Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены . пары гребенчатых электродов 2 и 3, 4 и 5, образующих соответственно измерительный и опорный, служащий для температурной компенсации, конденсаторы . Дополнительная диэлектрическая пластина 6, установленная на электродах 2 и 3 измерительного конденсатора , закрывает их от прямого осаждения электропроводящей пленки и их замыкания. Б процессе образования пленки на внещней поверхности диэлектрической пластины 6 происходит изменение емкости измерительного конденсатора . Функциональная зависимость между толщиной электропроводящей пленки и изменением емкости измерительного конденсатора определяется предварительной.градуировкой. 3 ил. SS ел с:

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)4 С 0 В

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (.21) 4085720/25-28 (22) 14.07.86 (46) 15.01.88. Бюл. ¹ 2 (72) Ж.Г.Юхимюк, В.Г,Костишин и Б.П.Коман (53) 621.317.39:531 717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР .¹ 195650, кл. G 01 В 7/08, 1965.

Авторское свидетельство СССР

¹- 398814, кл. G 01 В 7/08, 1971. (54) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ТОЛЩИНЫ НАПЫПЯЕМОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены пары гребенчатых электродов 2 и 3, 4 и 5, образующих соответственно измерительный и опорный, служащий для температурной компенсации, конденсаторы. Дополнительная диэлектрическая пластина 6, установленная на электродах 2 и 3 измерительного конденсатора, закрывает их от прямого осаждения электропроводящей пленки и их замыкания. В процессе образования пленки на внешней поверхности диэлектрической пластины 6 происходит изменение емкости измерительного конденсатора. Функциональная зависимость между толщиной электропроводящей пленки и изменением емкости измерительного конденсатора определяется предварительной.градуировкой.

3 ил.

1366872

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике для измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении.

Цель изобретения вЂ” повышение точности измерения электропроводящей

1 пленки на начальной стадии ее образования за счет предотвращения прямого осаждения электропроводящей.пленки на электроды измерительного конденсатора и их замыкания.

На фиг. 1 изображен предлагаемый емкостный датчик со снятой дополнительной диэлектрической пластиной, вид сверху; на фиг ° 2 вЂ” разрез А-А на фиг. 1; на фиг, 3 вЂ” узел I на фиг. 2.

Емкостный.датчик содержит плоское диэлектрическое основание 1, на сторонах которого размещены пары гребенчатых электродов -2-. 5, образующие соответственно измерительный и опорный конденсаторы. Электроды 2 и 3 образующие измерительный конденса.тор, закрыты дополнительной диэлектрической пластиной 6, установленной на них. Образующаяся в процессе напыления пленка 7 осаждается на внешнюю поверхность пластины 6.

Емко с тный датчик раб отае т следующим образом.

Во время вакуумного напыления осаждающаяся пленка 7 образует электропроводящее покрытие на поверхности диэлектрической пластины 6, которое изменяет электроемкость измерительного конденсатора между его электродами 2 и 3. Электроемкость опорного конденсатора между его электродами

4 и 5 при этом остается неизменной.

Опорный конденсатор используется для

5 температурной компенсации результатов измерения емкости измерительного конденсатора в процессе напыления пленки. Каждому значению емкости измерительного конденсатора соответст1р вует определенная толщина напыляемой пленки. Зависимость между толщиной пленки и емкостью измерительного конденсатора определяется предварительной градуировкой.

1 Использование дополнительной диэлектрической пластины обеспечивает возможность измерения толщины электропроводкой пленки, так как послед-. няя не замыкает электродов измерительного конденсатора. Заменой дополнительной диэлектрической пластины датчик легко подготавливается к проведению новых измерений, а изменением толщины этой пластины регули25 руется чувствительность емкостного датчика.

Формула изобретения

gp Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки, содержащий плоское диэлектрическое основание и размещенные на обеих его плоских поверхностях пары гребенчатых электродов, образующие измерительный и опорный конденсаторы, о т л ивЂ” ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения электропроводящей пленки на начальной стадии ее образования, он снабжен дополнительной диэлектрической пластиной, установленной на электродах измерительного конденсатора.

1366872

Составитель Л.Гуськов

Редактор А,Ренин Техред М.Ходанич Корректор И.Муска

Заказ 6826/41 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки

Изобретение относится к измери- :тельной технике и имеет целью повышение точности измерения радиальных зазоров между концами лопаток -рабочего колеса турбомашины и ее корпусом за счет исключения влияния неидентичности формы электродов емкостного датчика и их возможного смещения в радиальном направлении при установке датчика на объекте контроля

Устройство для измерения толщины // 1359659

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для толщинометрии материалов и покрытий

Контрольный образец // 1359658

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить точность калибровки устройств контроля толщины металлизации в отверстиях печатных плат, работающих по четырехзондовому методу измерения величины ее электрического сопротивления

Накладной электромагнитный преобразователь // 1357698

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может найти применение для измерения толщины неэлектропроводящих покрытий на линейнопротяженных электропроводящих изделиях сложного профиля

Преобразователь толщины в интервал времени // 1355861

Электромагнитный толщиномер // 1355860

Изобретение относится к контрольноизмерительной те.хнике и может быть использовано для измерения толщины ферромагнитных металлов

Прибор для измерения толщины защитных покрытий // 1352187

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может найти применение в различных отраслях промыгиленности при измерении немагнитных покрытий на ферромагнитном основании

Устройство для контроля толщины волокон и нитей // 1350478

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины волокон или нигей

Накладной электромагнитный преобразователь для измерения толщины неэлектропроводящих покрытий // 1350477

Изобретение относится к области неразрушающего контроля, может найти применение при измерении толщины неэлектропроводящих покрытий на плоских электропроводящих изделиях

Мера для градуировки и настройки толщиномеров покрытий // 1348636

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для настройки и градуировки толЕциномеров покрытий

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе