Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния

Авторы патента:

H05H1 - Плазменная техника (термоядерные реакторы G21B; ионно-лучевые трубки H01J 27/00; магнитогидродинамические генераторы H02K 44/08; получение рентгеновского излучения с формированием плазмы H05G 2/00); получение или ускорение электрически заряженных частиц или нейтронов (получение нейтронов от радиоактивных источников G21, например G21B,G21C, G21G); получение или ускорение пучков нейтральных молекул или атомов (атомные часы G04F 5/14; устройства со стимулированным излучением H01S; регулирование частоты путем сравнения с эталонной частотой, определяемой энергетическими уровнями молекул, атомов или субатомных частиц H03L 7/26)

1. Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, содержащее магнитную систему, вакуумную систему, подложкодержатель, источник высокочастотной энергии и резонатор с отрезками запредельных волноводов, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости осаждения пленок при уменьшении энергозатрат на поддержание магнитного поля и повышения коэффициента использования исходного материала путем создания в резонаторе плазмы с плотностью выше критической и поддержания ее в условиях верхнегибридного резонатора, устройство дополнительно содержит диэлектрическую вакуумную трубу, охватываемую резонатором, расположенную соосно с последним, и коаксиальные относительно вакуумной трубы электропроводящие цилиндры с наружным диаметром, меньшим внутреннего диаметра диэлектрической трубы на величину зазора, определяемого температурными коэффициентами расширения материалов трубы и цилиндра, а диаметр трубы больше диаметра подложки.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что магнитная система, вакуумная система, подложкодержатель и электропроводящие цилиндры расположены симметрично резонатору.

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано для плазменной обработки поверхностей диэлектрических мгпериялпн с целью получения низкоспрбииоиимх защитно-декоративных покрытий, Цолью изобретения является обеспечемиг рляномёрности перемещения дугояого рязряда с заданной скоростью электродов

Магнитопровод бетатрона // 1395124

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при разработке индукционных ускорителей с азимутальной вариацией управляющего магнитного поля

Способ определения максимальных амплитуд радиальных свободных колебаний частиц в фазотроне // 1392646

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано для повышения эффективности вьшода частиц из ускорителя, улучшения качества растянутого пучка СП

Способ индукционного ускорения электронов и устройство для его осуществления // 1386007

Изобретение относится к области ускорительной техники

Мишень для торможения плазменного или корпускулярного потока // 1384181

Изобретение относится к технической физике, плазменным установкам , ускорителям плазменных и, перпендикулярных потоков

Устройство для плазмохимического синтеза диэлектрических слоев // 1378767

Способ диагностики высокотемпературной плазмы // 1373294

Изобретение относится к прикладной ядерной физике и может быть использовано для получения информации о содержании и плотности отдельных ионных компонент высокотемпературной плазмы

Устройство для вакуумно-плазменного травления // 1373230

Плазменная горелка для напыления // 1371410

Способ определения заряда мелкодисперсных частиц // 1369659

Термоядерный реактор // 2100849

Ускоритель плазмы // 2100916

Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно к устройствам для ускорения заряженных частиц, и может быть использовано, в первую очередь, для обработки высокоэнергетическими плазменными потоками металлических поверхностей с целью повышения таких их характеристик как чистота поверхности, микротвердость, износостойкость, коррозионная стойкость, жаростойкость, усталостная прочность и др

Конструкция тепловой защиты, охлаждающий элемент и способ его изготовления // 2101887

Изобретение относится к системам тепловой защиты из огнеупорного композитного материала, которые охлаждаются потоком жидкости, и более точно касается конструкции тепловой защиты для отражателя камеры удерживания плазмы в установке термоядерного синтеза, охлаждающего элемента, который использован в конструкции тепловой защиты, и способа изготовления такого охлаждающего элемента

Способ получения сплошной пленки с алмазоподобной структурой и устройство для его осуществления // 2105379

Способ получения электрической энергии и устройство для его осуществления // 2105407

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для получения электрической энергии путем преобразования тепловой энергии плазмы в электрическую

Плазмоэрозионный размыкатель // 2105436

Плазмоэрозионный размыкатель // 2105437

Плазмохимический генератор с самопрокачкой газа // 2105438

Газоразрядная камера // 2105439

Изобретение относится к области технологии очистки и обезвреживания отходящих газов, газовых выбросов различных производств и процессов, а также плазмохимического синтеза химически активных соединений с использованием электрических методов, в частности к устройству газоразрядных камер, в которых производят процесс детоксикации и очистки

Устройство для измерения изменений тяги плазменного ракетного двигателя с замкнутым дрейфом электронов // 2107186