Устройство для перемещения зеркала интерферометра

 

Изобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для использования в сканирующих интерферометрах. Целью изобретения является повышение чувствительности сканирующего элемента с одновременным сокращением радиальных либо осевых габаритов. На основании 1 установлено неподвижное зеркало 2 и подвижное звено 3 с подвижным зеркалом 4. Подвижное звено 3 подвешено на упругой подвеске, выполненной в виде наклонных стержней 5. В движение зеркало приводится управляемым электродвигателем 6 через зубчатую пару 7 - 8 и сильфонную муфту 10. Крутильные перемещения промежуточного кольца 11, связанного с сильфонной муфтой, уменьшаются упругим делителем перемещений, состоящим из упругих стержней 12 и стержней 5 упругой подвески подвижного звена. Благодаря наклонному расположению стержней этой подвески крутильные перемещения подвижного звена обретают осевую составляющую. 2 3.п. ф-лы, 3 ил. | (/) 00 00 О5 ел (Uf.f

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU» 1337651 (51) 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕГ

1ъ.i p 1 i 1.» к, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3721289/25 — 28; 3781073/25-28 (22) 05.04.84 (46) 15.09.87. Бюл. М- 34 (72) О.Н.Гусев, И.Н.Степаненков, Д.А.Гусев, В.А.Иванов и А.В.Матвеев (53) 531 ° 717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 535453, кл. G 01 В 9/02, 1975.

Авторское свидетельство СССР

У 823847, кл. G 01 В 9/02, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЗЕРКАЛА ИНТЕРФЕРОИЕТРА (57) Изобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для использования в сканирующих интерферометрах. !(елью изобретения является повышение чувствительности сканирующего элемента с одновременным сокращением радиальных либо осевых габаритов. На основании 1 установлено неподвижное зеркало 2 и подвижное звено 3 с подвижным зеркалом 4. Подвижное звено 3 подвешено на упругой подвеске, выполненной в виде наклонных стержней 5.

В движение зеркало приводится управляемым электродвигателем 6 через зубчатую пару 7 — 8 и сильфонную муфту 10. Крутильные перемещения промежуточного кольца 11, связанного с сильфонной муфтой, уменьшаются упр гим делителем перемещений, состоящим из упругих стержней 12 и стержней 5 упругой подвески подвижного звена. Благодаря наклонному расположению стержней этой подвески крутильные перемещения подвижного звена обретают осевую составляющую.

2 з.п. ф-лы, 3 ил.

1 133

Изобретение относится к оптическому приборостроению и препназначе но дпя использования в сканирующих интерферометрах.

Целью изобретения является по7651 2 ний промежуточного кольца 11, во сколько раз жесткость стержней 12 (13) меньше суммы жесткостей стержней 5 и 12 (3) вышение чувствительности сканирующего элемента с одновременным сокращением радиальных, либо осевых габаритов.

На фиг.1 показано устройство (модификация 1), продольный разрез; на фиг.2 — то же (модификация 2), продольный разрез; на фиг.3 — разрез А-А на фиг.2 (вид на упругий элемент, г

Устройство дпя перемещения зеркала интерферометра содержит основание 1 с неподвижным зеркалом 2, подвижное звено 3 с подвижным зеркалом 4, подвеску подвижного звена, выполненную в виде семейства наклонно расположенных упругих стержней 5, и привод принудительного перемещения подвижного звена, выполненный в виде управляемого электродвигателя 6, ведущей шестерни 7, ведомой шестерни 8, связанной с основанием шариковым подшипником 9, сильфонн и муфты 10, один конец которой скреплен с ведомой шестерней, промежуточного кольца 11, скрепленного с вторым концом сипьфонной муфты, и упругого элемента, установленного между промежуточным кольцом и подвижным звеном. Упругий элемент может быть выполнен либо в виде семейства стержней 12, размещенных вдоль образующих воображаемого цилиндра, расположенного внутри сипьфонной муфты (фиг.1), либо в виде семейства радиально pactIoJIo)KpHHblx стержней 13 (фиг.2 и 3) .

Радиально расположенные стержни выполнены изогнутьгми в плоскости их размещения.

Устройство работает следующим образом.

Дпя обеспечения сканирующего движения приводному электродвигателю 6 задают периодическое движение заданной частоты и амплитуды. От электродвигателя движение передается через зубчатую пару 7-8 в сипьфонную муфту

10 на промежуточное кольцо 11. Далее на подвижное звено 3 движение передается через упругий делитель перемещений, образованный стержнями

12 (13) и 5. Крутипьные перемещения подвижного звена 3 будут во столько паз меньше крутильных перемещеТ+Г

4 угловое (крутильное) перемещение подвижного звена; угловое (крутильное) перемещение промежуточного кольца;

I — жесткость стержней упругой подвески подвижного звена; жесткость упругого элемента, размещенного между подвижным звеном и промежуточным кольцом.

Благодаря наклонному расположению упругих стержней 5 подвески по25 движного звена 3 крутильные перемещения этого звена приобретают осевую составляющую, равную:

Н = R qtpd

Формула изобретения

1. Устройство для перемещения зеркала интерферометра, содержащее основание с неподвижным зеркалом, подвижное звено с подвижным зеркалом, подвеску подвижногo eH, Bblполненную в виде наклонно расположенгде R — радиус размещения упругих стержней подвески подвижного звена; угол наклона этих стержней.

35 Наличие упругого делителя перемещений позволяет управлять движениями электродвигателя при значительно большей амплитуде, что повышает чувствительность устройства. Кроме того, через упругие стержни не передаются на подвижное звено вибрации электродвигателя и зубчатой пары, что повышает плавность работы устройства.

45 Размещение упругих стержней внутри сильфонной муфты вдоль образующих цилиндра позволяет сократить радиальные габариты устройства, а радиальное размещение этих стержней — осе50 вые габариты. з

133 ных упругих стержней, и привод принудительного перемещения подвижного звена, выполненный в виде кинематической передачи и сильфонной муфты, один конец которой связан с ведомым звеном кинематической передачи, и тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности,оно снабжено промежуточным кольцом, скрепленным с вторым кольцом сильфонной муфты, и упругим элементом, установленным между промежуточным кольцом и подвижным звеном.

7651

2. Устройство по п.l о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью сокращения радиальных габаритов, упругий элемент выполнен в виде

Ь стержнеи, размещенных внутри сильфонной муфты вдоль образующих воображаемого цилиндра.

3. Устройство по п.1, о т л ич ающе е с я тем, что, с целью сокращения осевых габаритов, упругий элемент выполнен в виде радиально расположенных стержней, изогнутых в плоскости их размещения.

1337651

Составитель В. Романов

Редактор Н. Горват Техред М. Ходанич Корректор Л. Бескид

Заказ 4117/35 Тираж 676 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4