Способ изготовления абразивного инструмента

 

Изобретение относится к изготовлению алмазных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых для резки полупроводниковых кристаллов на пластины. Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка. Изготовление алмазных кругов производят в емкости с электролитом и абразивными зернами путем закрепления зерен на боковых поверхностях заготовки и последующего заращивания. Процесс закрепления осуществляют в два этапа. На первом этапе заготовки расположены вертикально, на втором - горизонтально. Процесс заращивания ведут при вертикальном расположении заготовок . Время обработки заготовки на втором этапе процесса закрепления зерен абразива составляет 0,85-0,9 всего времени закрепления , а угловая скорость вращения заготовки равна (0,8-0,5) Vi7 - - радиус окружности покрываемой поверхности , g - ускорение свободного падения. 1 ил. S

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„Я0„„1390009 А1 511 4 В 24 D 17/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ВСР " "

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ц " 3 %

Ц1,11) „0Т КА

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СО

CO

CO

СР

CO

CO (21) 4156432/40-08 (22) 27.10.86 (46) 23.04.88. Бюл. № 15 (72) Н. И. Толкачев, Д. Н. Гулидов, 1О. Д. Чистяков, В. Л. Приходько и В. П. Запорожский (53) 621.922.079 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1004086, кл. В 24 D 17/00, 1981. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АБРАЗИВНОГО ИНСТРУМЕНТА (57) Изобретение относится к изготовлению алмазных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых для резки полупроводниковых кристаллов на пластины. Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка. Изготовление алмазных кругов производят в емкости с электролитом и абразивными зернами путем закрепления зерен на боковых поверхностях заготовки и последующего заращивания. Процесс закрепления осуществляют в два этапа. На первом этапе заготовки расположены вертикально, на втором — горизонтально. Процесс заращивания ведут при вертикальном расположении заготовок. Время обработки заготовки на втором этапе процесса закрепления зерен абразива составляет 0,85 — 0,9 всего времени закрепления, а угловая скорость вращения заготовки равна (0,8 — 0,5) -Д/r, где r— радиус окружности покрываемой поверхности, g — ускорение свободного падения. 1 ил.

1390009

Формула изобретения

1

Изобретение относится к изготовлению алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой, используемых для резки полупроводниковых кристаллов на пластины.

Цель изобретения — улучшение эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка.

На чертеже изображено устройство для нанесения абразивных зерен на поверхность круга.

Емкость, в которой наносится абразив на заготовку в виде диска с внутренней режущей кромкой, представляет собой пространство 1, образуемое дном 2, крышкой 3 и поверхностями внутренних отверстий изоляторов 4, между которыми зажаты заготовки 5. Диаметр внутреннего отверстия заготовки меньше диаметра внутреннего отверстия изолятора. Свободные от изоляторов части заготовок находятся в полости емкости и контактируют с электролитом и абразивными зернами. Электрическое напряжение при работе установки подается к корпусам кругов и к аноду 6. Емкость смонтирована с возможностью поворота из вертикального положения плоскости ее вращения в горизонтальное.

При вертикальном положении оси емкости проводят обычные для нержавеющей стали подготовительные операции: обезжиривание, травление, активирование. Затем в емкость засыпают абразивные зерна, заливают электролит, закрывают емкость крышкой 3, подают требуемый ток и поворачивают емкость так, что плоскость заготовок находится в вертикальном положении.

Далее осуществляют процесс закрепления зерен абразива в два этапа. На первом этапе закрепление происходит при вращении емкости в вертикальной плоскости в течение О,1 — 0,15 всего времени, необходимого для закрепления абразивных зерен на боковые поверхности заготовок, на втором — при вращении емкости в горизонтальной плоскости, когда заготовки также расположены горизонтально. Процесс закрепления зерен абразива производят при угловой скорости, определяемой для этапов процесса соответственно из соотношений со) /д/г и (0= (0,8 — 0,5) Qg/г, где г— радиус покрываемой абразивом поверхности, g — ускорение свободного падения.

По окончании закрепления зерен абразива производят заращивание абразива на боковых поверхностях заготовки. Оно осуществляется при вертикальном расположении заготовок, для чего емкость устанавливается так, что плоскость ее вращения также вертикальна. Процесс заращивания происходит при уменьшенной угловой скорости вращения емкости (0,1 — 0,36) в.

2

В течение времени первого этапа процесса закрепления зерен абразива происходит отбрасывание зерен к периферии емкости к внутренним кромкам заготовок.

После поворота емкости зерна абразива оседают под действием силы тяжести на поверхности заготовок, «открытые» кверху и образуют различные концентрации абразива на боковых поверхностях каждой заготовки.

По предлагаемому способу производят изготовление круга с внутренней режущей кромкой AKBP 422X152XO,Ç при следующих параметрах процессов.

Требуемый ток подают из расчета 1,0—

2,0 А/дм покрываемой поверхности. После поворота емкости до горизонтального расположения ее оси приводят ее во вращение со скоростью 40 об/мин. За 2 мин такого вращения обеспечивается требуемое перемешивание абразивных зерен в электролите. Затем начинают операцию прикрепления зерен абразива: скорость вращения постепенно увеличивается до 130 об/мин, удерживают ее в течение 55 — 60 с, плавно (за 10 — 15 с) поворачивают емкость в вертикальное положение ее оси и по окончании поворота уменьшают скорость вращения до

75 — 80 об/мин. По истечении 10 мин с момента начала операции прикрепления емкость поворачивают в положение горизонтального расположения оси, уменьшают скорость вращения до 40 об/мин и в течение

60 мин в этом режиме заращивают прикрепленные зерна.

Этим заканчивают первый цикл и процесс образования одного режущего слоя. 3атем проводят еще пять подобных циклов для получения необходимой высоты слоя.

Далее емкость останавливают, сливают электролит, производят промывку внутренней поверхности, разборку.

Способ изготовления абразивного инструмента, при котором заготовку в виде диска помещают в емкость с электролитом и абразивом, приводят во вращение в вертикальной плоскости и осуществляют закрепление и заращивание абразива на боковых поверхностях заготовки, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик отрезного круга при отрезании тонких пластин от слитка, при закреплении абразивных зерен заготовку вращают в горизонтальной плоскости, причем время закрепления абразива в этом положении заготовки выбирают равным 0,85—

0,9 всего времени закрепления, а угловую скорость вращения заготовки выбирают равной (0,8 — 0,5) Qg/r, где r — радиус окружности покрываемой поверхности; g ускорение свободного падения.

1390009

Составитель В. Кравец

Редактор М. Бланар Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 1608/16 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4