Способ герметизации вакуумной камеры и вакуумная камера

 

Изобретение относится к уплотнителъной технике и позволяет повысить качество герметичности вакуумной камеры. Герметизируют камеру путем подачи в полые уплотнительные элементы сжатого газа, который дополнительно нагревают с. помощью введенных в уплотнительные элементы проводников из прецизионных сплавов с высоким электрическим согфотивлением, подсоединенных к электрической сети. Вакуумная камера содержит корпус и крьшшу с фланцами, между которыми размещены полые уплотнительные элементы, нагреваемые при прохождении электрического тока. 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил. О С 4 4 СС С

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

44997 А1 (19) (И) сю 4 F 16 J 15/46

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4056654/25-08 (22) 15.04.86 (46) 15.10.87. Бюл. У 38 (7 1) Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований (72) М.П.Сугоняко, А.Л.Абугов и Э.А.Лущик (53) 62-762(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР и 1006833, кл. F 16 3 15/46, 1983. (54) СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ВАКУУМНОЙ

КАМЕРЫ И ВАКУУМНАЯ КАМЕРА (57) Изобретение относится к уплотнительной технике и позволяет повысить качество герметичности вакуумной камеры. Герметизируют камеру путем подачи в полые уплотнительные элементы сжатого газа, который дополнительно нагревают с помощью введенных в уплотнительные элементы проводников из прецизионных сплавов с высоким электрическим сопротивле1 нием, подсоединенных к электрической сети. Вакуумная камера содержит корпус и крьппку с фланцами, между которыми размещены полые уплотнительные элементы, нагреваемые при прохождении электрического тока.

2 с. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

1344997

Изобретение относится к уплотнительной технике, в частности к способам герметизации вакуумных систем, Целью изобретения является повышение качества герметизации путем исключения охлаждения уплотнительных элементов при создании вакуума, На фиг, 1 изображена схема вакуумной камеры для осуществления предлагаемого способа, разрез, на фиг. 2 — полый уплотнительный элемент с введенным в него проводником; на фиг. 3 — то же, с проводниками на внутренней поверхности полого уплотнительь,. л элемента,.

Вакуумная камера содержит корпус

1 с фланцем 2, на котором установлены уплотнительные элементы 3 и 4, полости которых соединены с источником 5 сжатого ьоздуха, и крышку о фланцем 7. Камера соединена с вакуумной сис-емой 8. В полостях полых уплотнительных элемен îâ 3 и 4 размещены проводники 9 из пргцизионньгх сплавов с высоким электрическим сопротивлением, например хромоникелевых марки Х15Н60-Н, которые подсоединены к источнику электрического тока (не показан) . Проводники 9 установлены внутри уплотнительны:. :. элементов

3 и 4 свободно (фиг, 2) или на внут— ренних поверхностях уплотнительных элементов 3 и 4 (фиг,, 3),, Материал проводников 9 выбран таким, чтобы проводники при прохождении электрического тока нагревались до температуры выше температуры окружающей среды, а их размещение на внутренних поверхностях элементов 3 и 4 обусловлено задачей большего разогрева последних.

Герметизацию вакуумной камеры осуществляют следующим образом.

Крышку 6 подводят к корпусу 1 и фиксируют затем подают сжатый газ из источника 5 в полости уплотнительных элементов 3 и 4 и одновременно включают электрический ток,, Проводники 9 нагреваются, нагревая сжатый газ в полостях уплотнительных элементов 3 и 4 и сами уплотви= тельные элементы 3 и 4. В результа з нагрева сжатого газа последний расширяется, интенсивность движения молекул возрастает, вследствие чего возрастает давление на внутренние поверхности уплотнительных элементов, последние при нагреве приобретак " большую эластичность. В результате увеличивается поверхность облегания уплотнительными элементами 3 и 4 поверхностей фланцев 2 и 7. Одновременно с этим производят откачку камеры до рабочего давления с помощью вакуумной системы 8„.

Пример. Производят гермети1G зацию камеры объемом 1000 см, Ис3 пользуют полые уплотнительные элементы 3 и 4 с внутренним диаметром

10 мм, выполненные из резины, изготовленной на основе силиконовых или

1В фторсоцержащих каучуков. Внутри кольца расположен проводник 9 из сплава с высоким электрическим сопротивлением марки Х13104 диаметром

1,2 мм. При пропускании через него

20 электрического тока он нагревается о до 200 С, нагревая при этом окружающий воздух и резиновую оболочку уплотнительных элементов 3 и 4. При этом выделяется около 544,3 кДж тепла (теплопроводность проволоки

16,8 Вт/м град), а воздух и резиновая оболочка. расширяются, Благодаря расширению воздуха и полых уплотнительных элементов 3 и 4, повышению

ЗО ластичности резиновой оболочки уплотнительных элементов 3 и 4 при их нагреве улучшается степень прилегания оболочки к стенкам камеры, что повышает ее герметичность, ДГ

Формулаизобретения

1. Способ герметизации вакуумной камеры двумя уплотнительными элементами путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между ними, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества герметизации, сжатый газ в пллых уплотнительных элементах нагревают.

2. Способ по п, 1, о т л и ч а юшийся тем, что газ нагревают

< начала в полости уплотнительного элемента, расположенного со стороны атмосферы„ а затем в полости другого плотнительного элемента.

3. Способ по и. 1, отличаюшийся тем, что сжатый газ нагревают одновременно с полостях обоих уплотнительных элементов.

4. Способ по пп, 1-3, о т л и— а ю шийся тем, что сжатый газ нагревают путем введения в полосз

134499 ти уплотнительных элементов, =гретых проводников из прецизионных сплавов .с высоким электрическим сопротивлением.

5. Вакуумная камера, содержащая корпус и крьппку с фланцами и размещенные между ними полые уплотнительные элементы, полости которых соединены с источником сжатого газа, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения качества герметизации, в полости уплотнительных элементов введены проводники из прецизионных сплавов с высоким электрическим сопротивлением, подсоединенные к источнику электрического тока.

6. Камера по п. 5, о т л и ч аю щ а я с я тем, что проводники из прецизионных сплавов размещены в уплотнительных элементах на внутренних поверхностях последних.

1344997 фиа3

Составитель Ю.Кибиткин

Те хр ед М . Дид ык Корректор И.Муска

Редактор А.Маковская

Заказ 4904/37

Тираж 804 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35,, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4