Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа

 

Изобретение относится к области электроннооптического приборостроения . Цель изобретения - расширение диапазона режимов регулирования тока линзы. Устройство содержит программируемый запоминающий блок 1, блок 2 выбора режима работы, цифроаналоговый преобразователь 7, усилитель 8 мощности и обмотку 9 линзы. Введение магистральных элементов 3 и 6, кодового регулятора 4, блока 5 управления и образование новых функциональных связей обеспечивает возможность произвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведение этого режима и тонкой подстройки тока. 1 ил. в (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (1% (Н) (51) 4 Н 01 J 37/14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3961922/24-21 (22) 09.10.85 (46) 30.07.87. Бюл. № 28 (72) Е.П.Бочаров, В.А.Полянский и П.А.Стоянов (53) 621.385.833(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1050009, кл. Н 01 J 37/14, 1982.

Патент Японии ¹- 49-22577; кл. 99 С 32, опублик. 1974. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ТОКОМ

МАГНИТНОЙ ЛИНЗЫ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к области электроннооптического приборостроения. Цель изобретения — расширение диапазона режимов регулирования тока линзы. Устройство содержит программируемый запоминающий блок 1, блок 2 выбора режима работы, цифроаналоговый преобразователь 7, усилитель 8 мощности и обмотку 9 линзы. Введение магистральных элементов 3 и б, кодового регулятора 4, блока 5 управления и образование новых функциональных связей обеспечивает возможность произвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведение этого режима и тонкой подстройки тока.

1327203

Изобретение относится к электроннооптическому приборостроению, в частности к системам управления током магнитных линз электронных микроскопов.

Цель изобретения — расширение диапазона режимов регулирования тока линзы за счет возможности произвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведение этого режима 10 и тонкой подстройки тока.

На чертеже показана схема устройства.

Устройство для управления содержит программируемый запоминающий блок 1, имеющий расширенные функциональные возможности и дополнительные входы.

Первый вход запоминающего блока 1 соединен с выходом блбка 2 выбора режима работы который содержит пере1

;>{) ключатели, соединенные с шифраторами.

Блок 2 выбора режима работы устанавливают ступень увеличения, ускоряющее напряжение, вид работы микроскопа. Переключатель блока 2 выбора режима работы может также установить свободный режим работы, в котором оператор имеет возможность установить режим произвольных токов в линзе;

Второй вход запоминающего блока 1 соединен с первым входом первого магистрального элемента 3, который может быть выполнен, например, в виде логической схемы И, и вторым выходом (выходом старших разрядов) кодового регулятора 4, выполненного, например, на оптронных парах с кодовыми дисками.

Кодовый регулятор 4 имеет порознь вывеценные младшие и старшие разряды,.

40 причем число младших разрядов выбрано.из расчета обеспечения компенсации дрейфа поля линзы током ее обмотки.

Третий вход запоминающего блока 1 соединен с первым выходом блока 5

45 управления, содержащего источник питания, соединенный с переключателем на два положения.

Выходы блока 5 управления являются Во выходами командных сигналов: первый выход — запись в запоминающем блоке, второй — работа с кодовым регулятором, третий — работа с запоминающим блоком. Второй и третий выходы блока 5 управления соединены соответственно с вторым входом первого магистрального элемента 3 и первым входом второго магистрального элемента 6,, также выполненного в виде логической схемы И, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока 1.

Объединенные выходы магистральных элементов 3 и 6 подключены соответственно к входам старших разрядов цифроаналогового преобразователя 7, соединенного выходом с усилителем 8 мощности, подключенным к обмотке 9 линзы. Входы младших разрядов цифроаналогового преобразователя 7 соединены с первым выходом младших разрядов кодового регулятора 4.

Устройство работает следующим образом.

Работа устройства появляется на примере работы в режиме установки экспериментальной величины тока. Оператором посредством переключателей блока 2 выбора режима работы устанавливаются: значение ускоряющего напряжения, режим работы — свободный, ступень увеличения (порядковый номер ступени увеличения на переключателе соответствует порядковому номеру свободного режима). Переключатель блока 5 управления устанавливают на работу с кодовым регулятором, при этом с второго выхода блока 5 управления поступает сигнал.на первый магистральный элемент 3. Поеледний открывается, соединяя старшие разряды кодового регулятора 4 с цифроаналоговым преобразователем 7, а второй магистральный элемент 6 (так как на третьем выходе блока 5 управления сигнала нет) закрывается. Управляя кодовым регулятором 4 (вращением его кодовых дисков), устанавливают по четкости изобраясения нужный ток в обмотке линзы.

Убедившись, что ток линзы выбран правильно, оператор посредством переключателя блока 5 управления (первый выход) поцает команду на запоминание старших разрядов кода, выбранного тока в линзе. Число старших разрядов кода определяется стабильностью материалов линзы, температурных и других параметров, а также условий окружающей среды. Число младших разрядов кода определяет пределы, в которых оператору каждый раз необходимо поцстраивать ток линзы для получения оптимального по качеству изображения при тех рабочих условиях, которые имеют место в настоящий момент.

1327203

20

Составитель В.Гаврюшин

Редактор M.Ïåòðoâà Техред Л.Олиййык Корректор В.Гирняк

Заказ 3403/50 Тираж 698, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород,;ул.Проектная, 4

Этот цикл работы оператор производит один раз, затем при необходимости вернуться к данному режиму переключателем на блоке 5 управления (по третьему выходу) включает командный сигнал работы с запоминающим блоком, открывая второй магистральный элемент 6, при этом код старших разрядов с выхода запоминающего блока поступает на цифроаналоговый преобразователь 7. Далее оператор осуществляет лишь тонкую подстройку посредством выходов младших разрядов кодового регулятора 4, добиваясь наилучшего иэображения.

Формула .изобретения

Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа, содержащее запоминающий блок, соединенный с выходом блока выбора режима работы, и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь и усилитель мощности, снабженный клеммой для подключения к обмотке линзы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения диапазона режимов регулирования тока линзы, оно снабжено кодовым регулятором, блоком управления и двумя магистральными элементами, при этом выходы магистральных элементов соединены с первым входом цифроаналогового преоб-: разователя, второй вход которого соединен с первым выходом кодового регулятора, второй выход которого соединен г, IIepBbM входом первого магистрального элемента и первым входом вто рого магистрального элемента, второй вход которого соединен с выходом saпоминающего блока, третий вход которого соединен с первый выходом блока управления, соединенного вторым и третьим выходами соответственно с вто. рым входом первого магистрального эле. мента, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока.