Фотоионизационный спектрометр для исследования источников излучения с линейчатым спектром
Изобрете1 :ие относится к области анализа ультрафио.ютового оптическсмч) iia. iy- чсиия методом фотоиоиизациоино) сиект Н)- скопии. Цель изоб)етения - повьииеиие чувствительности измерений интенсивности ана.шзируемого излучения. В ())()тоиониза 1иоино.; спектрометре, иредставляюн1е.м собой ионизаииошп ю камеру с OKI;OM д.1Я ввода анализ1 руемог() из. : 1и ния, в KOTOpoii име- К5ТСЯ два нара,1лелы 1 1. электронны.х зерка- . la, за одним из которых установ. 1сн анализаг,)р у.чектронов по энергиям, ана/и затор выио. 1нен р, виде набора lapaл,le. ГbHl l нроводянщ.х iK iacTHH, на которые иодан ноложите,1ьный нотенцна, порядка 0,6--(),8 В относительно задер кнваюн1его э.тектрода :1.()нного зерка. 1а. сгоян1е1 о иеред ;и1а. 1изаторох. 2 и,1. (О С/ с
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСГ1УВЛИН
„„SU„„1402814 (513 4 (3 01,J,3, 12
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
> (>«
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР по делАм изОБРетений и ОтнРытий (211 4094615, 40-25 (22 ) 14.07.86 (46) 15.06.88. Б)ос!., 1О 22 (72) T. В. Каза>!евская, В., l, .))(Ин(енко, И.. I. Ре(н), И. И. Трилесник и Я. H. Тумаркин (531 535.8531088.8J (56)1 «)вторскос с!3(! (етельство О.с.Р
¹ 458718, кл. сз 01 .1 3,)28, 1973.
Л()торское сви (етельство с О.Р
¹ 701223, кл. сз 01 J 3 28, 1978. (54! 1ОТОИОИИВЛ11ИОННЫ11 CI1!;К 1 Р0 <1,1:ÒÐ . I,, 1с1 11((., I В 10ВЛИИЧ I IСТ0 I H J I K,(1Å) 11:), 1УЧ В11И Я с. Л11И В Г1 (1Л11)1 Ч с 11ВКТР0") (:)> ) Изоо()етеiiil(относ!)сся к оос!)!сти ан».)иза ультра(1)ио.)етoi301 оптическогс) изс!
II ) ii И за l(>IO li I! > К) К.i )1(>PX (. О К Н() >), (.)Я ВВО,(а
«3 II «!, I it3 li () (Е»!ОГО 113 1 > >Ч(B lt B, В )
TO!) и ЬI (IO, 111(I I В Hit ((> Il li <)OP B 31 «1 Р;1.1. 1<., 11>)I I>I <
l i POBOЛЯ ill l1> l, I а Tlt Н, ll«i КОТОРЫ(> Н 0.((Н 110, )Оя(il) (., 11>liыи Iloт(. нl) иа,l порЯ (к«i 0,() 0,8 В
О ) НОС И т(., l i>l! O 3«1 (Е())К И !3«1 К) И(ЕГО 3, IЕК) ро I «l
3. I(. К1 РОВ НОГО 3\ РК«1. 1«3. (. ГО ЯН((«10 ll(P((«) i) ). )Иза-,.оро)ь 2 и.) !
Л (08 !
I (:!0()(>i I! lilt(0 Г)!Оси! С 5i s (kl I("< Ко 11 (!(КТР)1,11)110111 II(1II()OJ)ОСТj)0()И Н > 1 1!О КЕ".
f)l I I> 11i 110, . I> !013 (I I IÎ >l f) И (0!.(сl if :I ll i I I<. К1 РО (l !!0 >, 1,151 И С С,)((О Ба lilt rl I! i ГО )и >! КОИ, lf,)!I )
1i К1 I 1! И 0! 1, I) I ;!;I,j>:IO . (. !ОБ;)1:, ) I c!(1 ll O II(К Г () (I ! I < 1 ) II ) li!! lb I(. f11151 ! I; l !> ) i if l I I 0 K cI:!el 1 l c1 I If) i 1 i i l l 1 l f l l t ; Ь И ; l H и ФОIOIIOlllt:3;11(Бои ио! 0 сll. Н I f)0!)>i Гр;>, («.
l(Ifht()(ТЬ (Q (I, kl И,)(;И!H(- > ! (fill!> I L ) (I . l От )иеf)BI! ii (1 ... > и .)<(Г, I I (! !! >1, i I:) i O.LC Р Ж И1 I i Oil it !!! I,11< > i i 1 I > :0
> . (! «(Р > ., 1! I I 0. I li() И И 10 11 Г 0111! f) ill)11! I c! !0 I, (, Г, . (Г, . <с(.,,I I f> I, !(I и, I C 11111 ), 1 (О (11 (3 (Г(if K(110111!! Е11111011!101! K(111(р))! i I(>
Оси с) (3> ра(IIO, >05KOIIO HXO,LIIO(ОКИО )
;,,". Я 13HО.I cl (111 (1, I и:3 И Р () 10! 0 kiЛГI 3 И I I ki Я. 1 I c!
I! (>OT it f301 10, l 0if1 II !)l s. I 1!(Р Ы М(Tci 11013,1(. f1l>I, Bc! БЗ;! И М IIO f B Ð B,),!с,!)и!ын и i и111)егри !Иы; Оси () 0 (ам(ры :,1(K 1 j)0li Был .3(Рк а!1 а 3 и 4. ((((!.)к, LOi il)i кт (! 0 fill 0 (. 3 (Р к 1 1, I 0 i!I )I if 0, l l c I I 0 3 3 и, L <. 1 и м ) >, l(КТ()0,10H )Крс)иир <1011, (. I 0 (К L) И )(1 < )t)ки!31!!Ои!е! о, <3..)lxf)cllll!j)iiOI!Il! ),I(кг;и> li),,> и () СОЕ,ТИИ(ill)i СО ЛЕНКаМИ К;)М(РЫ ., 3а 2.с ,Г(Р Ж И Бс)K) ill И>. с)Г) 111 j)0, Ll)l 7 1< 8 l!(> .К, )Н) ii Ill 1 K j)c Г31! ЯРМ(110 !!сто I!I и к> .(Б<)с I 05! II 110: О ) III fl j) 51 if(C fill ß, I I f) И !() М 01 РИ11(1! Е, I!> I I E>lit И ОТ(r:11I1c1;I l 1 (1 . 3(3;!(. РЖ И Ба lоа)011 )З li I I (>О,,i (а, I < !. "j)(>I! If0I 0 3(РКE(, l и 3 )0, l(1) !И(. 110 11()0».! НУ) II
3Е Iil I (, I f>011 ! Ого зерка,lc! 4 il(1 2 I3 .3а аг)(к! Р011иым зерксlс)Ом -! f) :.31 а.1: f 3 (1 TO j) О з,1ек () 0110 13, с ) е, Li I l li i H l)i it o 110>)ОЖИ I O, ll)III)l Xf 110,110(. 011 И(То I!:)К)(I i:Oi ГОЯ 0>1 О Г О 1! (I I I f ) 51 iK i И И 51 . (1 Т () k l l i (i 1 (, 1 1> l I i:!,1!: 10, 1 О С 1 I (:ГО ИСГО > И И К(1 If().!К, l!0 1 II К 3 ),L(f> if< if i!i! IOIII(<) < -)лек1t)0).11 8 л(. Рка.l(l 1,3 (! (111cl;Ill с3 ГОРО , 1(К Г f)0 1 I 0B. <. II 1 f) < if(kl Kci Xf L f) l)1 I .>(1(I!0. 101кеи lii То ) l! i! K (,3 ><1()ГИИТ)!ОГО I IO, 151 i(1 l l j) 51О,,(((Ц„„., „,„, „,0 О„ИО 4О ! ! 1(",.)IIi I!,!Ик <ТI<1()()ll оси К(11!(. J)I)l () (3 . ((10 l—I I Ик 1 3 11(1; Il И I!101 !10,! 51 110rfs()1 () i)l Г!) Hl>l I IO, I-B(II 13 1311,((!Irlо()f)(1 110с1 ()BI) I!!), к 1)rl I 11!Iт0!). ()> И с!. I ll:> !!TO() HI)1110, l li() ll H Б)1, (i ! i j> 0I30, L5I IlLiI X 1l, l(! (11111, (Гсl ио В, l () fl I l l>i s(I i((>if!: Ii .> - c> с) Ii>)1151 f) I I0 0(. И С ) С > Ка >I(j) I)l И H:)(11111 10 I I I C I I I I I )l <(H < ), I I) 111111 () <1 i!, 1(! I l t 51, I I!. j!! 1. I, (Е 11) I I 01 О а101! Оси. I 1 II, I c!i Гlll!1)l 110,1(III 110,10)K fl Гi,",1 EI11)! Бот()I!II IIE!,1 IIO() 5i.tка 1>,l) (.«к (3 О ГIIO(llTe, I ()но B !ер lк 11 H(! 1011!01 О -.>, Ii 1,1 f)(: 1(! ), I C) К! 1)0! I lf0l О .3(РКИ.I(l,:);1(IIO.)О.К> 111101 .!(Р(., (Eil(i, >(- . .)О З(11 OРО <1.. (.li(. ê 1 )) 0 T (1 f) j)(> 0 0 I 1(!. (, I(, I<,)il! Il 11 0 <)f! K ,3 О 11 . (3 I ()III!.3 !ILèî)иfó!0 кcl.",IBÐ . !)(З Б O,II 0(. Окli() ) 110(Г1 llае Г 1)Иci,)1!ЗI! f)l(. 1)ОO И:3,1 . )СIIII<,, с f1 0f fit;3 Et!)h !О );!()<) !IТO >11>i Р <100 I(. . 0 ."cl.!!!,:! El ll(>, IИ 51 Го И L(I О II 0 If El.! H il ll 0 ill! 10 К (1 sl i j> s, (((!, (,, (I i I)It() 1f 1) !il I; и Г li<)l Î 110,)Я оорило))а IH и(H ((>() ГО3,1(к I Рои))1, i <)1, Lci ()ЯЯОI) >. li "О! ,I B: I I c1!0 I С5! К -. . I(. К Гi)<)I I I I Ы 1! !(. -РК а:1 а 1! ,3 и (.. ->.lC К! t)0ili)> И(и!(1 cllO:!!<)Е f1
l3 О() I i 1! 10! I!I (> lilt f .. (!) 010 ), IC) К Ро)(l>l, .... Я КО) (>j) I I ), Hl)ill(>. 1115! () 1 f С(К)!!10)и (И ИЕ ! ЗL(< 1 Го,) Чс iK I S Б(К I Оj)(! < . С Ко;)ОС! И с>,1(к 1 ()Ol! 013 1! 0(. l) 10 (..) ) к и )1 ер 1)1. I 1 0 1 I l l l kl r1, I:3 (1,1(j) )K l f H H!<) I ILL I 0 a. i i К>Ро 1;! 8 <БРЯ.(), IL к Г )ОИОВ, кии(Г:1>((ск 151 аиергия Фогоа,)ек)роI I 0 Н, ! 1 (< ) . О 51 Т f3 i 1 1 1 c I I > 1 1 1 0 j ) 1 ) (!) (. :3 >,". (. KÒ Р О l < !! <Н S(.) К(!. f 0 .(It 11) < Гl i I!10 110!! (1,1(1101 II и 1(i < К Гор 1,1(К I :!O l!ОБ: (! !1(Г:) И)> с ГО 1 !3()!3 Et(I <: Oi ГI> ГОК)1,1(1 ()<, I (>0:1 I B, IC. К1 f)0!! Oi! 0 Г Б(, I;I l !! l!)I 01 () И I;("! C., I I)I IOI О i i 0 I Еil II!! B, I (3, И 0.!à;!; С,.о) 0 Ilcl Л(IЯ(РЖI!13 IIOИLИ1! )ИЕК!,,О )3, IIO K 0 " 0; » H 0 Ii() c, L!.i 1 53 i0 i I::<). f B H kt j); () 1f:>! и o II(. к Г Р . Ф У> >!Ц.iri 1;Зой!)< ) ())!!0(f (() О Г 0 kt 0 II II.!(>!> и 0 1 и !). и . Il(к I Р О 1 Р 1,1 51 и < Сгli .L<)H 1111151 И("1 О Il(IiKl(И>11> 11)> М < I 1 i К Т j) 0 1, i О, > (j) Ж с! I l I, I k .:! c!! I () 11! C. 11111 Н), >11(i Р И !. 11 ()(1(!0(I I! )1 1 >011 Иои ИЛ;1!)ИОИI! \ I0 K1 i f)(1(110,)ОЖ !! Il f)l 1 Il(! (с" .О< 11 ! 3 .О, L ill)l 11 0 K fl 0 11 . L. I B 1313 О, )с) И !, I < И И Я . c ill 0 I 3. I (. I I I I I I C. f3 K cl 1 1 i J ) L, L H B H . c l 11 1l 1 1 0 If i3 j> i !, 1— . <(. i И >)1 К и I! 11 1() T f >lt f f1 I)l ), (>,С l! К 1 11 Е,) !)! а, .(КI f ) 0 I I I I )I ), (< ) К ; 1, c l, I 0 ;>. К, 1 Н ) « ) 1 if 1 )! >, К 0 Г Р И < 1; 1I (. >1>1101! Ио,. Н>С1 >(. I ИР). i МОГ<.»><. > О И И К i i i(H Г05! I I l)01 0 I i с> И,) 5I rf< (1015), (()C. I ll il(I! Il Ы И I l0, !Оу., fl )н,"11)il!>I м I IO, 110(01! Б I <) РО I 0 11< т<) I! I El K(1 l 0 i I 0 5 l I I I 0 I 1 l (1 1 l f ) 5 1 <К С 1 1 I 1 Я с 1 И (1, i l . 3 с 1 i 0 f) а, (.) КI f ) 0 f 1 (H, > (. 1 а ! О 3, I (I I .)! 1 1 3 > < >, I I I < l 1 3 . С f ) fir>, :, » (1 <. I I (), l 0 rK C I I I . > )1 И 3 (1 (I I 1 c! ;I : I 3 с 1 Т 0 (> О 11, (. i (. К < ) f) !. I<. К :" j)0klO Н, ИС! О i li i(К 11 , < БС Бl! f (LIE)110(. I И .1 i(,)()Il ii И !I II I L Ii<. !I Б IIО I (III<1,1!IÇÈÐ1()t(!I 0 И.).1 <
;I0, I iOIl и Hи !(1 .;1 ()J)cl ИРОHÎ, 1511111 ), !),! !i ТI! 1 Г(11>OH, !(!l kl l>l 110 () I.(>I;:И К >11511) EIO Oi kt !Lc) 11(Р i)! Б:3 1) 1111 . H13 ) i :I ll !1 I"11"""- .И !О " ""!I "" - Ри """" " РИ-"-.I r. . l l> I>l>1 1! II 0,: 0 < 13 I О Р (. 0 >i i I 0 1, (3 1).! — — - 1 Н. „», ><). „>)> );- r(, ! » . )((> . !i i cl r) и.(9, li К ГРОI)(!. Is 1)I i ОТ cl 11,". < l С I! I I 11, !> 1) <,1 l! I И
l4()2814 3 разрешение фотоионизационного спектрометра, эВ; напряжение второго источника, Б; концентрация атомов рабочего г!Iза, м диффузное (транс!)ортное) сc÷åíè0 рассеяния электронов на 3T0 I I x рабочего газа для электронов с энергиями E+eL „, Ь т+е(.)„соответственно, м ; 1) ни и () Я ж(. II lloc Г1> (! 11! н ит ЯОГО 110. I и. ); .А — Iiоэ фф ll IIII(. !IT II t) О ll (, el(1111! H <1 н;1,111— 3(lто ) а;)гl я 1! с (. г!(., I x е. Ои (. 11(ект р()г! вНОЙ Л И H ll í; Б — коэффициент ослабления анализатором сигнала от спектрал!яи)й линии с оольц)ей энергией квантов нри àíализе линии с мен!Яцcé энерГИC II ква IIТО!3 .-1i)28I 1 Е0,, 1),.рД Я ф(1, (б Ю. / аМ 1 (t-, о Ж Г 7 1 () <,\ . с 1 l ls l t р t, 1: : .1,.л, < 2 1.) 2ь 1::,! 1 (l.;! i1I I1111I I1i 1 ж1;;.р, «t tt tttt,t.: t, i,i < . t I .:.,;,;,,; .!!I!t s. н ; <»:. i,;. I l 1 i, 1, ) . 1 t " i, 4 ), ) I ; ) it t Ã, I ) . 1 If)! t !if t, с г lt t i I ! t l ) I ! р ;,, it!, I 1 : I !, t t ! t t t . l . t I I 1, t ", 
