Способ изготовления джозефсоновского мостикового перехода

Авторы патента:

H01L39/22 - приборы с переходом между различными материалами, например приборы с использованием эффекта Джозефсона

Способ изготовления джозефсоновского мостикового перехода, содержащего два сверхпроводящих электрода, разделенных зазором, включающий последовательное нанесение на несверхпроводящую подложку первой пленки сверхпроводящего материала и пленки маскирующего материала, формирование контактной маски, формирование ионным травлением первого сверхпроводящего электрода, формирование на его торце буферного диэлектрического слоя, определяющего размер зазора между электродами, нанесение второй пленки сверхпроводящего материала, формирование в ней второго сверхпроводящего электрода, удаление контактной маски, нанесение пленки материала перемычки и формирование перемычки между электродами в области зазора, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости параметров мостиковых переходов, буферный диэлектрический слой формируют путем электрохимического анодирования торца первого электрода, а перед нанесением пленки материала перемычки полируют поверхность структуры пучком ионов инертного газа, направленным под углом 2-12° к поверхности подложки с энергией ионов 50-500 эВ.

Сверхпроводящий датчик постоянного тока // 1362371

Изобретение относится к ускори-

Измерительное устройство на сквиде с свч-накачкой // 1362370

Изобретение относится к криоэлектронным устройствам, позволяет повысить чувствительность и упростить изготовление измерительного устройства путем введения второго генератора накачки и промежуточного LC-контура, имеющего резонансную частоту, равную разности частот генераторов накачки

Точечный контакт джозефсона // 1331382

Способ получения спектра электрон-фононного взаимодействия в металлах // 1326145

Изобретение относится к материаловедению

Сверхпроводящий датчик постоянного тока // 1292578

Сверхпроводящий квантовый интерференционный датчик // 1230316

Сверхпроводниковый пленочный логический элемент // 1208986

Микромостик переменной толщины // 1199165

Способ абсолютной градуировки многозначной сверхпроводящей меры магнитного потока // 1124819

Способ получения квантового интерференционного элемента // 2111579

Изобретение относится к области твердотельных электронных приборов на основе квантовых эффектов

Многослойный материал // 2131157

Сверхпроводящий квантовый интерференционный датчик и способ его изготовления // 2133525

Переключаемый планарный высокочастотный резонатор (варианты) и фильтр // 2179356

Изобретение относится к переключаемому планарному высокочастотному резонатору и к планарному высокочастотному фильтру на его основе

Сквид-магнитометр на высокотемпературных пленках // 2184407

Изобретение относится к электронным устройствам, использующим высокочувствительные системы на базе пленочных высокотемпературных ПТ-СКВИДов

Способ создания слабых связей в системах на пленочных втсп- сквидах // 2199796

Изобретение относится к способам создания слабых связей, используемых в высокочувствительных системах на пленочных YBaCuO ВТСП-сквидах

Способ изготовления устройства на основе эффекта джозефсона и устройство согласно этому способу // 2212735

Изобретение относится к криогенной микроэлектронике, а именно к способу изготовления устройства на основе эффекта Джозефсона

Сверхпроводящая полупроводниковая наноструктура с квантовыми ямами // 2227346

Изобретение относится к физике полупроводников, в частности к полупроводниковым эпитаксиальным наноструктурам с квантовыми ямами, и может быть использовано при реализации полупроводниковых приборов, работа которых основана на эффекте сверхпроводимости

Способ формирования периодических микроструктур на втсп пленках с джозефсоновскими свойствами // 2275714

Изобретение относится к способам создания слабых связей в виде двумерных периодических микроструктур с джозефсоновскими свойствами, используемых в высокочувствительных системах пленочных ВТСП сквид-магнитометрах, в частности, при создании высокочувствительных датчиков магнитного потока и детекторов электромагнитного поля, применяемых в устройствах для регистрации магнитокардиограмм в медицине, геофизике, экологии, контроля парамагнитных примесей в нефтепродуктах и т.п

Свч-усилитель на основе высокотемпературного сквида // 2325004

Изобретение относится к криогенной радиотехнике и может быть использовано для усиления электрических сигналов в гигагерцовом диапазоне частот