Устройство для обработки монокристаллов

 

Изобретение относится к области обработки монокристаллов, а именно к резке водорастворимых кристаллов смоченной нитью, и может быть использовано в электронной промышленности. Целью изобретения является расширение технологических возможностей и уменьшение габаритов устройства. Цель достигается тем, что в устройстве стойка выполнена в виде стойки 1, на внутренних поверхностях которой смонтированы шпиндели 3, при этом каждый из шпинделей выполнен полым и внутри него установлен подвижный рычаг 4, имеющий возможность совместного вращения со шпинделем, а режущая нить 8 проходит внутри него по оси вращения. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1511 4 В 28 D 5/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4071285/29-33 (22) 26.05.86 (46) 15.03.88. Бюл. N 10 (72) И,Я.Валинов, В.А.Гурьев, Г.Н.Плотников и Е.П.Трофимец (53) 679.8,05 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М - 107848, кл. В 28 D 5/04, 1958.

Авторское свидетельство СССР

N 340441, кл. В 01 J 19/006, 1970.

Авторское свидетельство СССР

У 1248824, кл. В 28 D 5/00, 1985. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к области обработки монокристаллов, а именно к

„„SU„„1380973 А1 резке водорастворимых кристаллов смоченной нитью, и может быть использовано в электронной промышленности.

1(елью изобретения является расширение технологических возможностей и уменьшение габаритов устройства.

Цель достигается тем, что в устройстве стойка выполнена в виде стойки 1, на внутренних поверхностях которой смонтированы шпиндели 3, при этом каждый из шпинделей выполнен полым и внутри него установлен подвижный рычаг 4, имеющий возможность совместного вращения со шпинделем, а режу, щая нить 8 проходит внутри него по оси вращения. 1 ил.

1.180973

Изобретение относится к обработке монокристаллов, а именно к разрезке водорастворимых кристаллов, и может быть использовано в электронной проФормула изобретения

Составитель В.Моисеев

Техред М.Дидык

Корректор A.Зимокосов

Редактор Л.Повхан

Заказ 1150/18

Тираж 528

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 мышленности.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей и уменьшение габаритов.

На чертеже представлено устройство для обработки монокристаллов, общий вид.

Устройство содержит стойку 1 с втулками 2, в которых вращаются полые шпиндели 3 с подвижными рычагами 15

4. Рычаг 4 на одном конце (подвижном) имеет ролик 5, а на другом конце — ролик 6. Через эти подвижные ролики и ролики 7, которые крепятся к с гойке, проходит режущая нить 8, при- 2р водимая в движение электродвигателем с помощью приводного ролика 9. Нужное натяжение нити осуществляется подпружиненным роликом 10.

E(a полые оси 3 установлены сменные 25 поддерживающие планшайбы 11, с помощью которых поддерживается кристалл и одновременно задается необходимый диаметр. С помощью рычагов 4 меняется

1 у ол и тем самым — диаметр вырезаемой 30 заготовки.

Полые оси 3 с рычагами 4 вращаются с помощью грузов 12. Нить смачивается растворителем из капельницы

13. Монокристалл 14 устанавливается на кристаллодержатель 15.

Устройство работает следующим образом.

Монокристаллическая буля 14 уста- 4О навливается на кристаллодержатель 15.

Вырезаемый участок кристалла охватывается планшайбами 11 и вручную подводится стойка 1. Подвижный рычаг 4 устанавливается на такой угол, чтобы режущая нить 8, пройдя через ролики

5 и 6, описала нужный диаметр заготовки. Включается электродвигатель приводного ролика 9 (сам электродвигатель на чертеже не показан) и режущая нить 8, опираясь на ролики 7 и 10, совершает поступательное движение. Ролик 10 поддерживает режущую нить в натянутом состоянии. Затем подвешиваются грузы-противовесы

12, которые начинают вращать полые оси 3 во втулках 2, укрепленных на стойке 1 вместе с нитью 8, совершающей поступательное движение. Настраивается капельница 13 на необходимое количество капель. Режущая нить 8 врезается в монокристалл 14, доходит до планшайбы 11, которые совместо с подвижным рычагом 4 определяют диаметр вырезаемой заготовки. Давление нити 8 на кристалл 14 определяется грузами-противовесами 12.

Устройство для обработки монокристаллов, включающее стойку с установленными на ней шпинделями, оснащенными планшайбами, направляющие режущую нить ролики, смонтированные на подвижных и неподвижных рычагах, приспособление для смачивания нити, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей и уменьшения габаритов, стойка выполнена в виде скобы, на встречно расположенных концах которой смонтированы шпинделя, при этом каждый из шпинделей выполнен полым, внутри которого установлен подвижный рычаг, а режущая нить пропущена внутри шпинделя по оси его вращения.