по отношению к нему меньшую плотность. Передвижением поршня дозатора 5 налево клапан 13 открывается, и дозатор 5 заполняется через канал 9 жидкостью 3. Далее передвижением поршня дозатора 5 направо клапан 13 закрывается, открывается клапан 14, и на слое жидкости

4 образуется слой жидкости 3 с соответствующей толщиной h. Движение поршня дозатора 5, проградуированного в единицах длины, на основе .соотношения V„/S с,,где V объем жид— кости, выталкиваемой дозатором 5 в углубление Z; позволяет получить переменный с регулируемой толщиной h слой жидкости 3 на слое жидкости 4.

Поверка толщиномеров жидкостных пленок с помощью предлагаемой меры производится следующим образом.

Измерительный преобразователь поверяемого или градуируемого толщиномера (на чертеже не показано) устанавливают над слоем жидкости 3 бесконтактно илн в контакте с поверхностью слоя в зависимости от типа поверяемого толщиномера. Производится отсчет по шкале поверяемого толщиномера, т.е. с помощью поверяемого толщиномера измеряется толщина слоя жидкости 3. Сравнивается отсчет толщиномера с номинальным значением аттестованной толщины h слоя,,т.е. со значением на шкале дозатора 5, для образования слоя жидкости 3 толщиной Ь. Далее дозатором 5 образуется слой с другой толщиной и так далее до значения толщины слоя, соответствующего наибольшему значению толщины по шкале поверяемого толщиномера. Каждый раз сравнивается отсчет по шкале с номинальным значекием аттестованной толщины h слоя.

По наибольшей разнице отсчета по шкале и номинального значения аттестованной толщины слоя жидкости 3 меры

1307225

3 4 дой, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей эа счет имитации многослойных пленок различной толщины, она снабжена проградуированными в единицах длины и размещенными в пластине не менее чем двумя доэаторами, в пластине выполнены не менее двух дополнительных углублений и нормально закрытых каналов, сообщающих дополнительные углубления с доэаторами, пластина выполнена из оптически прозрачного материала, в качестве имитирующей пленку среды испольи з о б р е т е н и я 15 зованы не менее двух несмешивающихся между собой жидкостей, расположенных слоями, а каждое дополнительное углубление заполнено одной иэ жидкостей и сообщается со слоем той же жидкос20 ти. судят о погрешности поверяемого толщиномера и о годности его к применению.

Для воспроизведения толщин многослойных жидкостных пленок в пластине 1 устанавливают дополнительные дозаторы для воспроизведения толщин этих слоев.

Предлагаемое изобретение позволя- 10 ет использовать для поверки и градуировки толщиномеров жидкостных пленок только одну простую образцовую меру.

Ф о р м у л а

Nepa толщины пленки для поверки и градуировки толщиномеров, выполненная в виде пластины с углублением, заполненным имитирующей пленку среСоставитель И.Рекунова

Редактор Т.Парфенова Техред А.Кравчук.

Корректор С.Шекмар

Заказ 1618/37 Тираж 678

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðîä, ул.Проектная, 4