Способ измерения температуры расплавов
Класс 42i, 8,, № 147006
СССР
% у
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Под!!(!(-Иая грц та . (171
IO. М, Шашков и В. П. Гришин
СПОСОБ ИЗМЕРЕН ИЯ ТЕМП ЕРАТУРЫ РАСПЛАВОВ
За)пе!е((о 15 an! óå) 2 l()2>f ". 22,)) Ч2)23 2Ч-6
1(о)11((е(iin 2(! i;i)i !(зоб!)ете((: ii i! < ) (>f! I >Tii<: n !it((.о: е <121(::;: (loi) (.(,(Р
Он Влякова>(о:3 «Б!о,".I(i(III i, >(it!: —::.!i; ., < 9 )i! f<)l)2 "
В 0 м i I О Г и х 0 О.л 2 с T Я с О f) P c . < c I! 1 i 0 и T е. и I i I к T 1) е О У c T c u T 0 ч H 0 е ) i 3 м (j) сине температуры расплава небольн(ого объема, иричсм часто г>олизи оверкности расплава. Ти Iiiчнь!м:1;.:(мерим такого род» является изм рение градиентов температуры рлс:I "1»вя 1-!Олупроводников, н»пр:!мсj) кремния, при ВытяГПВяи;lи 3I()I!0!(,.):i 1», 1. iO». Пр:! 0()ь!Чиом l!3)tc )сни температуры k!yTe)! погр) жения TL ;))10!I»j)h в 1)лс;!,1»ll ИЗ >!ср!)с)12я тем;(ература пол !ается значительно ниик(:I ти!(ной, I3 чл;тностц, ((и с (ЕМПСРЯТУРЫ П;!ЯВЛСНИЯ МЛТЕРИ»,1(l. OCII(!3!!i)II Il f) i!
В соотВетстВии с 11300pcTBII Itc)I,:1, 1я и(к, !10чси ия !>л и я н >!я Отвод;) !
Сила через термопару и повышения т»ким образом точности измерения
В 321цитный колпачок термоп2р1>I па IIO!(0Toj)())f p»ccTok! IIIII! 0T исе (н;! ,) — 15 .)1,1! выше) помещается спаи дополн:.!тельно)1 термопяры, подогр >в с!е. 32 Виcи. <1hl >1. П p i i p» вc l!cтвc .Ioк232111(и ОО(. i! x
*,срмопар теплоотвод !срез термопару, очевидно, равен нулю ii тсрмоIf2P2 ПОКЯЗЫВЯЕТ IICTIII!i!h IO ТЕ)!ПЕР»ТУР < .(10)КНО ИО!(»ЗЯТЬ, ЧТО МЕ<К I< с. i iO .10 Ксlза fl ll lt ТСP >IOIt 2 P 11 ТС .>1ПСj);1 I М f) 0 II OCI! OB k!0!I TC ) %f0 11;I j) l>I
CУН!ССТВ>> T Л И И СИИ Я и 3 с1 ВИС И. >!ОСТЬ, ЧТО 12 СТ !10:i>f ())1(!I OCT!>, ЭКСТР <1 ПОЛ И РМ>1
ИОКсlзсlНИЯ OCkIOBIIOII Т(Р>>1OI)ЛРЫ К II),,ЛСВОИ j);iзil()CTII ПОК»3»ииli Тсj)XIO!If!
И:10С f(BT! ИСОО <03!И)!О Tli В AIOLI)IIOXI I!ki! f)013»T(. С, ОГРЯНИ КИ)1,t ВИТКЯМ;! НЯГ )ЕВ )ли!11!ис допол:1итсл!И(ого нагревателя на р»спл»н. ПрОВерка пред.lягясмОГО спосооя на крс Предмет изобретения Редактор Л. Н. Гольцов Тскрсд A. A. Кудрявицкая Корректор Ю. М. Федулова Ооъсм 0,18 ll3;l. 11< !! H 4 кон. Г1одн. к печ. 15/11 — 62 Зак. 1119/17 Формат бум. 70 ", 108,;! краж 850 ЦБТИ при Комитете по делам изобрете ий и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6. Типография, пр, Сапунова, 2. Способ измерения температуры расплавов пебольши. . ОбьеMoB,,!011р имер, для получения полупроводнг1ков при помОЩИ 1 op ito;t;t p 1 tot рт— жЕНИя С ЗащИтНЫМ КОЛПаЧКОМ, ОтЛИЧаЮщИйея тЕМ, ЧтО, С НЕЛЬ1О П;ь вышения точности измерения путем пскл1оченпя влияния Отвода те;1л, через термопару, в колпачок на некотором расстоянии от сная on!tot«tni; термопары вводят спай дополнительной термопары, который п<1догрс— вают независимым нагревателем, и определяют температуру расплав11 По ОДНОЙ ИЗ тЕМПЕратур Прп ОДИНаКОВЫ." ПОКааа1НИЯХ, и ПрИ НЕСОБПа 1е ии — по соотношению показаний основной термопары и разносTlt:п1к,lзаний термопар до нагрева.
