Задатчик-стабилизатор малых и микрорасходов газа

 

Изобретение относится к пневмоавтоматике и может использоваться в системах автоматизации технологичес ких процессов производства полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газа. Принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа представлена на чертеже. Задатчик-стабилизатор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем 3 между ними, автоматический регулятор 4 давления газа в полости 2 с регулирующим дросселем 5, второй постоянный дроссель 6 на линии входа газа в полость 1 и второй автоматический регулятор 7 давления в полости 1 с регулирукнцим дросселем 8, дифманометрический преобразователь 9 с вторичным прибором 10, задатчики 11 и 12 автоматических регуляторов 4 и 7 и систему 13 термоста- :билизации 1 всех элементов. Постоянный дроссель 3 выполнен в. виде капилляра с соотношением его длины к площади поперечного сечения канала., обеспечивающим линейную расходную характеристику этого дросселя. 2 з.п.ф-лы, 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (lg} (11}

А1 (5}}4 G05 D 7 01

Эап,, ю.

""1 -у 1 Я) е "у

",е а

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ

Н А ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTMA (21) 4032745/24-24 (22) 05.03.86 (46) 23.07.87. Бюл. У 27 (71) Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) Е.П.Пистун, И.Д.Стасюк,и ЗеН.Теплюх (53) 621.646.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 590703, кл. G 05 D 7/01, 1975.

Авторское свидетельство СССР

9 924679, кл. С 05 D ..7/01, 1980. (54) ЗАДАТЧИК-СТАБИЛИЗАТОР NAJlMX И ИИКРОРАСХОДОВ ГАЗА (57) Изобретение относится к пневмоавтоматике и может использоваться в системах автоматизации технологических процессов производства полупроводниковых приборов., интегральных микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газа. Принципиальная схема задатчика-стабилизатора . малых и микрорасходов газа представлена на чертеже. Задатчик-стабилиза-. тор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем 3 между ними, автоматический регулятор 4 давления газа в полости 2 с регулирующим дросселем

5, второй постоянный дроссель 6 на линии входа газа в полость 1 и второй автоматический регулятор 7 давления в полости 1 с регулирующим дросселем 8, дифманометрический преобразователь 9 с вторичным прибором 10, задатчики 11 и 12 автоматических регуляторов 4 и 7 и систему 13 термостабилизации 1 всех элементов. Постоян-. ный дроссель 3 выполнен в, виде капилляра с соотношением его длины к площади поперечного сечения канапа, обеспенннааднн лннейную расходную характеристику этого дросселя. 2 s.ï. ф-лы, 1 ил.

l Задатчик--стабилизатор малых и микрорасходов газа, содержащий две полости с постоянным дросселем между ними, автоматический регулятор с регулирующим дросселем, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повыше-. ния точности задания и стабилизации расхода газа, он дополнительно снабжен другим постоянным дросселем, установленным на линии входа газа в первую полость, и другим автоматическим регулятором с регулирующим дросселем, причем автоматические регуляторы вы" полнены в виде регуляторов абсолютного давления газа в каждой полости, йх регулирующие дроссели установлены на выходе газа из этик полостей, к постоянному дросселю между полостями подключен дифманометрический измерительный преобразователь с вторичным прибором.

2. Задатчик-стабилизатор по п.1, отличающийся тем, что, постоянный дроссель между полостями выполнен в виде капилляра с отноше- . нием erо длины г, к площади f поперечного сечения канала, равным

u/f = К Г, 1 132542

Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использоваться в системах автоматизации технологических процессов произ5 водства полупроводниковых приборов, микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газов.

Цель изобретения — повышение точнос- g ти задания и стабилизации расхода газа, . На чертеже приведена принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа.

Задатчик-стабилизатор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем

3 между ними, автоматический регуля" тор 4 абсолютного давления газа в по-. лости 2 с регулирующим дросселем 5, постоянный дроссель 6 на линии вкода 20 газа в полость 1 и автоматический ре" гулятор 7 абсолютного давления газа в полости 1 с регулирующим дросселем

8, дифманометрический измерительный преобразователь 9 с вторичным прибором25

10, эадатчики 11 и 12 автоматических регуляторов 4 и 7 и систему 13 термостабилизации всех элементов задатчикастабилизатора малых и микрорасходов газа. 30

Задатчик-стабилизатор работает сле-. дующим образом, При прохождении газа через постоянные дроссели 6 и 3 и полости 1 и 2 автоматические регуляторы 7 и 4, срав- З5 нивая сигналы от задатчиков 11 и 12 с сигналами по давлению в полостях

1 и 2, воздействуют на регулирующие дроссели 8 и 5 и обеспечивают постоянство абсолютных давлений в полоСтях I,10 и 2, т.е. на входе и выходе постоянного дросселя 3, стабилизируя тем самым расход газа на заданном уровне.

Измерение расхода газа осуществляется дифманометрическим измерительным 4б преобразователем 9 с вторичным прибо" ром 1О., Изменение задания задатчикустабилизатору производится с помощью задатчика 12 автоматического регуля" тора 7, а задание автоматическому ре- M гулятору 4 поддерживается постоянным и равным значению, установленному задатчиком 11 при наладке задатчикастабилизатора.

Выполнение постоянного дросселя 3 в виде капилляра с отношением его

0 2 длины E к площади f поперечного сечения канала, удовлетворяющим .условию

E/f = XVV., где P — абсолютное давление газа пос ле капилляра;

К вЂ” постоянный для данных условий работы коэффициент, обеспечивает получение линейной расходной характеристики этого дросселя, а термостабилизация всех элементов задатчика-стабилизатора уменьшает влияние изменения температур газа и окружающей среды на точность задания и стабилизации расхода газа.

Формула изобретения где Р - абсолютное давление газа пос ле капилляра;

К вЂ” постоянный для данных условий работы коэффициент.

3. Задатчик-стабилизатор по п.i, отличающийся . тем, что все его элементы термостабилизированы.

ВНИИПИ Заказ 3107/47 Тираж 8б3 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4