Устройство для нанесения полупроводникового слоя и подформовки анодов конденсаторов
Изобретение относится к радиотехнике . Устройство для нанесения полупровод1шкового слоя подформовки анодов конденсаторов содержит транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера (ВЗК) с кассетами 2, ванны 3-6 пропитки, печи. 7,8 пиролиза, установленные на горизонтальных ветвях ВЗК 1, и печи 9,10 пиролиза, установленные на его вертикальных ветвях, ванны 11 поформовки. Каждая кассета вьшолнена в виде рамки с пазами в боковых стенках и направляющей планкой, взаимодействующей с плоскими копирами 20 транспортирующего механизма для поворота кассеты 2 в нужное положение в процессе работы. Устройство высокопроизводительно . 14 ил. с (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК ((9) SU (II) А1 (50 4 Н 01 С 13/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
М А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2 2 20
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4043289/24-2 1 (22) 25.03.86 (46) 23.05.88. Бюл. 1» 19 (72) Б,И. Марченко, Е.Е. Нестерова, В.Х. Куфман, Т.С. Черкашина и И.Д. 1дтеренберг (53) 621.319.4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
У 452044, кл . Н 01 r, 13/00, 03.07.72.
Авторское свидетельство СССР
h» 951436, кл. Н 01 G 13/00, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО СЛОЯ ПОДФОРИОВКИ
АНОДОВ КОНДЕНСАТОРОВ (57) Изобретение относится к радиотехнике. Устройство для нанесения полупроводникового слоя подформовки анодов конденсаторов содержит транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера (B3K) с кассетами 2, ванны 3-6 пропитки, печи 7,8 пиролиза, установленные на горизонтальных ветвях ВЗК 1, и печи
9, 10 пиролиза, установленные íà его вертикальных ветвях, ванны 11 поформовки. Каждая кассета выполнена в виде рамки с пазами в боковых стенках и нзлравляющей планкой, взаимодействующей с плоскими копирами 20 транспортирующего механизма для поворота кассеты 2 в нужное положение в процессе работы. Устройство высокопроизводительно. 14 ил.
1397981
Формулаизобретения
Устройство для нанесения полупроводникового слоя и подАормовки анодов конденсаторов, содержанее транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера с кассетами, ванны для рабочего раствора, установленные на верхней ветви конвейера и печи пиролиэа, установленные на верхней и нижней ветвях конвейера, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и улучшения качества изделий, оно снабжено дополнительными печами пиролиза, установленными на вертикальных ветвях конвейера и дополнительными ваннами для рабочего раствора, установленными на верхней и нижней ветвях конвейера попарно с основными ваннами с двух сторон каждой печи пиролиза по ходу перемещения конвейера, транспортирующий
10 механизм снабжен плоскими копирами, установленными неподвижно, à каждая кассета снабжена направляющей планкой, установленной с воэможностью взаимодействия с плоскими копирами
15 транспортирующ го механизма.
I 397 98) 1397981
Фиг.E
1397981
1 397981
Щ
Д
РигЯ, 79
11
„г
ФИГ 1Д
139798I
В-8
Фиг.13
Фиг. 13
Составитель Г. Падучин
Техред Л.Олийнык Корректор И. Иуска
Редактор Л. Гратилло
Заказ 2603/51
Тирам 746
Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. ° д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Укгород, ул. Проектная, 4
