Интерферометр

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения линейных перемещений объектов. Цель изобретения - повьппение точности измерения - достигается путем уменьшения влияния линейных температурных деформаций станины интерферометра. Пучок излучения от источника 1 проходит линзы 2 и 3 и расщепляется светоделителем 4 на два. Линза 3 расположена между линзой 2 и светоделителем 4 на определяемом по расчетной формуле расстоянии от перетяжки пучка после линзы 2. Два пучка, отразившись от отражателей 5 и 6, 7 и 8, интерферируют на светосоединителе 9. Интерференционная картина регистрируется фотоприемниками 10 и 11, ив счетчик 13 импульсов записывается количество интерференционных полос, по которым судят о перемещении объекта. 1 ил. с 9

СООЗ СОВЕТСКИХ ,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .

РЕСПУБЛИК

А1 (19) (11) й)) 4 G 01 В 9/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3589605/24-28 (22) 12.05.83 (46) 30.07.87. Бюл. У 28 (71) Институт электроники АН БССР (72) А.В.Романов, К.М,Шестаков и В.С.Садов (53) 531,715 ° 1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 838325, кл. G 01 В 11/00, 1979. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике и может испольэоваться для измерения линейных перемещений объектов. Цель изобретения — повышение точности измерения - достигается путем уменьшения влияния линейных температурных деформаций станины интерферометра. Пучок излучения от источника 1 проходит линзы 2 и 3 и расщепляется светоделителем 4 на два. Линза 3 расположена между линзой 2 и светоделителем 4 на определяемом по расчетной формуле расстоянии от перетяжки пучка после линзы 2. Два пучка, отразившись от отражателей 5 и 6, 7 и 8, интерферируют на светосоединителе 9. Интерференционная картина регистрируется фотоприемниками 10 и 11, и в счетчик 13 импульсов записывается количество интерференционных полос, по которым судят о перемещении объекта. 1 ил. -326879

Изобретение Отно(ится к измерительной техн Il c и;-,:.=,ceт быть исп Ол -: = зовано для измерения линейных перемс— щений объектов.

Пель изобретения — повыгяение то-,— ности измерения путем уменьщения влияния линейных температурных деформаций станины интерферометра за сч ".T расположения линз, формирующих пучок между источником излучения и све.:О= делителем, На чертеже изображена эптическая схема интерферометр-..ИнтерсЬерометр содержит ис-:ачк:--.к 1 когерентного излуче:-:ия, расположен-. ные последовательно по хоцу излучения линзы 2 и 3, светоделител:= 4, де.".я l--:-В пучок излучения на ДBB пучка, отракатели 5-8, расположен Ible Inrlaрно каждом из пучков, Светосоедикитель и оптически свяэаннь:е с ням два .Фо гоприемника 10 и 11 предназначены дл: —;. эакрепления HB объекте 12.,Фотоприем.ники 10 и 11 расположень.:: а -пути В"-;а" имно перпекдик счяркых HH I c I!cl)Fпекниoib"

HbIx ПОтоков пОсле сВ PTocF!encHI","ителя 9 так, что апертуры фотопр:- .=.:-ьмников 10 и 11 смещены друг Относительно друг:.. на 1/4 пиринн интерференционной полосы, Фотоприемники 10 н 11 электрически связаны со счетчиком 13 импульсов.

Линза 3 расположена по ходу излу— чения межДу линзой 2 и cBBTQIIP:IH лем 4 на расстоян.ш, f j 2 (L+d g ) - f j $ 1 -1 -. ", j f - (l.+d ) "

2 Г f- " l +-1

oT Hcретяжки IIу чка Ifclcllc. "l HH3bl 2, где f — фокусное Оасстоя п:е ликэ .

Б. - конфокалькый Hàp;IIcå Тр пу .ка э после линзы 2;

L — длина пути пучков, соатвеTc .ТВующая нулевому порядку ин-" терферекци. ;

d — расстояние От линзы 3 до све1

TOPЕЛИТЕbbI

Интерферометр работает следу;.аги. образом, Выходящий из источника 1 когере:.:тного излучения световой пучок прсхс-дит линзы 2 и 3 и разделяется светоделителем 4 на два пучка, Каждый из двух пучков, отразиьпись от отража-= телей 5 и 6, 7 и 8 соответственнс, .направляется на светосоединитель 9, который совмеща.ет oácl пучка и капран-ляет на фотоприемники 10 в 11

Расс ToÿøIе между линзой 3 и пере.-яжкой пучка после линзы 2 Выбирается так, что леретяжка пучка после линзы 3 располагается в месте нулевой разности хода интерферирующих пучкоп, Вследствие симметричности пучка излучения относительно перетяжки по Всей длине хода светосоединителя 9

jg площади иктерферирующих пучков равны и контрастность интерференционной картины максимальна и постоянна.

При перемещении объекта 12 со светосоединителем 9 и фотоприемниками 10 и 11 вдоль пучков измечяется разность хода пучков, что вызывает перемещение интерференционкых полос в плосIcocTH >oтоприемников 10 и 11, 0 величине перемещения объекта 12 судят по числу полос, зарегистрированному реверсивным счетчиком 13 импульсов, формула из о б р е т е н ия

Интерферометр для измерения линей-:b:.õ перемещений, содержащий две линзы, источник когерентногo излучения, расположенные поспедовательно по ходу излучения светоделитель, делящий

10 пучок излучения на два, четыре отражателя, расположенные попарно в каждом иэ пучков, и предназначенные для закрепления I..a обьекте светосоединитсль, два фотоприемника, оптически свяэаккые со светосоединителем, и г, счетчик импульсов, электрически связанный с фстоприемяиками 0 т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения то -;. ости измерения, линзы

:. .тановлекы последовательно по ходу

I,l излучения Me:i ïó источником излучения и светоделителем таким образом,что

Вторая по ходу излучения линза установлен": на расстоянии

2 F-(L+d )1

О-- перетяжки пучка после первой по ходу излучения линзы, †.Не = — U окусное расстояние второй

1 по ходу" излучения линзы

) Г

Р— кокфокальный параметр пучка после первой по ходу иэлуче кия линзы: длина пути пучков, соответствующая нулевому порядку интерференции „

d -- расстояние от второй по ходу

< излучения линэь: до светоделителя.

1326879

Составитель А.Гордеев

Редактор Т.Лазоренко Техред В.Кадар

Корректор Т. Колб

Заказ 3269/34 Тираж 676 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r„ Ужгород, ул. Проектная, 4