Оптико-электронная установка для контроля наличия микронных отверстий в полупрозрачных и плотных пленках

 

Класс 42h, 61о о 141656

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 170

В. Н. Чуриловский, Б. М. Марченко и В. И. Целищев

ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ

НАЛИЧИЯ МИКРОННЫХ ОТВЕРСТИЙ В ПОЛУПРОЗРАЧНЫХ

И ПЛОТНЫХ ПЛЕНКАХ

Заявлено 22 ноября 1960 г. за № 686978/26 в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 19 за 1961 г.

Обычно контроль наличия небольших отверстий в полупрозрачных и плотных пленках в заводских условиях производится визуально на просвет, что в производственных условиях яляется малопроизодительным и неэффективным, так как не может гарантировать обнаружения всех имеющихся микронных отверстий в пленке.

Предлагаемая оптико-электронная установка для контроля наличия микрснных отверстий в полупрозрачных и плотных пленках позволяет автоматизировать процесс контроля обнаружения небольших отверстий и осуществить непрерывность процесса измерения. Решение поставленной задачи обеспечивается применением в качестве развертывающего устройства вращающейся многогранной призмы, установленной за апертурной диафрагмой осветителя, которая расположена в фокальной плоскости объектива. Для проектирования изображения на катод фотоумножителя в плоскости, сопряженной с плоскостью контролируемой пленки, расположена диафрагма с прямоугольным отверстием.

На чертеже приведена оптическая схема предлагаемой установки.

Осветительная часть установки выполнена в виде источника света 1, сферического рефлектора 2, фильтра 8 и трехлинзового конденсора 4, который дает мнимое изображение источника света в плоскости 5. С помощью сферических зеркал б и 7 и наклонной полупрозрачной пластины 8 изображение источника света из точки О, расположенной в плоскости 5, переносится в точку 0, в которой расположен входной зрачок приемной части установки — апертурная диафрагма 9. Над осветителем находится стол 10 с щелевой прорезью, закрытой защитным плоскопараллельным стеклом 11, Апертурная диафрагма 9 расположена в фокальной плоскости объектива, благодаря чему создается телецентрический ход лучей, ¹ 141656 значительно улучшающий условия работы развертывающего устройства, выполненного.в виде вращающейся многогранной призмы 12.

В плоскости Я сопряженной с плоскостью контролируемого изделия 14, располагается диафрагма с прямоугольным отверстием, за которой распо,хожена конденсорная линза 15, проектирующая изображение на катод фотоумножителя 16. Призма 12 приводится в равномерное вращение от синхронного электродвигателя (на чертеже электродвигатель .не показан), благодаря чему производится построчная развертка изображения контролируемой пленки в плоскости стола.

Для осуществления непрерывного процесса контроля пленка перемещается над столом перпендикулярно направлению развертки.

Электрическая часть установки состоит из приемного устройства в виде фотоэлектронного умножителя, импульсного усилителя и блока питания.

Предлагаемая установка может быть рекомендована для массового контроля наличия микронных отверстий в полупрозрачных и плотных пленках на автоматических и поточных линиях оптико-механических заводов, гальванических цехах различных предприятий.

П р едмет изобретения

Оптико-электронная установка для контроля наличия микронных отверстий в полупрозрачных и плотных:пленках, отличающаяся тем, что, с целью автоматизации и осуществления непрерывности процесса измерения, за апертурной диафрагмой осветителя, расположенной в фокальной плоскости обч,ектива, установлено развертывающее устройство в виде вращающейся многогранной призмы, а в плоскости, сопряженной с плоскостью контролируемого изделия, расположена диафрагма с прямоугольным отверстием, проектирующая изображение на катод фотоумножителя. № 141656

Е ° о

Составитель В. Г. Туфельд

Объем 0,26 изд. л.

Цена 5 коп.

Подп к печ. 9.Х1-61 г

Зак. 11080

Формат бум. 70Х1081/, Тираж 700

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Мос сиз, Центр. М. Черкасский пер. д. 2/h

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14

Редактор Н. С. Кутафина Текред А. А Камышникова Корректор Л. И. Самсонова