Вакуумный манипулятор

 

Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и предназначено для передачи изделий в вакуумных установках. Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве. Манипулятор снабжен стыковочным узлом , который выполнен в виде сильфона 16с двумя фланцами 17 и 18. Фланец 17необходим для крепления стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 - для крепления вакуумного манипулятора на вакуумной камере. Фланцы 17 и 18 установлены с возможностью регулировочного перемещения друг относительно друга и связаны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на разных уровнях параллельно оси ползуна 2, и соединены попарно винтами 20, осуществляющими также регулировку относительного положения фланцев . 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ..-:,,, l„ :, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4162595/? 5-08 (22) 18. 12. 86 (46) 23.06.88. Бюл. Р 23 (72) А.A.Èñàåâ и H.M.Ðóëåâ (53) 62-229.72(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 823117, кл. В 25 J 11/00, 1979. (54) ВАКУУМНЫЙ МАНИПУЛЯТОР (57) Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и предназначено для передачи иэделий в вакуумных установках. Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве.

„„SU„„1404331 А1 (51) 4 В 25 J 11/00

Манипулятор снабжен стыковочным узлом, который выполнен в виде сильфона

16 с двумя фланцами 17 и 18. Фланец

17 необходим для крепления стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 — для крепления вакуумного манипулятора на вакуумной камере, Фланцы 17 и 18 установлены с воэможностью регулировочного перемещения друг относительна друга и связаны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на разных уровнях параллельно оси ползуна 2, и соединены попарно винтами 20, осуществляющими также регулировку относительного положения фланцев. 2 ил.

1404331

Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и предназначено для передачи изделий в вакуумных установках спектрального анализа, моле- 5 кулярно-лучевой эпитаксии и других технологических установок крупносе-, рийного и массового производства полупроводниковых изделий и материалов.

Целью изо брете ния является расшире.10 ние технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве.

На фиг.1 изображен вакуумный манипулятор, общий вид, разрез; на фиг.2 15 сечение А-А на фиг.1.

Манипулятор состоит из герметичного корпуса 1, ползуна 2, расположенного в герметичном корпусе на направляющих 3 качения, схвата 4 с двумя губками 5 и 6, пружины 7, тяги 8 мв— ханизма 9 продольного перемещения, привода 10 схвата с барабаном 11,тросика 12 с натяжными роликами 13 и пружиной 14. На фланце 15 герметично- 25 го корпуса 1 коаксиально полэуну 2 со схватом 4 закреплен стыковочный узел. Стыковочный узел выполнен в виде сильфона 16 с двумя фланцами 17 и

18. Фланец 17 необходим для крепления 30 стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 — для крепления манипулятора вакуумного манипулятора на вакуумной камере. Фланцы 17 и 18 установлены с возможностью регулировочного перемещения друг относительно друга и связаны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на раэньгх уровнях параллельно оси полэуна 2 и 40 соединенные попарно винтами 20.

Вакуумный манипулятор работает следующим образом.

При установке образца в схват привод 10 сильфонного типа вращает ба- 45 рабан 11. В результате намотки на барабан тросика 12 происходит его уко-рачивание в промежутке между барабаном 11 и схватом 4. Это приводит к перемещению тяг 8 и повороту связанных с ними губок 5 и 6. После уста50 новки образца в схват эа счет вращения барабана в противоположную сторсну происходит удлинение тросика, тяги 8 становятся свободными и губки

5 и 6 под действием пружины 7 повора- 55 чиваются и зажимают образец. Пружина

14 обеспечивает натяжение тросика, а ролики 13 — его направление. Перемещение полэуна вперед и назад осуществляется с помощью механизма 9 продольного перемещения посредством реечной передачи.

Управление схватом 4 может быть осуществлено в любом положении ползуна 2 и при его перемещении.

Регул ровка положения схвата с образцом относительно приемного столика в рабочей вакуумнои камере при его перемещении производится за счет деформации сильфона 16 в горизонтальном и вертикальном направлениях и под углом к оси вакуумного манипулятора посредством шпилек 19 и винтов 20.

Шпильки 19 одним концом ввернуты на резьбе во фланце 18, а другим свободно упираются в проточки фланца 17.

Путем вывертывания или завертывания шпилек передается усилие на фланец и таким образом осуществляется деформация связанного с фланцем сильфона

16 и вместе с ним перемещение герметичного корпуса 1 с расположенным в нем схватом в нужном направлении.

Винты 20 фиксируют установленное положение и, кроме того, позволяют до— полнительно деформировать сильфон

16 в горизонтальной и вертикальной плоскостях> облегчая тем самым выверку изделия относительно приемного столика.

Формула изобретения

Вакуумный манипулятор, содержащий герметичный корпус, установленный в нем ползун, кинематически связанный с механизмом его продольного перемещения, и схват с приводом, установленный на этом ползуне, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве, он снабжен стыковочным узлом, выполненным в виде двух фланцев, соединенных сильфоном,в полости которого коаксиально размещен ползун со схватом, причем фланцы установлены с возможностью регулировочного перемещения друг относительно друга посредством шпилек, установленных в отверстиях этих фланцев, при этом на фланцах выполнены выступы, расположенные на разных уро. нях параллельно оси ползуна и соедиз 14043 31

4 ненные попарно дополнительно введен- стыковочного узла жестко связан с ными винтами, причем один из фланцев герметичным корпусом.

A-А

Фиг. Г

Составитель И.Бакулина

Редактор Л.Гратилло Техред И.Верес Корректор Л. Патай

Заказ 3037/17 Тираж 908 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4