Электромагнитная линза

 

Изобретение относится к конструкции электромагнитных линз с о.хлаждаемой обмоткой и может быть использовано в электронно-лучевых приборах, в частности в электронных микроскопах, рентгеновских микроанализаторах , электронографах и других аналогичных приборах. Цель изобретения - уменьшение габаритов и металлоемкости линзы - достигается в результате увеличения допустимой плотности тока в обмотке 2 возбуждения. Для этого теплообменник размещен внутри герметизированного корпуса 3 с зазором относительно стенок и выполнен из трубчатых элементов 4, концентрично расположенных относительно оси линзы. На чертеже также показаны магнитопровод 1, клапаны 5, унлотнительные прокладки 6 и 9. Эффективность охлаждения обмотки повышается за счет увеличения плопдади охлаждаемой поверхности теплообменника и его размещения внутри герметизированного корпуса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (50 4 Н 01 J 37 14

ОГ1ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3913770 24- 21 (22 ) 10. 06. 85 (46) 07.08.88. Ьюл. № 29 (71) Сумское производственное объединение «Электрон» (72) В. Г. Веприк, Р. A. Гришин и Г. Д. Кисель (53) 537.533.335 (088.8) (56) Гравель В. М., Чепцова A. В. Охлаждаемая обмотка электромагнитной линзы. Труды Х1 Всесоюзной конференции по электронной микроскопии. T. !. — М.: Наука, 1979, с. 22.

Авторское свидетельство СССР № 661646, кл. Н 01 J 37! 20, 1976. (54) ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ЛИНЗА (57) Изобретение относится к конструкции электромагнитных линз с охлаждаемой обмоткой и может быть использовано в элект„„SU„„1415268 A 1 ронно-лучевых приборах, в частности в электронных микроскопах, рентгеновских микроанализаторах, электронографах и других аналогичных приборах. Цель изобретения— уменьшение габаритов и металлоем кости линзы — достигается в результате увеличения допустимой плотности тока в обмотке 2 возбуждения. Для этого теплообменник размешен внутри герметизированного корпуса 3 с зазором относительно стенок и выполнен из трубчатых элементов 4, концентрично расположенных относительно оси линзы. На чертеже также показаны магнитопровод 1, клапаны 5, уплотнительные прокладки 6 и 9.

Эффективность охлаждения обмотки повышается за счет увеличения площади охлаждаемой поверхности теплообменника и его размегцения внутри герметизированного корпуса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1415268

Формула изобретения

Рыг 2 (. >станитс. В. Гаврюшин

l е.гаhтор И Г<).I<)н;I I 1 скреп 1!. Верее Корректор (:. Черни онlh;Iз зкт)> 4 1ир;) к 746 11одписное

В!!!!1!! !1! Г<н ),шрс) и< ни<и о кои ит< I;I ((:(:Р ll<),1<>lë)I изобретений и открытий

I >():>5, .Цо< лн,), rK,15, Ра) шскаи наб>., го 4 5

I1()<>II <но Ic ГII< IIIIII-III>.IIII !I,I<1>II I< < ко< нр(.(Яринтие, Г,) >не<)род. )(I. Гlроектнзн, 4

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройству электромагнитных линз с охлаждаемой обмоткой, и может быть использовано в электронно-лучевых приборах, в частности в электронных 5 микроскопах, рентгеновских микроанализаторах, электронографах и других аналогичных приборах.

Целью изобретения является уменьшение габаритов и металлоемкости линзы за счет увеличения допустимой плотности тока обмотки возбуждения.

На фиг, показана линза, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Электромагнитная линза имеет магнито- 15 провод 1, обмотку 2 возбуждения, помещенную в герметизированный корпус 3 и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью. Непосредственно в герметизированном корпусе установлен теплообменник в виде трубчатых элементов 4. Для откачки воздуха из герметизированного корпуса и заливки в него порции жидкости в небольшом сегменте корпуса размещены клапан 5 и уплотнительная прокладка 6. В этом же сегменте установлены гермовводы 7 для подачи напряжения на катушку возбуждения и выполнены коллекторные отверстия 8 для подачи и отвода хладагента. Для теплоизоляции герметизированного корпуса с обмоткой от магнитопровода линзы установлена прокладка 9.

При протекании тока по обмотке 2, размещенной в герметизированном корпусе 3, происходит выделение джоулева тепла, вызывающего интенсивное испарение легкоиспаряющейся жидкости, пропитывающей о6л-я мотку. Эффект охлаждения достигается за счет затрат тепловой энергии на испарение.

Пары испаряющейся жидкости переносят тепло на поверхность трубчатых элементов

4 теплообменника, где происходит их конденсация. Конденсат вновь пропитывает обмотку 2, поддерживая, таким образом, ее постоянный тепловой режим.

Повышение эффективности охлаждения обмотки достигается за счет увеличения площади охлаждающей поверхности теплообменника и его размещения внутри герметизированного корпуса. Экспериментально показана возможность увеличения плотности тока в обмотке до 23 А/мм, что позволяет уменьшить габариты и металлоемкость электромагнитной линзы.

1. Электромагнитная линза, содержащая магнитопровод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированного корпуса и погруженную в легкоиспаряющуюся жидкость, а также систему конденсации жидкости, выполненную в виде теплообменника, расположенного над обмоткой возбуждения, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения габаритов и металлоемкости за счет увеличения допустимой плотности тока обмотки возбуждения, теплообменник размещен внутри герметизированного корпуса с зазором относительно его стенок.

2. Линза по п. 1, отличающаяся тем, что теплообменник выполнен в виде концентрично расположенных относительно оси линзы трубчатых элементов.