Способ вакуумирования датчиков абсолютного давления и устройство для его осуществления

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить надежность работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере. Откачку воздуха из опорной полости осуществляют через геттерный фильтр 5, помещенный в отверстие вакуумируемого корпуса 4. После вьфавнивания давлений в опорной полости и во всем вакуумном боксе отверстие в ниппеле 6 заваривают и подвергают сборку нагреву до т-ры поглощения газов порошкообразным геттерным материалом фильтра 5. Геттерный фильтр 5 получают спеканием порошкообразного материала, заполняющего пространство между сетчатыми колпачками. При заваривании отверстия в ниппеле 6 фильтр 5 предохраняет чувствительный элемент 7 от брызг расплавленного материала. 2 с,п. ф-лы, 2 ил. с (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (19) (И) (11 4 0 01 ? 7/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

1 л, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, Б ..:

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1(6 j т (21) 4082255/24-10 (22) 11.07.86 (46) 30,12. 87. Бюл. 1(- 48 (72) В.A.Ñåìåíoâ, В.Н.Марин, Н.И.Сивенков и Н,В.Иванова (53) 531.787 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 504108, кл. G 01 Ь 7/02, 1976.

Заявка Японии Р 59-38533, кл. G 01 L 7/00, 1984.

I (54) СПОСОБ ВАКУУМИРОВАНИЯ ДАТЧИКОВ

АБСОЛИТНОГО ДАВЛЕНИЯ И УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить надежность работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере.

Откачку воздуха иэ опорной полости осуществляют через геттерный фильтр

5, помещенный в отверстие вакуумируе мого корпуса 4. После выравнивания давлений в опорной полости и во всем вакуумном боксе отверстие в ниппеле

6 заваривают и подвергают сборку нагреву до т-ры поглощения газов порошкообраэным геттерным материалом фильтра 5. Геттерный фильтр 5 получают спеканием порошкообраэного материала, заполняющего пространство между сетчатыми колпачками. При заваривании отверстия в ниппеле 6 фильтр 5 предохраняет чувствительный элемент 7 от брызг расплавленного материала. 2 с,п. ф-лы, 2 ил.

1362971

20

30

r 5

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для измерения аюсолютного давления.

Целью изобретения является повышение надежности работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере.

На фиг.1 показана конструкция датчика абсолютного давления, позволяющая реализовать предлагаемьп» способ; на фиг,2 — геттерный фильтр.

Вакуумирование и герметизация опорных полостей датчиков абсолютного давления по предлагаемому способу осуществляются следующим образом.

Датчик конструктивно разделенный на две полости, измерительную — рабочую (ограниченную приемным штуцером и воспринимающим элементом 2) и опорную — вакуумируемую (ограниченную воспринимающи»» элементом 2, внешним корпусом 3 и вакуумируемым корпусом 4) помещают в вакуумный бокс. Предварительно в отверстие вакуумируемого корпуса 4 помещают геттерный фильтр 5 и жестко фиксируют ниппель 6 в вакуумируемом корпусе 4 с помощью электронно-лучевой или аргонно-дуговой сварки. В вакуумном боксе создается давление разряжения порядка 10 — 10 мм рт,ст. и по истечении определенного времени, зависящего от обьема опорной полости, внутреннего диаметра ниппеля: и размеров геттерного фильтра (практически это время составляет от 20 мин до 2 ч), когда давление в опорной полости выравнивается с давлением во всем вакуумном боксе, отверстие в ниппеле 6 заваривается, тем самым полностью замыкается объем опорной полости, Так как между ниппелем 6 и чувствительным элементом 7 (например, металлопленочным тензопреобразователем) существует заслон в виде геттерного фильтра 5, то при сварке обеспечивается достаточная защита измерительной схемы чувствительного элемента 7 от попадания на нее брызг расплавленного металла. Сварка заключительного шва (внутреннего отверстия пиппеля) осуществляется непосредственно в вакуумном боксе, для чего может быть использовано подколпачное устройство установки электронно-лучевой сварки, После сварки сборку подвергают нагреву до температуры, соответствующей температуре поглощения газов порошкообразным геттерным материалом

Минимальное время выдержки сборки при такой температуре должно быть не менее времени, при котором датчик будет окончательно термостабилизиро ван. Данное время будет зависеть от массы и объема датчика, объема гет,— терного устройства и т.д, Устройство вакуумирования датчиков абсолютного давления содержит вакуумируемый корпус 4 (фиг.2) в

l котором установлены геттерный фильтр

5 и ниппель 6. В свою очередь геттерный фильтр 5 состоит из двух сетчатых колпачков: наружного колпачка

8 и внутреннего колпачка 9, а пространство между колпачками заполнено порошкообразным материалом (геттерным составом 10), представляющим собой состав, например, из титана и магния. Данный состав (в соотношении, %: титан 60-65, магний 40-35) помещается между двух сетчатых колпачков и спекается при 560 †6 С между собой и со стенками колпачков, после чего готовый геттерный фильтр

5 устанавливается в сборку датчика, В результате операции спекания геттерный фильтр 5 становится единым монолитным блоком, и за счет этого

35 исключается рассыпание порошкообразного материала и попадание его в опорную полость на чувствительньп» элемент датчика.

Датчики абсолютного давления с введенным в них устройством вакууми-рования работают в расширенном темпе-ратурном диапазоне.

Формула изобретения

Способ вакуумирования датчиков абсолютно ro давления, заключающийся в откачке через ниппель воздуха иэ опорной камеры датчика, помещенного в вакуумный бокс, о т л и ч а ю: -. шийся тем, что, с целью повышения надежности работы датчика эа счет уменьшения остаточного давления в опорной камере, производят откачку воздуха через обладающий геттерными свойствами фильтр, помещенный в сквозное отверстие корпуса опорной камеры, герметиэируют о верс-ие ниппеля и нагревают датчик до темпера—

1362971

Составитель О. Слюсарев

Редактор И.Середа Техред И.Попович Корректор М,Демчик

Заказ 6391/29 Тираж 776 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам чзобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д. .4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 туры, при которой происходит адсорбция газов в фильтр, I

2. Устройство для вакуумирования датчиков абсолютно го давления, содержащее ниппель, установленный соосно со сквозным отверстием корпуса датчика со стороны опорной камеры, о т— л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы

1 в него введен фильтр, закрепленный в сквозном отверстии корпуса между опорной камерой и ниппелем, причем

5 фильтр выполнен в виде сетчатых колпачков, расположенных своими цилиндрическими частями друг в друге, а пространство между торцами колпачков заполнено порошкообразным материалом, обладающим геттерными свойствами.