Способ измерения макрорельефа поверхности объекта

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта . Цель изобретения - повышение точности измерения за счет сужения х. / интерференционных полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта. Помещают объект 7 в кювету 5 с иммерсионной средой 6,, голограмму экспонируют предметным и опорным пучками света многократно (три и более раз), причем показатель п преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают из соотношения ,+(k-l)дп, где п, - показатель преломления среды при 1-м экспо нировании, k - порядковый номер экспонирования , п - изменение показателя преломления. Каждое последующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией I предметной волны, определяемой из соотношения , (N-l)/(k-l)(N-k)гдe N - полное число экспозиций, 1 - экспозиция предметной волны при 1-м экспонировании. 1 з.п, ф-лы, 1 ил. § (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (so 4 С 01 В 11/30,,9/021

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BT0PCHOhhY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4003586/24-?8 (22) 02.01.86 (46) 07.06.87. Бюл. N - 21 (71) Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе (72) Г,В,Островская, Ю.И.Островский, Н.О.Рейнганд, И.В.Семенова и И.В.Щитникова (53) 531.715.1(088.8) (56) Островский Ю.И., Бутусов М.M., Островская Г.В. Голографическая интерферометрия, — N. Наука, 1977, с. 277-283, 285-288.

Там же, с. 283-285. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАКРОРЕЛЬЕФА

ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта. Цель изобретения — повышение точности измерения за счет сужения интерференционных полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта. Помещают объект 7 в кювету 5 с иммерсионной средой 6, голограмму экспонируют предметным и опорным пучками света многократно (три и более раз), причем показатель и„ преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают из соотношения n„=n,+(k-1)ап, где и, — показатель йреломления среды при 1-м экспо нировании, k — порядковый номер экспонирования, b,n — изменение показателя преломления. Каждое последующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией I „ предметной волны определяемой из соотношеУ ния I„=I, ((N-1) 1/ (k- l ) (И-k) 1), где

N — - полное число экспозиций, I экспозиция предметной волны при 1-м экспонировании. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. l 1З

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению макрорельефа поверхности объекта.

Цель изобретения — повышение точности измерения за счет сужения интерференционных полос контурной карты в восстановленном изображении исследуемого объекта.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения макрорельефа поверхности объекта.

Устройство содержит последовательно установленные лазер l светоделительную пластину 2,зеркало 3, фотопластину 4 для записи голограммы во встречных пучках, кювету 5 с иммерсионной средой 6 в виде жидкости или газа.

Способ осуществляют следующим об-разом.

Объект 7 помещают в кювету 5 с иммерсионной средой 6. Излучение от лазера 1 делится светоделительной пластиной 2 на два луча, один из которых проходит через нее к фотопластине 4, отражаясь от зеркала Э, и далее. к объекту 7, а другой, отража- ясь от пластины 2, проходит к объекту 7. После первой экспозиции изменяют показатель преломления иммерсионной среды 6 в кювете 5, в которую помещают исследуемый объект 7. Затем делают вторую экспозицию и снова изменяют показатель преломления среды 6. Делают третью экспозицию и т.д.

При каждом k-м экспонировании показатель преломления иммерсионной среды

6 выбирают из соотношения п„=n,+(k-l)ьп, где.п, — показатель преломления среды при 1-м экспонировании; — порядковый номер экспонированияу

gn — изменение показателя преломления.В соответствии с этим соотношением показатель преломления среды 6 перед каждой экспозицией изменяют на одинаковую величину п, которая определяет цену интерференционных полос на контурной карте.

При многократном экспонировании голограммы с равными экспозициями как опорной, так и предметной волн интерференциоиные полосы существенно сужаются. Однако при этом »а контурной карте возникают промежуточные!

5802 2 интерференционные максимумы, которые в отдельных случаях могут служить помехой при расшифровке интерферограмм. С целью их ослабления каждое экспонирование голограммы можно осуществлять с экспозицией 1„ предметной волны, отвечающей соотношению (к- )

Ix = × или

1 (ы-iy! к 1 (1)1(N k)1 где N — полное число экспозиций;

I< — экспозиция предметной волны

f5 при I-м экспонировании, qual (q выбирается из предполагаемого числа N экспозиций так, чтобы (N+1)-я экспозиция мало влияла на ши20 . рину голос).

Формулаизобретения

1. Способ измерения макрорельефа поверхности объекта, заключающийся в

25 том, что помещают объект в иммерси-. онную среду, производят экспонирование голограммы поверхности, изменяют показатель преломления иммерсионной среды, вновь производят экспонирова»ие голограммы поверхности, восста»авливают интерференционную контурную карту поверхности объекта и измеряют макрорельеф поверхности, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения, 35 осуществляют по крайней мере еще одно экспонирование голограммы поверхности, а показатель и преломления иммерсионной среды при каждом последующем экспонировании выбирают

40 из соотношения

n„=n„+(k-1)р,п, где n, — показатель преломления сре- ды при 1-м экспонировании, порядковый номер экспониро45 вания;

gn — изменение показателя преломления.

2. Способ по и. 1, о т л и ч аю шийся тем, что каждое последующее экспонирование голограммы осуществляют с экспозицией Ix предметной волны, определяемой из соотношения где N — полное число экспозиций;

I, — экспозиция предметной волны на при l-м экспонировании.