Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к спо собам измерения ширины линии рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотошаблонах для литографии. Цель изобретения - повышение точности измерения ширины непрозрачных линий за счет изменения йоляриэации излучения. При измерениях непрозрачных линий объект освещают линейно поляризованным монохроматическим электромагнитным излучением с вектором электрической напряженности , параллельным границам измеряе {оЙ линии. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (51)5 G 01 В 0
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3 (46) 30,06,93. Бюл. Р 24 (21) 4023657/28 (22) 18.02.86 (72) S.А.Куликов и С.А.Иноземцев (56) Авторское свидетельство СССР
Й 1334881, кл С 01 В 11/02, 01. 11.85. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШИРИНЫ ЛИНИЙ
РИСУНКА-НА ОБЪЕКТАХ С ПРОЭРАЧНЫМИ
И НЕНРОЭРАЧНЫМИ ЗОНАМИ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в часFHOcTH к спо-. собам измерения ширины линии рисунка
ÄÄSUÄÄ 1402026 А1 на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотошаблонах для литографии. Цель изобретения — повышение точности измерения ширины непрозрачных линий эа счет изменения поляризации излучения. При измерениях непрозрачных линий объект освещают линейно поляризованным монохроматическим электромагнитным излучением с вектором электрической напряженности, параллельным границам измеряемой линии. 1 ил. 4Ого2б ле.
ВНКИПИ Заказ 2828
Тираж б04 Подпис„ое
Произв.-полигр пр"THe, r. Ужгород, ул. Проектная 4
Изобретение относится к измерительной технике, н частности к способам измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на
5 фотошаблонах для литографии.
Цель изобретения — повышение точности измерения ширины непрозрачных. линий за счет изменений поляризации излучения.
На чертеже изображеи пример выбора участков для измерения на фотошаблоне, Осуществляется описываемый способ следующим образом.
Объектом с прозрачныМи и непрозрачными зонами может быть, например, фотошаблон для литографии, состоящий из кварцевой подложки с 20 тонким (0,1 мкм) хромовым покрытием.
Измерения могу быть проведены с ис"
I пользованием микроскопа-фотометра
ИРУСД и оптического излучения с длиной волны 0,546 мкм (зеленая линия). 2
Освещают измеряемый объект электромагнитным монохро апатическим излучением, линейно поляризованным так,.что и случае измерения прозрачной липни ее границам был бы параллелен вектор магнитной -напряженности, 1 а в случае измерения непрозрачной линии — вектор электрической напряженности, Практически используется один и тот же источник линейно- по" . ляризованного излучения. Векторы магнитной и электрической напряженности в электромагнитной волне перпендикулярны друг другу. Последона тельно измеряют интенсивности из" лучения прошедшего через три одинаковых по размерам прямоугольных участка измеряемого объекта.
Один участок выбирают на проэрач" ной зоне объекта, другой участок 2— на непроэрачпой, а третий участок 3 включает часть измеряемой линии с. частью зоны объекта, контактирующей. с этой частью линии и противоположной ей по свойствам пропускания иэ« лучения, одна пара сторон третьего участка параллельна линии, а другая пересекает ее.
Ширину линии определяют rto форму13- 1м
d = -------- Ь (для прозра гной
1е 1м линии) 1-1э
Ь (для непрозрачной
I. I yl линии), где d — ширина измеряемой линии;
I — интенсивность излучения, прошедшего через участок на прозрачной зоне объекта; интенсивность излучения, прошедшего, через участок на непрозрачной зоне объекта;
I - интенсивность излучения, прошедшего через участок, ñîдержащий Часть измеряемой линии
Ь вЂ” длина стороны участка, перпендикулярной измеряемой линии.
Формула изобретения
° Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами, например на фотошаблойах для литографии, заключающихся в том, что освещают объект при измерении прозрачных линий электромагнитным монохроматичным излучением, линейно поляризованным так, что вектор магнитной напряженности излучения параллелен границам измеряемой линии, измеряют интенсинность иэлуче ния, прошедшего через три одинаковых по размерам прямоугольных участка измеряемого объекта, один из которых выбирают на непрозрачной зоне, другой " на прозрачной, третий включает часть измеряемой линии с частью зоны объекта, контактирующей с этой частью .линии и противоположной ей по свойствам пропускания излучения, одна пара сторон третьего участка параллельна линии, а другая, пересекает ее, и с учетом измеренных интенсивностей определяют ширину линии, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повйшения точности измерения ширины йепрозрачных линяй за счет изменения поляризации излучения, при измерении непрозрачных линий используют излучение с вектором электрической напряженности, параллельным границам измеряемой линии.
